一种光谱测试调整方法及测试调整装置

    公开(公告)号:CN106840396A

    公开(公告)日:2017-06-13

    申请号:CN201611148898.2

    申请日:2016-12-13

    CPC classification number: G01J3/28

    Abstract: 本发明公开了一种光谱测试调整方法和测试调整装置。测试调整方法包括(1)采集被检测的光谱并形成光谱图;(2)在X轴方向上将光谱图划分成二段以上的区域;(3)根将标准光谱图在X轴对应的位置分成与光谱图相等的段数区域;(4)分别计算Si和Si;(5)计算光谱图与标准光谱图在X轴上对应段的面积比值Ai=Si,/Si;(6)计算X值,并与A值进行比较;(7)判断X值是否落入到A值范围内。测试装置为以上测试方法对应的单元。本发明能较为精确的测试光谱,并能进行光谱的调整。

    助于光谱信号收集的装置、光谱信号系统及半导体设备

    公开(公告)号:CN106840392A

    公开(公告)日:2017-06-13

    申请号:CN201510882148.7

    申请日:2015-12-03

    Inventor: 肖德志

    CPC classification number: G01J3/0216 G01J3/28 G05D25/02

    Abstract: 本发明提供了一种助于光谱信号收集的装置、光谱信号系统及半导体设备。该助于光谱信号收集的装置包括透镜、筒体和可调通光件;其中,筒体,不透明且可长度可调;透镜,安装在筒体的一端;可调通光件,其上设置有开口且开口的大小可调,安装在筒体的另一端。本发明提供的助于光谱信号收集的装置,可以有效地抑制本地噪声且避免收集到的光谱信号强度过饱和,有助于收集到所需高信噪比的光谱信号,因此,光谱信号系统能够监测工艺过程中的微小变化,也就能够精确地控制工艺过程,从而可以提高半导体设备的控制精度。

    一种消除太赫兹光谱的水汽噪声的方法

    公开(公告)号:CN106644073A

    公开(公告)日:2017-05-10

    申请号:CN201610973168.X

    申请日:2016-11-07

    CPC classification number: G01J3/28

    Abstract: 本发明公开了一种消除太赫兹光谱中的水汽噪声的方法,预先设置不同湿度信息对应的水汽传递函数,当太赫兹波信号在空气中传播并透过样品时,基于太赫兹波信号与空气中的水汽相互作用的传播因子公式,利用设置空气具有的湿度信息对应的水汽传递函数,消除根据透过样品的太赫兹波信号得到的太赫兹光谱中的水汽噪声。在这里,设置不同湿度信息对应的水汽传递函数是基于数值模拟出水汽的实折射率谱和吸收系数谱得到的。因此,本发明有效消除太赫兹波信号中的水汽噪声且保证有用的样品信息无损。

    分光器所用的波长校准方法以及分光光度计

    公开(公告)号:CN104422516B

    公开(公告)日:2017-04-12

    申请号:CN201410454212.7

    申请日:2014-09-05

    Inventor: 湊浩之

    CPC classification number: G01J3/18 G01J3/28 G01J2003/2866

    Abstract: 本发明涉及一种分光器所用的波长校准方法以及分光光度计。提供一种用于通过将来自发光强度包含预定周期的变化的标准光源的光照射到分光器的衍射光栅上并且测量该衍射光栅所反射的光的强度来进行具有衍射光栅的分光器的波长校准的方法。该方法包括以下步骤:在与包括标准光源所生成的亮线光谱光的峰值波长的范围的各波长相对应的衍射光栅的各转动位置处,在该周期内至少两次测量来自衍射光栅的反射光的强度;基于该转动位置处所获得的所有测量值来确定该转动位置处的强度值(201);以及将强度值(201)最大的波长确定为亮线光谱光的峰值波长。

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