半导体装置和制造该半导体装置的方法

    公开(公告)号:CN117936541A

    公开(公告)日:2024-04-26

    申请号:CN202311371661.0

    申请日:2023-10-23

    Abstract: 公开了一种半导体装置和一种制造半导体装置的方法。该半导体装置包括在衬底的第一区域上的第一晶体管,以及在衬底的第二区域上的第二晶体管。第一晶体管包括第一栅极绝缘层,该第一栅极绝缘层包括顺序地堆叠在第一半导体沟道层中的每一个上的第一界面绝缘层、第一下高κ电介质层和第一复合电介质层。第二晶体管包括第二栅极绝缘层,第二栅极绝缘层包括顺序地堆叠在第二半导体沟道层中的每一个上的第二界面绝缘层、第二下高κ电介质层、第二复合电介质层和第二上高κ电介质层。第一下高κ电介质层和第二下高κ电介质层包括第一金属元素,第二上高κ电介质层包括第二金属元素,并且第一复合电介质层和第二复合电介质层包括第一金属元素和第二金属元素两者。

    半导体存储器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN111863825B

    公开(公告)日:2023-12-26

    申请号:CN202010234941.7

    申请日:2020-03-30

    Abstract: 公开了半导体存储器件及其制造方法。该半导体存储器件包括:第一半导体图案,在衬底上并包括彼此背对的第一端和第二端;第一导电线,在该第一端和该第二端之间、与该第一半导体图案的侧表面相邻并垂直于衬底的顶表面;第二导电线,与第一半导体图案的第一端接触,与第一导电线间隔开,并平行于衬底的顶表面;以及数据存储图案,与第一半导体图案的第二端接触。第一导电线具有与第一半导体图案的侧表面相邻地突出的突起。

    半导体封装件
    34.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110690198B

    公开(公告)日:2023-05-23

    申请号:CN201910287858.3

    申请日:2019-04-11

    Abstract: 本发明提供一种半导体封装件,所述半导体封装件包括:框架,具有彼此分开的第一通孔和第二通孔;无源组件,设置在所述第一通孔中;半导体芯片,设置在所述第二通孔中并具有设置有连接焊盘的有效表面和与所述有效表面背对的无效表面;第一包封剂,覆盖所述无源组件的至少部分并填充所述第一通孔的至少部分;第二包封剂,覆盖所述半导体芯片的至少部分并填充所述第二通孔的至少部分;以及连接结构,设置在所述框架、所述无源组件和所述半导体芯片的有效表面上并包括电连接到所述无源组件和所述半导体芯片的所述连接焊盘的布线层。所述第二包封剂的电磁波吸收率比所述第一包封剂的电磁波吸收率高。

    扇出型半导体封装件
    37.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107887361B

    公开(公告)日:2020-08-04

    申请号:CN201710244624.1

    申请日:2017-04-14

    Inventor: 金亨俊 李斗焕

    Abstract: 提供一种扇出型半导体封装件。半导体芯片设置在第一连接构件的通孔中。半导体芯片的至少一部分被包封剂包封。包括重新分布层的第二连接构件形成在半导体芯片的有效表面上。具有优良的可靠性的外部连接端子形成在包封剂中。

    垂直型存储器件
    38.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111162084A

    公开(公告)日:2020-05-15

    申请号:CN201910851403.X

    申请日:2019-09-10

    Abstract: 一种垂直型存储器件包括:多个栅电极,堆叠在衬底上;和垂直沟道结构,沿垂直于衬底的上表面的第一方向穿透所述多个栅电极。垂直沟道结构包括:沿第一方向延伸的沟道;第一填充膜,部分地填充沟道的内部空间;第一衬层,在第一填充膜的上表面的至少一部分上并且在沟道的远离衬底延伸超过第一填充膜的上部内侧壁。第一衬层包括n型杂质。垂直沟道结构包括在第一衬层的至少一部分上的第二填充膜和在第二填充膜上并与第一衬层接触的焊盘。

    包括局部扩大的沟道孔的半导体器件

    公开(公告)号:CN110718552A

    公开(公告)日:2020-01-21

    申请号:CN201910211674.9

    申请日:2019-03-20

    Abstract: 本发明公开了包括具有局部扩大的沟道孔的半导体器件,该半导体器件包括在衬底上的下堆叠结构、在下堆叠结构上的上堆叠结构以及在穿过上堆叠结构和下堆叠结构形成的沟道孔中的沟道结构。沟道孔包括在下堆叠结构中的下沟道孔、在上堆叠结构中的上沟道孔、以及与下堆叠结构和上堆叠结构之间的界面相邻的局部延伸部分。局部延伸部分与下沟道孔和上沟道孔流体连通。局部延伸部分的横向宽度可以大于与局部延伸部分相邻的上沟道孔的横向宽度,并大于与局部延伸部分相邻的上沟道孔的横向宽度。

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