公开(公告)号：CN120048710A

公开(公告)日：2025-05-27

申请号：CN202510186116.7

申请日：2025-02-20

Applicant: 浙江祺跃科技有限公司

Inventor： 朱润华 ,  韩旭鹏 ,  朱靖 ,  王飞 ,  李隆玉 ,  张跃飞

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/02

Abstract: 本发明公开一种电镜样品台，包括样品台耦合组件和位置调整座，样品台耦合组件包括静态样品台和原位拉伸台，位置调整座用于与电镜门连接，静态样品台和原位拉伸台均设置于位置调整座上，位置调整座能够相对电镜门对样品台耦合组件进行位置精细调节。本发明利用与电镜适配度更高的位置调整座同时安装静态样品台和原位拉伸台，不仅实现了两种样品台的耦合，克服了常规电镜无适配拉伸台，还需针对不同电镜制定专门的拉伸台，从而使得实验周期加长，设备成本增加，电镜线缆接口较多，操作使用体验感较差等问题，而且原位拉伸台和静态样品台采用上下无干扰安装布局，无需拆装即可灵活选择不同的样品台进行实验操作，可满足实验室多种样品的观测需求。

公开(公告)号：CN119943631A

公开(公告)日：2025-05-06

申请号：CN202411905120.6

申请日：2024-12-23

Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司

Inventor： 李进 ,  陈辉 ,  林萍 ,  尚成国 ,  徐志华

IPC: H01J37/02 ,  H01J37/244 ,  H01J37/30 ,  H01J37/317 ,  H01L21/265

Abstract: 本发明公开了一种离子注入机的束流Glitch恢复方法及系统，方法包括步骤：实时监测束流Glitch；当发生束流Glitch时，立即关断束流，同时记录晶圆注入中断位置，记为第一中断位置，同时晶圆运动到安全位置；监测束流稳定性和均匀性达到指标后，立即启动一次Glitch的反向补打，晶圆进行一次Glitch的反向补打；在进行晶圆一次Glitch反向补打时，晶圆从未注入区域开始补打，当晶圆运动到注入第一中断位置时关断束流，至此，一次Glitch补打注入结束。本发明不仅能够完成一次束流Glitch的补打，还可以实现多次Glitch的补打，为离子注入机产品安全的重要补救方法。

公开(公告)号：CN119920665A

公开(公告)日：2025-05-02

申请号：CN202411939685.6

申请日：2024-12-26

Applicant: 屹东光学技术(苏州)有限公司

Inventor： 尉东光 ,  贾晨 ,  杨旭 ,  于潇 ,  马刚 ,  余雷

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/26 ,  H01J37/02 ,  H01J37/20 ,  G01N23/2251 ,  G01N23/2202

Abstract: 本发明提供一种氩离子束扫描电子显微镜双束系统及原位样品分析方法，该系统的电子光学镜筒产生高能电子束，用于扫描样品表面成像；离子光学镜筒产生高能氩离子束，用于样品表面抛光；样品室用于容纳样品，并提供真空环境；样品台用于精确控制样品的位置和角度；探测器用于收集电子束与样品相互作用产生的信号，用于成像分析。本发明消除了样品转移步骤，大大提高了样品制备和分析的效率；能够处理毫米级大尺寸样品，并获得表面平整光滑的样品；在同一真空环境下进行样品抛光和成像，最大限度地减少了样品污染，提高了分析结果的准确性；通过结合氩离子束抛光和扫描电子显微镜成像技术，实现了对样品的高效、高精度和原位分析，从而获得更全面、更准确的微观结构信息。

公开(公告)号：CN119757921A

公开(公告)日：2025-04-04

申请号：CN202411933257.2

申请日：2024-12-26

Applicant: 兰州大学

Inventor： 胡阳 ,  摆永龙 ,  彭勇 ,  朱柳 ,  陈越 ,  史博文 ,  訾浩然 ,  陈春梅

IPC: G01R31/00 ,  H01J37/20 ,  H01J37/02 ,  H01J37/26 ,  G01N21/84

Abstract: 本发明公开了一种多场耦合透射电子显微镜原位样品杆及其双向精确温度与电磁场控制系统方法，属于透射电镜领域。本发明的样品杆的杆头包括载物台、设置在载物台内的微型U型电磁铁和PCB电路板、以及设置在载物台后端的导温板和液氮循环管，以及设置在载物台上的四电极MEMS热电芯片。本发明通过MEMS热电芯片实现加热和电场的双重控制，并结合液氮冷却系统，实现对样品的双向温度调节。同时，样品杆还集成了微型U型电磁铁以施加可控的平行磁场。整个系统能够在极端条件下进行多场耦合实验，如电学、磁学、相变等动态研究。

公开(公告)号：CN117727609B

公开(公告)日：2025-04-04

申请号：CN202311747455.5

申请日：2023-12-18

Applicant: 东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司

Inventor： 蒋俊海 ,  孙伟强

IPC: H01J37/02 ,  H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  G01N23/225 ,  G01N23/2251

Abstract: 本申请提供一种基于振动弛豫的扫描补偿方法、系统及电子设备，包括：基于启动定位信号，生成定位动作指令；基于所述定位动作指令，控制工件台运动并判断是否运动至振动补偿范围；在工件台运动至振动补偿范围的情况下，控制工件台以预设振动弛豫模型的振动形式进行运动，以确定工件台运动过程中的第一位置偏差；基于所述第一位置偏差，生成扫描补偿信号；基于所述扫描补偿信号进行电子束扫描，扫描补偿信号在电子束扫描过程中驱动电子束相对工件台运动。本申请基于振动弛豫的扫描补偿方法通过优化工件台定位流程，降低了电子束扫描成像中由于振动弛豫导致的图像质量下降问题，提升了扫描图像分辨率，提高了成像速度和设备整体产能。

公开(公告)号：CN115410889B

公开(公告)日：2025-04-04

申请号：CN202210894967.3

申请日：2022-07-28

Applicant: 广奕电子科技(宁波)有限公司

Inventor： 王作义 ,  朱莉 ,  高万智 ,  何立新

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/02

Abstract: 本发明涉及控制终端技术领域，尤其为一种用于芯片制造的离子注入机控制终端，包括：控制终端，所述控制终端的前侧开设有若干等间距分布的端口；固定机构，固定机构包含有开设于控制终端底部的腔体一，所述腔体一的数量为四个，所述腔体一内腔的上方固定连接有若干等间距分布的固定杆，所述固定杆的表面转动连接有锁止块，所述锁止块一侧的上方固定连接有弹簧。本发明在实际使用过程中，首先改变传统螺栓安装方式，在控制终端底部设置固定机构，不仅拆装都较为快速，效率高，且连接处也不必担心会出现生锈腐蚀，造成连接松懈情况的发生，最后也不用在控制终端的顶部开设安装孔，进一步提高了控制终端的美观性。

公开(公告)号：CN119517711A

公开(公告)日：2025-02-25

申请号：CN202411634093.3

申请日：2024-11-15

Applicant: 滁州华瑞微电子科技有限公司

Inventor： 胡振华 ,  高峰

IPC: H01J37/317 ,  B08B7/00 ,  H01J37/02

Abstract: 本申请公开了一种带有清洁功能的离子注入机及其清洁方法，涉及离子注入设备技术领域，本申请通过对现有技术中的离子注入机的结构进行优化改进，增设清洁组件；清洁组件利用气压以及自身形变对离子注入机上粘连杂物进行高效便捷的粘除清洁；实现了离子注入机能够高效便捷的代替人工完成自清洁的技术效果。

公开(公告)号：CN119213523A

公开(公告)日：2024-12-27

申请号：CN202380043067.0

申请日：2023-05-10

Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司

Inventor： J·雅各比 ,  J·巴德尔

IPC: H01J37/02 ,  H01J37/14 ,  H01J37/28

Abstract: 公开了一种多束粒子显微镜中磁透镜的改良对准。为此目的，将一种具有致动器系统的电控机械对准和固定装置设置用于至少一个特别是整体可对准的磁透镜，所述装置配置成在与多束粒子显微镜的光轴正交的平面中机械地对准和机械地固定粒子光束路径中的至少一个可对准磁透镜的位置，并且设置有控制器，该控制器配置成可对于电控机械对准和固定装置进行电气控制。

公开(公告)号：CN114586128B

公开(公告)日：2024-12-20

申请号：CN202080070186.1

申请日：2020-09-10

Applicant: ICT半导体集成电路测试有限公司

Inventor： B·J·库克

IPC: H01J37/147 ,  H01J37/153 ,  H01J37/09 ,  H01J37/10 ,  H01J37/28 ,  H01J37/02

Abstract: 带电粒子束装置包括带电粒子源和子束形成多孔板。所述装置还包括：预补偿器，所述预补偿器用于减小子束在目标处的像差；扫描器，所述扫描器用于扫描子束中的每个子束；物镜，所述物镜用于使每个子束聚焦到目标上；以及控制器，所述控制器配置为与预补偿器和扫描器同步。预补偿器包括：至少一个“径向可变的”多孔电极，其中所述至少一个“径向可变的”多孔电极的每个孔的直径随着孔距光轴z的距离而缩放；以及至少一个“笛卡尔可变的”多孔电极，其中所述至少一个“笛卡尔可变的”多孔电极的每个孔的直径随着孔的位置的x分量而缩放。

公开(公告)号：CN111562149B

公开(公告)日：2024-12-13

申请号：CN202010064575.5

申请日：2020-01-20

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 铃木将人 ,  中谷郁子 ,  富松聪 ,  佐藤诚

IPC: G01N1/28 ,  G01N1/32 ,  G01N23/2005 ,  H01J37/02 ,  H01J37/20 ,  H01J37/305

Abstract: 提供薄膜试样片制作方法和带电粒子束装置，能够抑制薄膜试样片的缺损。具有如下工序：从与试样(S)的表面的法线方向(z)交叉的第2方向照射会聚离子束(FIB2)而对试样(S)进行加工，从而制作出薄膜试样片(1)，并且制作出配置于试样(S)薄膜试样片(1)的厚度方向(x)的一侧并使薄膜试样片(1)连接于试样(S)的连结部(3)的工序；使试样(S)绕法线方向(z)旋转的工序；使对薄膜试样片(1)进行保持的探针连接于薄膜试样片(1)的工序；以及从与法线方向(z)交叉的第3方向向连结部(3)照射会聚离子束(FIB3)从而使薄膜试样片(1)从试样(S)分离出来的工序。