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公开(公告)号：KR101694750B1
公开(公告)日：2017-01-10
申请号：KR1020140056815
申请日：2014-05-12
Applicant: (주)세온
Abstract: 본발명은스프레이열 분해법에의한박막형성을위한확산노즐, 이를포함하는박막형성장치및 박막형성방법에관한것이다. 본발명의일 실시예에따른확산노즐은, 각각액적생성실에연결된입력단및 반응챔버측의출력단을가지고, 온도및 유속중 적어도어느하나에대하여독립적으로제어가가능한복수의액적전달유로들; 및상기액적전달유로들의각 출력단을가로질러지나는개구를갖는공통슬릿을포함한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于通过喷雾热解形成薄膜的扩散喷嘴，一种包括该扩散喷嘴的薄膜形成装置和一种薄膜形成方法。 根据本发明的实施例的扩散喷嘴包括多个液滴传送流路，其独立地具有连接到液滴产生室的输入端和形成在反应室侧的输出端，并独立地控制温度和流速之中的至少一个 ; 以及具有与液滴输送流路的每个输出端相交的开口的公共狭缝。
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公开(公告)号：KR1020160140282A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：KR1020150076753
申请日：2015-05-29
Applicant: (주)세온
Abstract: 본발명은박막형성을위한노즐및 박막형성장치에관한것이다. 본발명의일 실시예에따른노즐은, 제 1 공급유로에연결되어상기제 1 공급유로로부터전달되는제 1 소스전구체를함유하는제 1 액적스트림이인입되는제 1 인렛및 상기인입된제 1 액적스트림을분사하는제 1 아웃렛을포함하는코어노즐; 및제 2 공급유로에연결되어상기제 2 공급유로로부터전달되는제 2 소스전구체를함유하는제 2 액적스트림이인입되는제 2 인렛및 상기인입된제 2 액적스트림을분사하는제 2 아웃렛, 및상기제 2 인렛과상기제 2 아웃렛사이에서상기코어노즐의상기제 1 아웃렛을수용하는믹싱캐비티를포함하는쉘 노즐을포함한다.
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公开(公告)号：KR101573902B1
公开(公告)日：2015-12-03
申请号：KR1020130061243
申请日：2013-05-29
Applicant: (주)세온
IPC: H01B13/00
CPC classification number: H01L31/1884 , H01L31/022466 , Y02E10/50
Abstract: 불소가도핑된고투과율의산화주석박막제조방법이개시된다. 본발명의일 실시예에따른불소가도핑된고투과율의산화주석박막제조방법은 SnClㆍ5HO, SnCl및 SnCl·2HO 중어느하나와 NHF, HF 및 acetyl fluoride 중어느하나를용매에혼합하여 F/Sn의몰비가 0.4~1.4인프리커서(precursor) 용액을제조하는단계; 및기판상에상기제조된상기프리커서용액을분사하여상기기판상에불소가도핑된산화주석박막(FTO)을형성하는단계를포함하고, 상기프리커서용액을제조하는단계는물에 5~20%의에탄올을포함하는용매를이용하여상기프리커서용액을제조함으로써, 가시광선영역뿐만아니라자외선영역과적외선영역에서의투과율을높이고, 헤이즈(haze)를향상시킬수 있다.
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公开(公告)号：KR1020150129578A
公开(公告)日：2015-11-20
申请号：KR1020140056815
申请日：2014-05-12
Applicant: (주)세온
CPC classification number: C23C18/1258 , C23C18/1216
Abstract: 본발명은스프레이열 분해법에의한박막형성을위한확산노즐, 이를포함하는박막형성장치및 박막형성방법에관한것이다. 본발명의일 실시예에따른확산노즐은, 각각액적생성실에연결된입력단및 반응챔버측의출력단을가지고, 온도및 유속중 적어도어느하나에대하여독립적으로제어가가능한복수의액적전달유로들; 및상기액적전달유로들의각 출력단을가로질러지나는개구를갖는공통슬릿을포함한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于通过喷雾热解形成薄膜的扩散喷嘴，一种包括该扩散喷嘴的薄膜形成装置和一种薄膜形成方法。 根据本发明的实施例的扩散喷嘴包括多个液滴传送流路，其独立地具有连接到液滴产生室的输入端和形成在反应室侧的输出端，并独立地控制温度和流速之中的至少一个 ; 以及具有与液滴输送流路的每个输出端相交的开口的公共狭缝。
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公开(公告)号：KR1020150033780A
公开(公告)日：2015-04-02
申请号：KR1020130112685
申请日：2013-09-23
Abstract: 본발명은「유연기판(투명전도막이코팅된것일수 있음) 상에형성된금속배선구조로서, 상기유연기판을필요한부분만큼깎아내어(투명전도막이코팅된경우투명전도막만을필요한부분만큼깎아내거나투명전도막과상기유연기판을필요한부분만큼깍아내어) 형성된라인형태의음각부; 상기음각부상에임의의간격과패턴으로형성되되상기유연기판의일정깊이까지파인다수개의홈; 및상기음각부및 상기다수개의홈에충전된금속;을포함하여구성되어, 상기금속이배선을이루되상기다수개의홈에충전된부분이핀형구조를이루고있는것을특징으로하는유연기판상 금속배선구조」및 「(a) 유연기판(투명전도막이코팅된것일수 있음)을준비하는단계; (b) 레이저스크라이빙(laser scribing)을통해상기유연기판을필요한부분만큼깎아내어(투명전도막이코팅된경우투명전도막만을필요한부분만큼깎아내거나투명전도막과상기유연기판을필요한부분만큼깍아내어) 라인형태의음각부를형성시키는단계; (c) 상기음각부상에임의의간격과패턴으로레이저를조사(照射)하여상기유연기판의일정깊이까지파인다수개의홈을형성시키는단계; 및 (d) 상기음각부및 상기다수개의홈에금속을충전시키는단계;를포함하는유연기판상 금속배선방법」을제공한다.
Abstract translation: 本发明涉及形成在柔性基板（可涂覆有透明导电膜）上的金属布线结构。 柔性结构上的金属布线结构包括：将作为柔性基板形成的线状的凹部雕刻成所需的部分（因为透明导电膜和柔性膜被雕刻成所需部分的多少 或仅在透明导电膜被涂覆时，仅将透明导电膜雕刻成所需部分）; 在一定的图案上以一定的间隔形成在凹部上并在柔性基板上凹陷一定深度的多个槽; 和填充在凹部和凹槽中的金属。 因此，金属形成布线并且填充在凹槽中的部分是销状结构。 此外，提供了一种柔性基板上的金属布线方法，其包括以下步骤：（a）制备柔性基板（可以涂覆有透明导电膜）; （b）通过激光划线将柔性基板形成为所需要的部分，形成线状的凹部（由于透明导电膜和柔性膜被雕刻成所需部分或只有透明导电膜为 当涂覆有透明导电膜时雕刻成所需部分）; （c）通过以一定的间隔以一定的间隔将激光照射到凹部来形成在柔性基板上凹陷一定深度的多个凹槽; 和（d）在所述凹部和所述槽中填充金属。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101498654B1
公开(公告)日：2015-03-05
申请号：KR1020130061289
申请日：2013-05-29
Applicant: (주)세온
IPC: C25F3/02
Abstract: 고헤이즈를 위한 불소가 도핑된 산화 주석 박막 식각 방법이 개시된다. 본 발명에 따른 불소가 도핑된 산화 주석 박막 식각 방법은 불소가 도핑된 산화 주석 박막의 일부 영역에 형성된 제1 전극과 식각 용액이 들어있는 식각 용기의 일부 영역에 형성된 제2 전극에 미리 결정된 전압을 인가하는 단계; 상기 불소가 도핑된 산화 주석 박막을 딥 코터를 이용하여 미리 결정된 속도로 상기 식각 용액에 딥 코팅하는 단계; 및 상기 딥 코팅을 통해 상기 불소가 도핑된 산화 주석 박막을 식각하는 단계를 포함하고, 상기 미리 결정된 전압은 상기 불소가 도핑된 산화 주석 박막의 식각 전 면저항과 식각 후 면저항의 변화가 0~20[%]에 해당하는 전압인 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：KR1020110135612A
公开(公告)日：2011-12-19
申请号：KR1020100055440
申请日：2010-06-11
Applicant: (주)세온
Abstract: PURPOSE: A processing of FTO film on physically stabilized ultra-flexible thin substrate is provided to stabilize nucleation at coating process and conduct uniform grain growth by restraining vibration, drying, dusting, broking and elongation generated in super soft/ultra-light substrate. CONSTITUTION: A processing of FTO film on physically stabilized ultra-flexible thin substrate comprises a step of stabilizing by one method selected from physical fixing, electromagnetic fixing, chemical fixing and fluid mechanical fixing. The physical fixing is operated by pushing, weighting, physical connecting, etc. The electromagnetic fixing is operated by magnetic force, electromagnetic force, etc. The chemical fixing is operated by adhesive, binder, paste, etc. The fluid mechanical fixing is operated by reducing pressure, vacuum, etc. In the next step, the conducting film for a super soft substrate is formed. The super soft substrate is one among ceramics, glass, polymer, cotton flannel composite material. The super soft glass substrate is one among ultra-thin-sheet glass, and glass ribbon. The super soft polymer substrate is one among polyimide[PI], Teflon resin[PTFE], poly norborene resin[PNB], composite resin containing clay.
Abstract translation: 目的：提供物理稳定的超柔性薄基板上的FTO膜的加工，以在涂覆过程中稳定成核，并通过抑制在超柔软/超轻基材中产生的振动，干燥，除尘，断裂和伸长来均匀的晶粒生长。 构成：物理稳定的超柔性薄基板上的FTO膜的处理包括通过选自物理固定，电磁固定，化学固定和流体机械固定的一种方法进行稳定的步骤。 物理固定通过推，加重，物理连接等操作。电磁固定由磁力，电磁力等操作。化学固定由粘合剂，粘合剂，糊剂等进行操作。流体机械固定由 减压，真空等。在下一步骤中，形成超软基板用导电膜。 超柔软基材是陶瓷，玻璃，聚合物，棉绒复合材料之一。 超级软玻璃基板是超薄板玻璃和玻璃带之一。 超柔性聚合物基材是聚酰亚胺[PI]，特氟隆树脂[PTFE]，聚降冰片树脂[PNB]，含有粘土的复合树脂之一。
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公开(公告)号：KR1020110114921A
公开(公告)日：2011-10-20
申请号：KR1020100034305
申请日：2010-04-14
Applicant: (주)세온
IPC: H01L31/18 , H01L21/205 , C23C16/52
CPC classification number: Y02P70/521 , H01L31/18 , C23C16/52 , H01L21/205
Abstract: 본 발명은 곡면과 같은 복잡한 형상의 투명 모재 기판위에 FTO 투명전도막을 형성하는 코팅 시스템에 관한 것으로, 특히, 전처리 챔버, 증착챔버, 후처리 챔버가 선형적으로 연결되어 있고, 상기 증착 챔버의 일측면부에 구비되는 곡면화 노즐로부터 FTO 프리커서가 분사되고 곡면의 형상을 갖는 서셉터를 통하여 FTO 박막의 증착이 이루어지는 동시에 반대 측면부에서 석션을 함으로서 FTO 프리커서 플로우가 기판과 평행하게 흐르게 함으로서 가열된 기판에 FTO가 균일 도포되게 하는 곡면 FTO 코팅 시스템에 관한 것이다.
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公开(公告)号：KR1020110113292A
公开(公告)日：2011-10-17
申请号：KR1020100032602
申请日：2010-04-09
Applicant: (주)세온
IPC: H05B3/84
CPC classification number: H05B3/84 , H01L21/02282 , H05B3/10 , H05B2203/017
Abstract: 본 발명은 FTO 투명전도막과 글라스 유리기판 사이에 상기 FTO 투명전도막보다도 저전기저항성의 금속 메쉬를 그리드 형태로 형성시켜 대면적 투명 발열히터를 제작하는 방법으로, FTO 투명전도막층은 스프레이 파이로졸법에 의해 형성된다.
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公开(公告)号：KR101761864B1
公开(公告)日：2017-08-07
申请号：KR1020150148316
申请日：2015-10-23
Applicant: (주)세온
Abstract: 본발명은의복또는양말과같은직물의건조, 주름펴기, 소취, 또는스무딩과같은컨디션을향상시키기위한직물처리장치에관한것이다. 본발명의일 실시예에따른직물처리장치는, 적어도일 측면에개구를갖고, 적어도타 측면에처리될직물을향하여열 복사하는면상발열판을갖는캐비닛하우징; 상기면상발열판상에적층되고, 상기면상발열판을통해투과되는상기캐비닛하우징내의상기처리될직물을시각적으로가리거나, 정보를표시하기위한디스플레이소자층; 상기캐비닛하우징의상기개구를통하여출입하면서상기개구를개폐하는덮개프레임; 및상기면상발열판의전력제어를위한제어부를포함하고, 상기면상발열판은제 1 절연성기판, 상기제 1 절연성기판의일면상에형성된도전성의면상발열층및 상기면상발열층상에형성되어전류를인가하기위한전극패턴들을포함할수 있다.
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