碳纳米管装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN101027742A

    公开(公告)日:2007-08-29

    申请号:CN200580025402.6

    申请日:2005-07-26

    Inventor: 野田优

    CPC classification number: H01J29/04 B82Y10/00 H01J31/127 H01J2201/30469

    Abstract: 一种碳纳米管装置,其包括:基板(1);层(3),其与该基板(1)相接并具有在该基板(1)的垂直方向上贯通的间隙(5);碳纳米管(7),其形成在面向该间隙(5)的该基板(1)的表面上并具有相应于与该间隙(5)的中心的距离而连续地变化的数量密度分布,碳纳米管(7)通过基板(1)地相反侧的覆盖膜(4)的开口部及间隙(5)来供给催化剂物质,从而稀释催化剂物质的供给量,在面向间隙(5)的基板上形成具有对应于间隙(5)的外观形状的担载量分布的催化剂后,通过供给碳源,在基板(1)上形成具有数量密度分布的碳纳米管(7)。

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