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公开(公告)号：KR101543538B1
公开(公告)日：2015-08-10
申请号：KR1020140114040
申请日：2014-08-29
Applicant: 부산대학교 산학협력단
Abstract: 본발명에따른표면증강라만산란활성기판의제조방법은유기막및 상기유기막상에배치되고각각이마이크로홀또는나노홀의형태의균일한크기를갖는개구들이형성된패턴층을포함하는식각용마스크를, 베이스기판상에배치하는단계, 상기식각용마스크가배치된상태에서플라즈마를이용하여상기베이스기판을식각하여다수의포어들을형성하는단계및 식각된베이스기판상에금속층을형성하는단계를포함한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种表面增强拉曼散射活性基板，包括以下步骤：布置包括有机膜和图案层的蚀刻掩模，该蚀刻掩模布置在有机膜上并且包括微孔或纳米孔的形状的开口，并且 均匀的尺寸，在基底上; 通过在配置有蚀刻掩模的条件下使用等离子体蚀刻基底基板来形成多个孔; 并在蚀刻的基底基底上形成金属层。
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公开(公告)号：KR1020140135998A
公开(公告)日：2014-11-27
申请号：KR1020147026288
申请日：2013-01-31
Applicant: 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.
Inventor： 덴보에프,아리에
CPC classification number: G01J3/4412 , G01J3/44 , G01N21/4788 , G01N21/9501 , G01N21/956 , G01N21/95607 , G02B5/205 , G03F7/70591 , G03F7/70625 , G03F7/70633 , G03F9/7026 , G03F9/00 , G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 분광 스케터로미터는 타겟 격자 상에 조명된 스폿으로부터 회절된 0차 및 고차 방사선을 검출한다. 상기 장치는 0차(반사된) 방사선의 스펙트럼을 형성 및 검출하고, 개별적으로 고차 회절 방사선의 스펙트럼을 형성 및 검출한다. 각각의 스펙트럼은 대칭 위상 격자를 이용하여 형성되어, 스펙트럼들의 대칭 쌍을 형성하고 검출한다. 스펙트럼들의 쌍은 감소된 포커스 감도를 갖는 단일 스펙트럼을 얻도록 평균될 수 있다. 두 스펙트럼들을 비교하여, 후속한 리소그래피 단계에서의 높이 측정들을 개선하기 위한 정보가 산출될 수 있다. 타겟 격자는 0차 및 고차 방사선이 상이한 평면들에서의 스폿으로부터 나오도록 비스듬하게 방위된다. 2 개의 스케터로미터는 동시에 작동되어, 상이한 비스듬한 방향들로부터 타겟을 조명할 수 있다. 방사형 투과 필터가 스폿에서의 사이드로브들을 감소시키고, 제품 크로스토크를 감소시킨다.
Abstract translation: 光谱散射仪检测从目标光栅上的照明光点衍射的零级和高阶辐射。 该装置形成和检测零级（反射）辐射的光谱，并分别形成和检测高阶衍射辐射的光谱。 每个光谱使用对称相位光栅形成，以便形成和检测对称的光谱对。 这对光谱可以被平均以获得具有降低的聚焦灵敏度的单个光谱。 比较两个光谱可以产生用于在随后的光刻步骤中改善高度测量的信息。 目标光栅倾斜定向，使得零级和高阶辐射从不同平面上的光点发出。 两个散射仪可以同时操作，从不同的倾斜方向照射目标。 径向传输过滤器可减少现场的旁瓣并减少产品串扰。
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公开(公告)号：KR1020130135730A
公开(公告)日：2013-12-11
申请号：KR1020127033888
申请日：2011-05-23
Applicant: 인핸스트 스펙트로메트리, 인코포레이티드
Inventor： 쿠쿠쉬킨,아이고,브이. , 쿠리크,리오니드,브이. , 반코브,앨리크산드르,비. , 볼코브,올레그에이.
CPC classification number: G01J3/02 , G01J1/58 , G01J3/0208 , G01J3/0218 , G01J3/44 , G01N21/6445 , G01N21/645 , G01N21/65 , G01N2021/6417 , G01N2021/6484
Abstract: 물질의 라만 및/또는 광루미네선스 스펙트럼 특성에 의해 상기 물질의 라만과 광루미네선스 스펙트럼을 감지하고 상기 물질을 식별하기 위한 장치 및 방법이 개시된다. 한 장치가 한 레이저 소스를 갖는 레이저 소스 집합체, 콜리메이팅 시스템, 상기 콜리메이팅 시스템 또는 상기 레이저 소스에 대한 더 이상의 위치 조정 없이 상기 장치의 동작을 보장하면서 상기 대체가능 레이저 소스 집합체를 수용하기 위한 소켓, 필터링 시스템, 상기 물질에 대한 라만 및 광루미네선스 스펙트럼을 동시에 얻기 위해 충분한 스펙트럼 해상도와 스펙트럼 범위에 적합한 광 분산 시스템, 검출기, 그리고 전기 신호들을 처리하기 위한 하나 이상의 제어기를 포함한다. 상기 개시되고 청구된 방법은 물질에 대한 라만과 광루미네선스 스펙트럼을 동시에 획득하도록 하고, 라만과 광루미네선스 내용에 따라 구성 요소로 스펙트럼을 분리하도록 하며, 라만과 광루미네선스 내용을 분석하도록 하고, 그리고 한 세트의 스펙트럼 처리 방법을 사용하여 상기 물질을 식별하도록 한다.
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公开(公告)号：KR101325347B1
公开(公告)日：2013-11-08
申请号：KR1020087010541
申请日：2006-09-29
Applicant: 너스킨 인터어내셔날 인코포레이팃드
Inventor： 퍼거슨스코트 , 프래릭존에프. , 버지슨스코트더글라스 , 피트로스,저스틴
CPC classification number: G01N21/65 , A61B5/0059 , A61B2560/0223 , G01J3/02 , G01J3/0291 , G01J3/44 , G01N21/274 , G01N2021/6419 , G01N2021/6421
Abstract: 본 발명의 조직 내의 화학물질의 농도를 측정하기 위한 방법은 두 개의 측정 단계를 갖는다. 우선, 제1 광을 발생시키고 제1 광으로 조직의 일부를 조사하는 단계와, 조직으로부터 제1 반사광을 포획하는 단계와, 조직 내의 화학물질의 예상 라만 시프트 파장의 파장에 근접한 각각 상이한 파장의 광을 측정하는 복수의 광 센서로 제1 반사광을 지향시키는 단계와, 광 센서를 통과한 제1 반사광에 특정한 각각의 측정치를 각각의 광 센서로부터 획득하는 단계를 포함한다. 둘째로, 제2 광을 발생시키고 제2 광으로 조직의 일부를 조사하는 단계와, 조직으로부터 제2 반사광을 포획하는 단계와, 조직 내의 화학물질의 예상 라만 시프트 파장의 파장에 근접한 각각 상이한 파장의 광을 측정하는 복수의 광 센서로 제2 반사광을 지향시키는 단계와, 광 센서를 통과한 제2 반사광에 특정한 각각의 측정치를 각각의 광 센서로부터 획득하는 단계를 포함한다. 제1 반사광의 측정치와 제2 반사광의 측정치는 조직 내의 화학물질의 농도를 계산하기 위해 사용된다.
라만 시프트 파장, 광 센서, 제1 반사광, 제2 반사광, 캘리브레이션-
公开(公告)号：KR1020130100693A
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：KR1020130018507
申请日：2013-02-21
Applicant: 소니 주식회사
IPC: G02B5/04 , G02B27/48 , B23K26/06 , H01L21/268
CPC classification number: G02B26/10 , G01J3/0208 , G01J3/021 , G01J3/0297 , G01J3/10 , G01J3/18 , G01J3/44 , G02B27/0905 , G02B27/0933 , G02B27/0966 , G02B27/0977
Abstract: PURPOSE: An illuminating optical system, a light radiation device for measuring a spectrum, and a spectrum measurement device thereof are provided to control the occurrence of interference fringe. CONSTITUTION: An illuminating optical system (100) comprises a laser diode (11), a collimator lens (13), a pitching element (10), an integrator lens (15), and a condensing lens (17). The pitching element changes an incidence angle of a laser ray by collecting the laser ray emitted from the laser diode in the integrator lens. The condensing lens collects light emitted from the pitching element. The integrator element comprises a first integrator element and a second integrator element. The second integrator element receives the laser ray radiated from the first integrator element.
Abstract translation: 目的：提供照明光学系统，用于测量光谱的光辐射装置及其光谱测量装置，以控制干涉条纹的发生。 构成：照明光学系统（100）包括激光二极管（11），准直透镜（13），俯仰元件（10），积分透镜（15）和聚光透镜（17）。 俯仰元件通过收集从积分透镜中的激光二极管发射的激光射线来改变激光射线的入射角。 聚光透镜收集从俯仰元件发出的光。 积分器元件包括第一积分器元件和第二积分器元件。 第二积分器元件接收从第一积分器元件辐射的激光束。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101230131B1
公开(公告)日：2013-02-05
申请号：KR1020100135983
申请日：2010-12-27
Applicant: 한밭대학교 산학협력단
Abstract: 다파장 레이저 산란 신호를 이용한 물체의 물성분 특성 측정 장치 및 방법이 개시된다. 다파장 레이저 산란 신호를 이용한 물체의 물성분 특성 측정 장치는 복수 개의 파장을 포함하는 레이저 신호를 대상 물체에 조사하는 레이저 조사부와, 상기 대상 물체에 의해 산란된 레이저 산란 신호를 수신하여, 파장 별로 분리하는 신호 처리부와, 상기 분리된 레이저 산란 신호를 이용하여, 상기 대상 물체의 특성을 측정하는 측정부를 포함한다.
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公开(公告)号：KR1020120079941A
公开(公告)日：2012-07-16
申请号：KR1020110001302
申请日：2011-01-06
Applicant: 한국원자력연구원 , 한국수력원자력 주식회사
CPC classification number: G01N21/64 , G01J3/44 , G01N21/65 , G01N33/1813
Abstract: PURPOSE: A quantitative analysis of a uranium concentration being existed inside of an aqueous solution is provided to perform an effective analysis by lowering a detection limit by using a laser as a light source. CONSTITUTION: A quantitative analysis of a uranium concentration being existed inside of an aqueous solution is as follows. The water Raman scattering intensity and the uranium fluorescence intensity of a uranium reference solution of various concentrations are measured. The uranium fluorescence intensity with respect to the water Raman scattering intensity is calculated by each uranium concentration. A calibration curve is obtained by using a ration of the calculated water Raman scattering intensity with respect to the uranium fluorescence intensity. The Raman scattering intensity and the uranium fluorescence intensity of an unknown specimen are measured and the concentration of the unknown specimen is decided by using the calibration curve.
Abstract translation: 目的：提供在水溶液中存在的铀浓度的定量分析，以通过使用激光作为光源降低检测限来进行有效分析。 构成：水溶液内存在的铀浓度的定量分析如下。 测量各种浓度的铀参考溶液的水拉曼散射强度和铀荧光强度。 相对于水的铀荧光强度拉曼散射强度由铀浓度计算。 通过使用相对于铀荧光强度的计算的水拉曼散射强度的比例来获得校准曲线。 测量未知样品的拉曼散射强度和铀荧光强度，并使用校准曲线确定未知样品的浓度。
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公开(公告)号：KR101126951B1
公开(公告)日：2012-03-20
申请号：KR1020067001569
申请日：2004-06-09
Applicant: 카부시키가이샤시코쿠소우고우켄큐우쇼
IPC: G01N21/65
Abstract: 감시대상공간에 조사한 2 이상의 다른 레이저광에 기인하는 파장 약 309nm의 피검출광을 집광하고 전자화상으로 변환하며, 증폭하고 재차 광학상으로 변환하는 것으로 특정파장의 공간강도분포를 화상화하는 것을 특징으로 하는 수소가스 및 및 수소화염감시방법. 2 이상의 레이저광원과 감시대상공간에 있어서 레이저광에 기인하는 파장 약 309nm의 피검출광의 집광수단과 상기 피검출광을 전자화상으로 변환하고 증폭하며 재차 광학상으로 변환하는 결상수단과, 특정파장의 공간강도분포의 화상화수단을 특징으로 하는 수소가스 및 수소화염감시장치.
수소가스, 레이저, 감시장치, 수소화염, 파장-
公开(公告)号：KR1020110125603A
公开(公告)日：2011-11-21
申请号：KR1020110044518
申请日：2011-05-12
Applicant: 세이코 엡슨 가부시키가이샤
CPC classification number: G01J3/1804 , G01J3/44 , G02B5/1857 , G02B5/1866 , G02B27/4261
Abstract: PURPOSE: A spectral device, a detecting device and a manufacturing method of the spectral device are provided to improve wavelength resolution and diffraction efficiency. CONSTITUTION: A spectral device comprises a transmission diffraction grating. The incident light is transmitted in the transmission diffraction grating. The transmission diffraction grating has inclines(140,150). The incline is formed with a first dielectric body. The incline is tilted based on a reference line(130). When the incident angle of the incident light to the transmission diffraction grating is angle-a about a reference line, and the diffraction angle of the diffracted light is an angle-β about the reference line, the incident angle-α is smaller than an bragg angle-θ about an incline, and the incident angle-β is bigger than the angle-θ about an incline.
Abstract translation: 目的：提供光谱装置，检测装置和光谱装置的制造方法，以提高波长分辨率和衍射效率。 构成：光谱装置包括透射衍射光栅。 入射光在透射衍射光栅中传播。 透射衍射光栅具有倾斜（140,150）。 斜面形成有第一绝缘体。 倾斜基于参考线（130）倾斜。 当入射到透射衍射光栅的入射角的入射角是围绕参考线的角度α，衍射光的衍射角是角度β时， 关于参考线，入射角α小于布拉格角 - 关于斜坡，以及事件角度＆beta; 大于角度＆thgr; 关于倾斜。
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公开(公告)号：KR100929202B1
公开(公告)日：2009-12-01
申请号：KR1020080017799
申请日：2008-02-27
Applicant: 광주과학기술원
IPC: G01N21/65
CPC classification number: G01N21/65 , G01J3/44 , G01N2021/653
Abstract: Disclosed is an apparatus and method for obtaining images using coherent anti-stokes Raman scattering. The apparatus for obtaining images using coherent anti-stokes Raman scattering according to the present invention comprises: a pump light source (401) and a stokes light source (402) that irradiate pump light and stokes light on a sample (S) to generate anti-stokes light having anti-stokes frequency; a reference light source (410) that generates reference light; and an image obtaining unit (430) that obtains the images of the sample using a change in phase of the reference light due to a change in the refractive index of the sample in the vicinity of the anti-stokes frequency. Thereby, the present invention provides an apparatus for obtaining images using coherent anti-stokes Raman scattering that is not affected by non-resonant background signals, that has strong resistance against noise even for weak signals, and that has excellent sensitivity and resolution.
Abstract translation: 公开了一种使用相干反斯托克斯拉曼散射来获得图像的装置和方法。 根据本发明的使用相干反斯托克斯拉曼散射获得图像的装置包括：泵浦光源（401）和斯托克斯光源（402），其对样品（S）上的泵浦光和斯托克斯光进行照射以产生抗 具有反斯托克斯频率的触发光; 参考光源（410），其生成参考光; 以及图像获得单元（430），其使用由于反斯托克斯频率附近的样本的折射率变化而引起的参考光的相位变化来获得样本的图像。 从而，本发明提供了一种使用相干反斯托克斯拉曼散射获得图像的装置，其不受非谐振背景信号的影响，即使对于弱信号也具有很强的抵抗噪声的能力，并且具有优异的灵敏度和分辨率。
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