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公开(公告)号：CN102879845B
公开(公告)日：2014-12-31
申请号：CN201210381719.5
申请日：2012-10-10
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及光栅制作技术领域，具体为一种基于PDMS的纳米级光栅制作方法，解决了现有的纳米光栅制作方法所用设备昂贵、工艺条件苛刻复杂、难以控制、制作成本高、周期长的问题。一种基于PDMS的纳米级光栅制作方法，包括如下步骤：a、用光刻技术制作光栅母模版（5）；b、将步骤a中的光栅母模版（5）的光栅图案转移到PDMS薄膜（6）上，制作带有光栅图案的PDMS薄膜（7）；c、将带有光栅图案的PDMS薄膜（7）夹持在电控平移台上。本方法得到的纳米级光栅首先成型在PDMS薄膜上，而PDMS是一种很好的中间模具材料，对此PDMS薄膜再次倒模，便可以制作出其它多种材料的纳米级光栅。
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公开(公告)号：CN102879845A
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：CN201210381719.5
申请日：2012-10-10
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及光栅制作技术领域，具体为一种基于PDMS的纳米级光栅制作方法，解决了现有的纳米光栅制作方法所用设备昂贵、工艺条件苛刻复杂、难以控制、制作成本高、周期长的问题。一种基于PDMS的纳米级光栅制作方法，包括如下步骤：a、用光刻技术制作光栅母模版（5）；b、将步骤a中的光栅母模版（5）的光栅图案转移到PDMS薄膜（6）上，制作带有光栅图案的PDMS薄膜（7）；c、将带有光栅图案的PDMS薄膜（7）夹持在电控平移台上。本方法得到的纳米级光栅首先成型在PDMS薄膜上，而PDMS是一种很好的中间模具材料，对此PDMS薄膜再次倒模，便可以制作出其它多种材料的纳米级光栅。
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公开(公告)号：CN102830086A
公开(公告)日：2012-12-19
申请号：CN201210317953.1
申请日：2012-08-31
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及红外气体探测器的敏感元件，具体是一种基于黑硅吸收层及多层组合膜结构的红外探测器敏感元件。进一步提高了热释电薄膜型红外气体探测器的检测性能。由上至下包括红外敏感吸收层、上电极、热释电薄膜组合层、下电极、热隔离层、高热阻抗基底；红外敏感吸收层为具有锥状森林形貌结构的黑硅吸收层，热释电薄膜组合层为若干层PT薄膜和PZT薄膜交替设置构成的PT/PZT/PT～PT/PZT/PT多层薄膜结构；结构及加工工艺合理，具备良好的热吸收性能和热响应性能，能用于构建高性能红外气体探测器，满足环境安全、煤矿生产安全、以及危化品气体储运、煤气管道防泄、森林火灾防护、工业安全生产等领域中的监测需要。
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公开(公告)号：CN102506990A
公开(公告)日：2012-06-20
申请号：CN201110350625.7
申请日：2011-11-09
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开了一种二维同振柱形仿生矢量水听器，该矢量水听器的灵敏度、指向性等各性能指标得到了进一步的提高。该矢量水听器包括圆柱体透声外壳、灌封于透声外壳内部的支撑体以及设于支撑体上的二维四梁纤毛式微敏感体和声压水听器，二维四梁纤毛式微敏感体安装在支撑体的圆盘上表面的中心处，在二维四梁纤毛式微敏感体的外部罩有半球形封闭的透声帽，且在透声帽内充有密度与水密度相同或相近的绝缘液体，声压水听器连接在支撑体的中空管的底部端口，该矢量水听器的各个输出为并联连接；透声外壳在其上、下端分别灌封有带挂钩的吊环。本发明矢量水听器结构简单，灵敏度高，指向性好，工作频带范围宽，上限可达3KHz，应用范围广阔。
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公开(公告)号：CN102435376A
公开(公告)日：2012-05-02
申请号：CN201110324730.3
申请日：2011-10-24
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开了一种基于柔性导电橡胶的柔性三维力传感器并提出了制作方法。柔性三维力传感器的基体为柔性导电橡胶，中间由四层微电极和导线阵列组成，并且每一层的导线都外接信号处理电路，通过检测电阻值的变化从而测得三维力的大小。柔性三维力传感器的关键是微电极和导线的制作，本专利采用了基于SU-8+PDMS的UV-LIGA工艺制作微电极和导线阵列。然后，把制作好的微电极和导线阵列放入传感器的模腔中，注入液态柔性导电橡胶。最后，经过一段时间的冷却固化，即可制作出了柔性三维力传感器。由于微电极的间距小，大大提高了传感器的灵敏度和精度，并可以批量化生产传感器。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101270990A
公开(公告)日：2008-09-24
申请号：CN200810054932.9
申请日：2008-05-06
Applicant: 中北大学
Abstract: 一种多层纳米膜隧穿式微陀螺仪的检测装置，主要结构由玻璃基板、固定电极正极、梳齿电极负极、敏感质量块、固定座、固定梳齿、阻尼孔、检测梁、驱动梁、联接块、隧穿器件、纳米膜层组成，在敏感质量块上设置固定座、梳齿，检测由检测梁、驱动梁、隧穿器件组成，隧穿器件由衬底基板、绝缘层、电极、纳米膜层组成，在玻璃基板上设置固定电极正极、梳齿电极负极，阻尼孔由96个通孔方形孔组成，纳米膜层可使隧穿器件形成多势垒压敏结构，可使硅压阻器件的灵敏度提高1－2个数量级，此装置结构合理紧凑，检测方便，检测精度高，灵敏度高，分辨率高，不受温度影响，其检测精度比现有技术可提高2－3倍，检测数据翔实、准确，可靠性好。
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公开(公告)号：CN101017180A
公开(公告)日：2007-08-15
申请号：CN200710061572.0
申请日：2007-03-06
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及一种微加速度计，具体是用于常规弹药制导抗高过载复合式微加速度计，解决了有些物理过程存在相差上百甚至上千倍的多个加速度值需要测量，而现有技术中一个微加速度计无法完成测试的问题。包括四组微加速度计单元，所述四组微加速度计单元按2×2阵列结构设置，上排两组微加速度计单元的压敏电阻沿固支梁的长度方向设置，下排两组微加速度计单元的压敏电阻沿固支梁的宽度方向设置，各微加速度计单元的框架为整体。本发明不但能同时感测4种不同的加速度信号，而且具有很好的抗干扰能力、较高的抗过载能力和自检测功能。
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公开(公告)号：CN1673723A
公开(公告)日：2005-09-28
申请号：CN200510012466.4
申请日：2005-04-18
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及微机电系统的动态特性测试方法，具体为微机电系统的动态应力测试方法。本发明解决现有技术尚无测试微机电系统动态应力测试方法的问题。该方法包含激光照射动态样品、样品产生拉曼散射、输出拉曼光谱、分析拉曼光谱的拉曼测试过程，将照射激光调制成与被测样品动态振动频率相同的激光脉冲。本发明首次将拉曼测试原理用于微机电系统动态应力的测试，并通过对激光的高频调制使拉曼测试用于微机电系统的动态应力测试成为现实，从而给出了一种基于拉曼光谱的非接触式无损测试微机电系统动态应力的方法，添补了微机电系统动态应力测试的空白。
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公开(公告)号：CN110075393B
公开(公告)日：2021-06-29
申请号：CN201910490610.7
申请日：2019-06-06
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及输液管中注射液的监测，具体为一种基于新型5G毫米波天线监测输液管注射液的低成本方法。一种利用新型5G毫米波天线监测输液管注射液的低成本方法，在输液管滴壶外壁集成柔性微型毫米波共形天线，柔性微型毫米波共形天线连接毫米波发生模块，毫米波发生模块产生脉冲信号传输至柔性微型毫米波共形天线；由天线及接收模块接收柔性微型毫米波共形天线的辐射功率Pt并由存储模块存储，利用控制器遍历寻找存储模块中描述存储的最大辐射功率，基于此可得到注射液水位高度的变化；从而控制器控制预警模块提醒医护人员，克服了输液过程中人工监控缺失的不足。
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