公开(公告)号：CN107003123A

公开(公告)日：2017-08-01

申请号：CN201580021090.5

申请日：2015-04-16

Applicant: 巴斯夫欧洲公司

Inventor： R·森德 ,  I·布鲁德 ,  S·伊尔勒 ,  E·蒂尔

IPC: G01C3/08 ,  G01J3/46

CPC classification number: G01C3/08 ,  G01J1/0266 ,  G01J3/0216 ,  G01J3/0289 ,  G01J3/502 ,  G01J3/513 ,  G01S7/4816 ,  G01S17/023 ,  G01S17/46 ,  G01S17/89 ,  G06F3/017 ,  G06F3/0304 ,  G06F3/0346 ,  G06F3/0421 ,  G06F3/0423

Abstract: 提出一种用于确定至少一个对象(112)的位置的检测器(110)。所述检测器包括：‑至少一个光学传感器(114)，其中所述光学传感器(114)具有至少一个传感器区域(136)，其中所述光学传感器(114)被设计为以取决于从所述对象(112)向所述检测器(110)行进的照明光对所述传感器区域(136)的照明的方式生成至少一个传感器信号，‑至少一个分束装置(129)，其中所述分束装置(129)适配于将所述照明光分成至少两个单独光束(139)，其中每个光束在到所述光学传感器(114)的光路上行进，‑用于调制所述照明光的至少一个调制装置(137)，其中所述至少一个调制装置(137)被布置在所述至少两个光路中的一个上，‑至少一个评估装置(142)，其中，所述评估装置(142)被设计为从所述至少一个传感器信号(114)生成至少一项信息，特别是关于所述对象(112)的距离和/或颜色的至少一项信息。

公开(公告)号：CN106840392A

公开(公告)日：2017-06-13

申请号：CN201510882148.7

申请日：2015-12-03

Applicant: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司

Inventor： 肖德志

IPC: G01J3/02 ,  G01J3/28 ,  G05D25/02

CPC classification number: G01J3/0216 ,  G01J3/28 ,  G05D25/02

Abstract: 本发明提供了一种助于光谱信号收集的装置、光谱信号系统及半导体设备。该助于光谱信号收集的装置包括透镜、筒体和可调通光件；其中，筒体，不透明且可长度可调；透镜，安装在筒体的一端；可调通光件，其上设置有开口且开口的大小可调，安装在筒体的另一端。本发明提供的助于光谱信号收集的装置，可以有效地抑制本地噪声且避免收集到的光谱信号强度过饱和，有助于收集到所需高信噪比的光谱信号，因此，光谱信号系统能够监测工艺过程中的微小变化，也就能够精确地控制工艺过程，从而可以提高半导体设备的控制精度。

公开(公告)号：CN106644068A

公开(公告)日：2017-05-10

申请号：CN201611256333.6

申请日：2016-12-30

Applicant: 聚光科技(杭州)股份有限公司

Inventor： 李锐 ,  俞晓峰 ,  韩双来 ,  夏晓峰 ,  丁海波

IPC: G01J3/02 ,  G01J3/10

CPC classification number: G01J3/0216 ,  G01J3/10

Abstract: 本发明涉及一种长光程光学系统，包括紫外光源和红外光源，所述光学系统还包括：准直单元，包括第一透镜和第二透镜，所述第一透镜和第二透镜之间设有第一二向色镜；红外光源经第一透镜准直、第一二向色镜透射后继续被第二透镜准直、进而传输，紫外光源经所述第一二向色镜反射、第二透镜准直、进而传输；聚焦单元，包括第三透镜和第四透镜，所述第三透镜和第四透镜之间设有第二二向色镜；经传输的红外光经第三透镜汇聚并透过第二二向色镜后继续被第四透镜聚焦后检测，紫外光经所述第二二向色镜反射后经第三透镜聚焦后检测；检测单元，所述检测单元包括第一检测器和第二检测器，分别检测红外光和紫外光。本发明具有结构简单、准直效果好等优点。

公开(公告)号：CN106604677A

公开(公告)日：2017-04-26

申请号：CN201580047803.5

申请日：2015-08-24

Applicant: RSP系统公司

Inventor： 斯特凡·奥弗森·班克

IPC: A61B5/00 ,  G01N21/65 ,  A61B5/145 ,  A61B5/1455

CPC classification number: A61B5/0075 ,  A61B5/14532 ,  A61B5/1455 ,  A61B5/14551 ,  A61B5/7221 ,  G01J1/4257 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0216 ,  G01J3/44 ,  G01N21/65

Abstract: 如果拉曼信号源自错误的皮肤深度，则利用透皮拉曼光谱来测量葡萄糖或其他物质浓度可能给出不准确的结果。为了预测在共聚焦检测装置中透皮接收到的、并且具有被期望具有体现位于皮肤表面以下的所述拉曼信号的源点处的葡萄糖或其他皮肤成分的浓度的强度的至少一种成分的拉曼信号光谱，是否准确地体现所述浓度，测量光谱中位于883/4cm‑1和894cm‑1的峰，以确定拉曼信号主要源于角质层内，使得该光谱不太能够准确体现所述浓度，或者拉曼光谱主要源于角质层以下，使得该光谱将更能够准确体现所述浓度。

公开(公告)号：CN106441564A

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201610639205.3

申请日：2016-08-05

Applicant: 唯亚威通讯技术有限公司

Inventor： 保拉·史密斯 ,  柯蒂斯·R·胡斯卡 ,  本杰明·F·卡钦斯 ,  保罗·G·库姆斯

IPC: G01J3/02 ,  G01J3/12 ,  G01J3/28 ,  G02B26/00

CPC classification number: G01J3/0229 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0216 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/0262 ,  G01J3/12 ,  G01J3/26 ,  G01J3/2803 ,  G01J2003/1213 ,  G01J2003/1217 ,  G01J2003/123 ,  G01J2003/1234 ,  G01J2003/1239 ,  G01J2003/1291 ,  G01J2003/2806 ,  G01J2003/2813 ,  G01N21/255 ,  G01N21/8507 ,  G02B5/22 ,  G02B5/3025 ,  G02B6/4215 ,  G02B26/007

Abstract: 本公开涉及光学滤波器和分光仪。公开了一种光学组件，其包括彼此以固定的距离堆叠的两个横向可变带通光学滤波器，使得上游滤波器用作下游滤波器的空间滤波器。横向位移可引起当在斜的光束到上游滤波器和下游滤波器上的照射位置处的传输通带不重叠时对斜的光束的抑制。光电检测器阵列可以设置在下游滤波器的下游。光学组件可经由各种光导管或光纤进行耦合以用于对流动的样本的光谱测量。

公开(公告)号：CN103582805B

公开(公告)日：2016-08-10

申请号：CN201280018232.9

申请日：2012-03-27

Applicant: 努拜欧有限公司

Inventor： D·特蕾西 ,  P·L·斯托克斯 ,  S·科伊阿尼

IPC: G01J3/12

CPC classification number: G01J3/42 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/021 ,  G01J3/0216 ,  G01J3/0248 ,  G01J3/0291 ,  G01J3/06 ,  G01J3/08 ,  G01J3/10 ,  G01J3/14 ,  G01J3/18 ,  G01J3/2803 ,  G01J3/44 ,  G01J3/4406 ,  G01N15/1434 ,  G01N15/1459 ,  G01N15/1484 ,  G01N21/6456

Abstract: 本发明一般涉及用于检测和测量源自样品的光的光谱性质或同时可缩放检测和测量源自在多个样品之间存在的每个样品的光的光谱性质的系统、方法和套件，其中该系统包括：包括色散元件的光具组；以及图像传感器。检测和测量的光可以包括从样品散射的光、作为化学发光由样品内化学过程发射的光、由样品选择性吸收的光，或在激发之后作为荧光从样品发射的光。

公开(公告)号：CN105824041A

公开(公告)日：2016-08-03

申请号：CN201610059086.4

申请日：2016-01-28

Applicant: 延世大学校产学协力团

Inventor： 尹日求 ,  李相明

IPC: G01T1/29 ,  G01T1/00

CPC classification number: G01J3/443 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0216 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/0235 ,  H01J37/32935 ,  H01J37/32972 ,  G01T1/29 ,  G01T1/00

Abstract: 本发明涉及光学分光分析装置，提供一种光学分光分析装置，包括：光收集部，其收集发生等离子体并处理基板的等离子体工艺腔内的光；光传递部，其传递收集的光；及分析部，其分析通过光传递部提供的光，分析等离子体状态；光收集部对在等离子体工艺腔的内部发生的光进行聚光并提供给光传递部。

公开(公告)号：CN105793706A

公开(公告)日：2016-07-20

申请号：CN201480064887.9

申请日：2014-10-09

Applicant: 新加坡国立大学

Inventor： 迪特尔·威廉·特劳

IPC: G01N33/543 ,  B01L3/02 ,  G01N33/53

CPC classification number: G01N21/0303 ,  G01J1/0422 ,  G01J3/0216 ,  G01J3/0291 ,  G01N21/8507 ,  G01N2021/0321 ,  G01N2021/0346 ,  G01N2201/0221 ,  G01N2201/08

Abstract: 一次性光度测量端头包括聚合物端头，聚合物端头具有毛细管填充通道、充当光输入耦合部的波导通道和充当光输出耦合部的波导通道，毛细管填充通道在聚合物端头的远端具有开口，每个波导通道在毛细管填充聚合物端头的近端具有开口，其中，毛细管填充通道、充当光输入耦合部的波导通道和充当光输出耦合部的波导通道彼此连接。

公开(公告)号：CN103261782B

公开(公告)日：2016-05-04

申请号：CN201180056979.9

申请日：2011-09-16

Applicant: 麻省理工学院 ,  犹他大学研究基金会

Inventor： J.多敏格兹-卡巴尔莱罗 ,  R.梅农

IPC: F21V9/10 ,  G02F1/1335 ,  G02F1/01

CPC classification number: G02B27/1006 ,  F21S41/141 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/0216 ,  G01J3/10 ,  G01J3/18 ,  G01J3/24 ,  G01J3/2803 ,  G01J2003/1286 ,  G02B5/32 ,  G02B27/1013 ,  G02B27/1086 ,  G02F1/133609 ,  G03H1/08 ,  G03H2001/262

Abstract: 本发明提供了通过多色物质的方式将光谱成分组合和分离的方法和装置。使用多色物质以将来自各源的多个射束组合成单个输出射束，从而提供对输出射束的亮度、色彩、色均匀性、发散角、准直度、偏振、焦距和束腰中的一个或多个特性的定义。源和多色物质的结合可用作隐私增强隐私显示器和用于将多个光谱成分的信号多路复用。在本发明的另外的实施方式中，多色物质用于衍射光谱成分以用于分光镜或解复用应用中。

公开(公告)号：CN102735341A

公开(公告)日：2012-10-17

申请号：CN201210090066.5

申请日：2012-03-30

Applicant: 爱色丽欧洲有限公司

Inventor： B·弗里克 ,  W·L·周 ,  安德鲁·玛西亚

IPC: G01J3/50 ,  G01J3/02

CPC classification number: G01J3/506 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/0216 ,  G01J3/0224 ,  G01J3/0262 ,  G01J3/0272 ,  G01J3/0289 ,  G01J3/513

Abstract: 一种手持式颜色测量装置，包括具有光电测量单元的壳体。光电测量单元包括用于接收测量光的光学矩阵和暴露于测量光下的传感器矩阵，传感器矩阵将测量光转换为相应的电测量信号，处理这些测量信号以形成数字测量数据。测量单元包括非球面的输入透镜、限制了入射角范围的孔、去极化散射器、传感器透镜以及至少三个对不同光谱范围敏感的使用了颜色滤波器的光电传感器组成。孔基本上位于输入透镜的焦平面上，并且光散射器紧邻孔并位于传感器透镜的焦平面上。滤波器和传感器设置成靠近光轴，并基本上暴露于平行的测量光下。滤波器配置为根据CIE的三色值XYZ的光谱特征。对于环境光测量，可在输入透镜的前方设置额外的散射器。