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公开(公告)号：CN102101303B
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN201010594866.1
申请日：2010-12-20
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
Abstract: 本发明公开一种气动切割系统，适用于对有机显示器件中异方性导电胶膜的分割，包括上板、下板、气缸马达、弹簧、上板限位柱及刀具，所述上板的中部凸伸出安装座，所述下板的中部枢接于所述安装座上，所述气缸马达固定于所述上板的左端且所述气缸马达的活塞杆垂直穿过所述上板的左端且正对所述下板左端，所述弹簧连接于所述上板的右端及下板的右端之间，所述刀具安装于位于所述弹簧的右侧的所述下板的右端处，所述刀具的刀口向上正对所述上板，所述上板的右端凸伸出朝向所述下板的右端的上板限位柱。本发明气动切割系统结构简单，控制方便，控制精度高，可靠性高。
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公开(公告)号：CN102001525B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201010502629.8
申请日：2010-09-30
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: H01L21/677 , B65G49/06
Abstract: 本发明提供了一种锁定式升降平移传输设备，包括机架、垂直升降装置、两级水平移动装置及抱紧机构。垂直升降装置包括导向件、垂直驱动机构、垂直传动机构、推动杆及相互平行的上升降板和下升降板，两级水平移动装置包括滑板、水平驱动机构、水平传动机构、推动块及承载板，承载板随下升降板在垂直驱动机构驱动下做竖直的上下移动，水平驱动机构带动滑板水平滑动，承载板受水平方向的力时在滑板上水平滑动延伸，两抱紧机构分别安装在垂直驱动机构与水平驱动机构上并分别对其输出轴进行锁定控制。本发明的锁定式升降平移设备能够同时实现垂直高度调节及平移调节并且具有锁定功能，定位准确且安全可靠，操作灵活方便，能有效提高基片传输质量。
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公开(公告)号：CN101825841B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201010139315.6
申请日：2010-03-30
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: G03F1/82
Abstract: 本发明提供了一种掩膜存储清洗系统，包括腔体、输送装置、装载盒、升降装置、控制装置、抽真空装置及离子清洗器。腔体开设有工作腔、第一通口和第二通口。输送装置的输送件收容于工作腔内，且其后端与第二通口对接。装载盒的装载框体内设置有至少两个呈等间距并平行分布的支撑组，相邻支撑组之间形成呈水平的存储槽，且装载框体的后端开设有传输口。升降装置驱动装载盒沿竖直方向移动并使传输口形成传输对接区，传输对接区与输送件对接。控制装置控制升降装置驱动装载盒的存储槽逐一与输送件的前端对接。抽真空装置为腔体的工作腔提供真空环境。离子清洗器对装载盒内的掩膜进行清洗。本发明能集掩膜存储和清洗于一体以减少工序数并提高生产效率。
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公开(公告)号：CN101876063B
公开(公告)日：2012-02-29
申请号：CN201010131967.5
申请日：2010-03-23
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
Abstract: 本发明实施例公开了一种遮光板机构，用于遮挡提供真空环境的真空腔体上的观察窗，包括转轴、挡板、把手及两轴座，所述轴座固定于所述腔体上且位于所述观察窗的两侧，所述轴座上开有轴孔，所述转轴旋转地插设于所述轴孔内，并且所述转轴至少一端开设有把手孔并伸出至相应轴孔外，所述把手滑动地插设于所述把手孔内，所述挡板位于两所述轴座之间并固定于所述转轴上，转动所述把手使所述挡板对所述观察窗呈遮挡或敞开状。遮光板机构安装于真空腔体的观察窗位置上，挡板在关闭状态时遮盖住整个观察窗，防止观察窗内的强光或带辐射光线射出，保证了真空腔体工作人员的安全和健康；另，本发明还公开了一种具有该遮光板机构的真空腔体。
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公开(公告)号：CN101876057B
公开(公告)日：2012-02-29
申请号：CN201010131979.8
申请日：2010-03-23
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: C23C14/24
Abstract: 本发明公开了一种蒸镀腔体，包括底板、顶板以及设于底板与顶板之间的若干侧板，底板、顶板以及若干侧板互相密封连接形成中空的蒸镀腔，侧板开有基板传送口以及维修口，至少一侧板为呈弯折结构的弯折侧板，弯折侧板包括与顶板密封连接的上侧板，沿上侧板向蒸镀腔内斜向延伸形成中侧板，沿中侧板向下延伸形成下侧板，下侧板与所述底板密封连接，蒸镀腔体包括分别与上侧板、中侧板以及下侧板相对应的且体积依次减少的上腔体、中腔体以及下腔体，基板传送口位于所述上腔体上，维修口自中腔体开设至下腔体。本发明蒸镀腔体强度高，成本低并且轻便；另，本发明还提供了一种具有该蒸镀腔体的蒸镀装置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101881335B
公开(公告)日：2012-02-01
申请号：CN201010131953.3
申请日：2010-03-23
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
Abstract: 本发明公开了一种多层橡胶密封圈密封装置，适用于对真空腔体的腔体口与腔盖的连接进行密封，包括若干橡胶密封圈，正对腔盖的真空腔体处开设有环绕腔体口的容置槽，橡胶密封圈一一对应的收容于容置槽内且凸出容置槽，相邻的容置槽之间开设有正对腔盖的冷却槽，冷却槽内一一对应的收容呈中空结构的冷却管，真空腔体的侧壁上还开设有抽气通道，抽气通道的一端与外部抽真空设备连通，抽气通道的另一端分别与冷却槽连通。本发明的目的在于提供一种结构简单紧凑、防渗漏性能好且使用寿命长的具有多层密封效果的多层橡胶密封圈密封装置。
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公开(公告)号：CN101876056B
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：CN201010131954.8
申请日：2010-03-23
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: C23C14/24
CPC classification number: C23C14/246 , C23C14/545
Abstract: 本发明公开了一种蒸发镀膜设备，其包括设置于真空腔体内的绕丝机构、送丝机构、蒸发源机构及挡板组件，其中，蒸发源机构包括电极、膜厚传感器及固定于电极上的蒸发器，蒸镀过程中，膜厚传感器适时地检测沉积于其上的膜厚，系统根据检测到的膜厚及一定的转换公式可得出沉积在工件上的膜厚，以便通过沉积效率或沉积时间来控制需要沉积于工件上的膜厚，使工件上的膜厚精确，进而提高膜层质量；根据实际需要将蒸发丝缠绕于绕丝机构上，通过送丝机构将蒸发丝平稳、均匀地送到蒸发器上，延长了蒸发丝更换的周期，不会因为跟换蒸发丝而破坏真空腔体内的真空环境，提高蒸发镀膜形成的膜层质量；使蒸发镀膜设备具有较高的自动化程度。
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公开(公告)号：CN102034725A
公开(公告)日：2011-04-27
申请号：CN201010502641.9
申请日：2010-09-30
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/677 , H01L21/68
Abstract: 本发明公开了一种基片自动对位上载装置，用于真空环境下上载基片，该基片自动对位上载装置包括真空腔体、夹持机构，及位于所述真空腔体内的夹持输送机构、夹持升降机构、基片输送机构、基片升降机构和基片对位机构，所述夹持机构用于夹持基片，所述夹持输送机构带动夹持机构沿水平方向输入输出真空腔体，所述夹持升降机构驱动夹持机构做升降运动，所述基片输送机构带动基片沿水平方向输入真空腔体，所述基片升降机构驱动基片做升降运动，所述基片对位机构调整基片在水平方向上的位置。该基片自动对位上载装置可保证基片上载的整个过程中腔体内一直维持在稳定的真空状态下，且安全、洁净、对位可靠。
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公开(公告)号：CN102010140A
公开(公告)日：2011-04-13
申请号：CN201010502608.6
申请日：2010-09-30
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: C03C19/00
Abstract: 本发明公开了一种滚刷升降装置，包括固定座、滚刷、电机、两滚刷升降台以及升降机构、固定座包括对称分布的两升降滑轨固定座，滚刷升降台与升降滑轨固定座一一对应，两升降滑轨固定座之间形成处理区，升降滑轨固定座上沿纵向凸设有升降台滑轨，升降滑轨固定座还开设有与升降台滑轨平行的通槽，滚刷升降台呈滑动的卡于升降台滑轨上，电机固设于两滚刷升降台中的一个上，电机的输出轴与滚刷的一端连接，滚刷的另一端穿过通槽并横跨处理区与另一滚刷升降台枢接，升降机构的输出端与滚刷升降台连接，升降机构推动滚刷升降台沿升降台滑轨做升降运动并带动滚刷升降。升降机构控制滚刷同步升降，使滚刷能对玻璃基片进行连续的清洗工作从而提高工作效率。
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公开(公告)号：CN101958635A
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN201010171137.5
申请日：2010-05-06
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: H02K51/00
CPC classification number: H02K49/106
Abstract: 本发明公开了一种真空磁力传动机构，包括安装板、外轴套、隔套、内轴套、传动轴、若干外磁体及若干内磁体，外轴套开设有供容置隔套的圆槽，圆槽内设有轴孔，圆槽的壁上设有若干均布的外容置槽，外磁体极性一致地容置于外容置槽内，隔套具有供容置内轴套的中空结构，隔套的一端凸伸形成与轴孔枢接的凸轴，另一端的向外凸伸形成与安装板固接的底座，隔套与圆槽的内壁之间、底座与外轴套之间均具有间隙，内轴套上对应开有内容置槽，内磁体极性一致地容置于内容置槽内，内磁体与外磁体分布于同一平面，传动轴一端与内轴套固接，另一端枢接地穿过安装板上的通孔。本发明的真空磁力传动机构传动平稳且高效，容易控制，成本低，实用性与通用性强。
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