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公开(公告)号：CN102545061A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201210017845.2
申请日：2012-01-19
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种大功率太赫兹量子级联的激光器的制备方法。根据本发明的方法，先基于蒙特卡洛模拟法来模拟多个不同参数下的预定结构的有源区的电传输及输出增益特性，以获得优化的一组参数；随后再基于所获得的一组参数来制备包含所述预定结构的有源区的太赫兹量子级联的激光器。本发明采用了基于蒙特卡洛模拟法所获取的参数来制备大功率太赫兹量子级联的激光器，使得所制备出的激光器因参数的优化而具有大激射光功率输出。
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公开(公告)号：CN100576664C
公开(公告)日：2009-12-30
申请号：CN200710043823.2
申请日：2007-07-13
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01S5/22 , H01L21/3063 , H01L21/308 , C23F1/16
Abstract: 一种太赫兹量子级联激光器脊形结构湿法腐蚀的方法，首先采用光刻显影制作腐蚀掩膜、坚膜，然后用稀盐酸去除器件材料表面的氧化膜，再将器件材料用相应的夹具固定放入盛有稀释的硫酸腐蚀液的器皿中，并采用磁力搅拌器进行湿法腐蚀，当腐蚀结束后，迅速将器件材料从腐蚀液中取出，用过量的去离子水冲洗，然后用高纯氮气吹干，再将器件材料放入丙酮溶液中去除表面的光刻胶掩膜后，进行台阶仪测试以确定腐蚀深度，如此可使腐蚀方便快捷，且由于腐蚀速率低，可更容易控制腐蚀深度，特别是在腐蚀深度深，腐蚀时间长的情况下，其优势显得格外突出。
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公开(公告)号：CN101345395A
公开(公告)日：2009-01-14
申请号：CN200710043823.2
申请日：2007-07-13
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01S5/22 , H01L21/3063 , H01L21/308 , C23F1/16
Abstract: 一种太赫兹量子级联激光器脊形结构湿法腐蚀的方法，首先采用光刻显影制作腐蚀掩膜、坚膜，然后用稀盐酸去除器件材料表面的氧化膜，再将器件材料用相应的夹具固定放入盛有稀释的硫酸腐蚀液的器皿中，并采用磁力搅拌器进行湿法腐蚀，当腐蚀结束后，迅速将器件材料从腐蚀液中取出，用过量的去离子水冲洗，然后用高纯氮气吹干，再将器件材料放入丙酮溶液中去除表面的光刻胶掩膜后，进行台阶仪测试以确定腐蚀深度，如此可使腐蚀方便快捷，且由于腐蚀速率低，可更容易控制腐蚀深度，特别是在腐蚀深度深，腐蚀时间长的情况下，其优势显得格外突出。
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公开(公告)号：CN118983690A
公开(公告)日：2024-11-19
申请号：CN202410958699.6
申请日：2024-07-17
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01S5/40 , H01S5/042 , H01S5/062 , H01S5/0625
Abstract: 本发明涉及一种太赫兹量子级联激光器双光梳控制系统，包括第一太赫兹量子级联激光器、第二太赫兹量子级联激光器、第一T型偏置器和第二T型偏置器；所述第一太赫兹量子级联激光器以光频梳模式工作，所述第二太赫兹量子级联激光器工作在阈值电流以上，所述第一太赫兹量子级联激光器和所述第二太赫兹量子级联激光器相互发射太赫兹光，所述第一太赫兹量子级联激光器还作为探测器检测混频信号；所述混频信号的状态通过改变射频源产生的射频信号的功率进行切换。本发明能够在高驱动电流下控制混频信号在混沌状态、不稳定状态和双光梳状态之间进行切换，极大地提升基于量子级联激光器的双光梳系统的谱宽和应用场景。
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公开(公告)号：CN115032844B
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN202210309420.2
申请日：2022-03-28
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G02F1/35
Abstract: 本发明涉及一种太赫兹双光梳光谱稳定系统，包括：光学回路，用于将第一光频梳信号和第二光频梳信号进行耦合；混频器，用于将耦合后的第一光频梳信号和第二光频梳信号进行混频，产生双光梳信号；所述混频器的本振信号端连接有多级倍频链路，所述多级倍频链路用于对射频信号进行倍频处理，再通过所述混频器倍频产生太赫兹波段的本征信号，所述太赫兹波段的本征信号分别与所述第一光频梳信号和第二光频梳信号在所述混频器中混频，在微波波段产生两个下变频光频梳信号；分别锁定两个下变频光频梳信号的梳齿以锁定载波偏移频率，从而得到稳定的双光梳光谱。本发明能够在不引入飞秒激光器的情况下对载波偏移频率进行锁定。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114414522B
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202111612383.4
申请日：2021-12-27
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N21/3581
Abstract: 本发明涉及一种采用太赫兹光学自探测表征光频梳相干光谱的装置和方法，装置包括太赫兹量子级联激光器、IQ解调器、干涉仪、锁相放大器、拍频信号提取器、第一T型偏置器和第二T型偏置器。其中，所述待测太赫兹量子级联光频梳的出射光经过所述干涉仪发生干涉，耦合至所述太赫兹量子级联激光器谐振腔内，所述太赫兹量子级联激光器作为探测器测得光频梳模式间拍频的干涉信号。本发明不同于传统傅里叶变换光谱法测得的强度干涉谱，本发明测得是模式间拍频信号的干涉谱，对其进行傅里叶变换可得到光频梳的相干光谱，从而能够表征太赫兹量子级联光频梳梳齿之间的频率与相位信息。
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公开(公告)号：CN115266040A
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202210953628.8
申请日：2022-08-10
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明涉及一种量子级联激光器调制带宽测试系统和方法，其中，测试系统包括探测用量子级联激光器、第一T型偏置器、第二T型偏置器、射频源和频谱分析仪；所述待测量子级联激光器与所述探测用量子级联激光器实现光耦合，使得所述待测量子级联激光器的本征频率与所述探测用量子级联激光器的光频梳频率线混频产生拍频信号；所述射频源用于产生调制信号，并以预设频率为间距调整调制频率，使得所述待测量子级联激光器产生调制边带；所述频谱分析仪用于记录所述调制边带与所述光频梳频率线的拍频信号。本发明能够对量子级联激光器调制带宽准确表征。
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公开(公告)号：CN114414522A
公开(公告)日：2022-04-29
申请号：CN202111612383.4
申请日：2021-12-27
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N21/3581
Abstract: 本发明涉及一种采用太赫兹光学自探测表征光频梳相干光谱的装置和方法，装置包括太赫兹量子级联激光器、IQ解调器、干涉仪、锁相放大器、拍频信号提取器、第一T型偏置器和第二T型偏置器。其中，所述待测太赫兹量子级联光频梳的出射光经过所述干涉仪发生干涉，耦合至所述太赫兹量子级联激光器谐振腔内，所述太赫兹量子级联激光器作为探测器测得光频梳模式间拍频的干涉信号。本发明不同于传统傅里叶变换光谱法测得的强度干涉谱，本发明测得是模式间拍频信号的干涉谱，对其进行傅里叶变换可得到光频梳的相干光谱，从而能够表征太赫兹量子级联光频梳梳齿之间的频率与相位信息。
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公开(公告)号：CN112730315A
公开(公告)日：2021-04-30
申请号：CN202011560857.0
申请日：2020-12-25
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N21/3581 , G01N21/01 , G01Q60/18 , G01Q60/06 , G01Q60/38
Abstract: 本发明涉及一种高分辨率太赫兹近场光谱测试系统，其中，第一量子级联激光器发出的太赫兹波经过所述准直聚焦系统中的第一光路后照射到所述原子力显微镜的探针尖端与样品的交界处；原子力显微镜的探针以固定振动频率与所述样品接触，第二量子级联激光器通过所述准直聚焦系统中的第二光路收集原子力显微镜的探针尖端处产生的散射近场信号；散射近场信号与第二量子级联激光器发出的太赫兹波在谐振腔中相互作用，产生下变频的双光梳多外差光谱；频谱分析仪用于观测所述双光梳多外差光谱。本发明突破传统光学衍射极限，将空间分辨率提高到纳米量级，从而使单分子在THz辐射下的电磁、光谱观测成为可能。
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公开(公告)号：CN112670824A
公开(公告)日：2021-04-16
申请号：CN202011560799.1
申请日：2020-12-25
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种太赫兹量子级联激光器双光梳稳频系统，包括第一太赫兹量子级联激光器光频梳源、第二太赫兹量子级联激光器光频梳源、提取模块和锁相环，所述第一太赫兹量子级联激光器光频梳源发出的梳齿信号耦合进入所述第二太赫兹量子级联激光器光频梳源，并与所述第二太赫兹量子级联激光器光频梳源的梳齿信号相互作用产生双光梳信号；所述提取模块用于提取所述双光梳信号中的一根梳齿作为待锁相梳齿；所述锁相环用于对所述待锁相梳齿进行相位锁定。本发明实现高频率稳定性的THz QCL双光梳多外差光谱探测。
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