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公开(公告)号：CN116136614B
公开(公告)日：2025-05-09
申请号：CN202111356091.9
申请日：2021-11-16
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种基于二维封闭式光子晶体结构的二阶以上窄带通滤波器，包括：第一金属板、金属柱阵列及第二金属板，金属柱阵列包括周围金属柱及缺陷金属柱；周围金属柱呈行和列等间距排布；缺陷金属柱呈列排布；缺陷金属柱两侧均与周围金属柱相邻；缺陷金属柱与相邻的周围金属柱之间的间距与两相邻周围金属柱之间的间距相等；缺陷金属柱包括第一缺陷金属柱至第N缺陷金属柱，N≥2，且以第一缺陷金属柱至第N缺陷金属柱为缺陷金属柱周期依次呈列排布，相邻两个所述缺陷金属柱周期之间具有间隔，间隔为相邻两缺陷金属柱之间间距的两倍。可解决二阶以上带通滤波器频带宽，频带工作效率相差大且频带内振荡明显的问题。
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公开(公告)号：CN111952837B
公开(公告)日：2024-12-31
申请号：CN202010800920.7
申请日：2020-08-11
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01S5/02255 , H01S5/02355 , H01S5/34
Abstract: 本发明涉及一种太赫兹量子级联激光器的耦合输出结构，包括太赫兹量子级联激光器、第一离轴抛物面反射镜、第二离轴抛物面反射镜，所述第一离轴抛物面反射镜的焦点位于所述太赫兹量子级联激光器的前端面内，用以收集和准直所述太赫兹量子级联激光器发出的激光，并形成第一准平行光束；所述第二离轴抛物面反射镜位于所述太赫兹量子级联激光器的后端面内，用以收集和准直所述太赫兹量子级联激光器发出的激光，并形成第二准平行光束。本发明还涉及一种太赫兹量子级联激光器的耦合输出结构的封装方法。本发明能够实现双端面的激光高效耦合输出。
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公开(公告)号：CN114039268B
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN202111208078.9
申请日：2021-10-18
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种太赫兹量子级联激光器双光梳完全锁相系统，包括第一太赫兹量子级联激光器光频梳、第二太赫兹量子级联激光器光频梳、环形器、滤波装置和锁相装置，所述第一太赫兹量子级联激光器光频梳与第一射频注入装置相连，所述第一射频注入装置用于锁定所述第一太赫兹量子级联激光器光频梳的重复频率，所述第二太赫兹量子级联激光器光频梳与第二射频注入装置相连，所述第二射频注入装置用于锁定所述第二太赫兹量子级联激光器光频梳的重复频率并提取所述双光梳信号；所述双光梳信号依次经过所述环形器、滤波装置和锁相装置，所述锁相装置用于对提取出的梳齿进行锁定。本发明能够大幅提高太赫兹量子级联激光器双光梳的稳定性。
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公开(公告)号：CN114361940B
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN202111536964.4
申请日：2021-12-13
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种超表面结构调控太赫兹量子级联激光器色散的方法，在所述太赫兹量子级联激光器的谐振腔的一端形成超表面，所述超表面作为所述太赫兹量子级联激光器的谐振腔体的有效端面；所述超表面为多个亚波长单元在二维平面上排列而成；通过对所述亚波长单元的结构参数进行调整实现所述超表面在亚波长尺度下对电磁波参数进行自由调制，从而实现调节所述太赫兹量子级联激光器的腔内损耗，进而实现对色散曲线的修正。
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公开(公告)号：CN118189831A
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202410182609.9
申请日：2024-02-19
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01B11/06
Abstract: 本发明涉及一种厚度测量装置及方法。所述装置包括：光源，用来发射太赫兹光束；测量模块，用来将所述太赫兹光束转化为参考光束和探测光束，进而引导所述探测光束穿过可转动的被测样品后与所述参考光束合束形成干涉光束；计算模块，用来对所述被测样品转动过程中所述干涉光束的强度分布变化进行分析，获得所述探测光束相对所述参考光束的相位变化值，并记录所述相位变化值对应的所述被测样品的旋转角度，进而根据所述相位变化值和所述旋转角度利用相位角度公式计算得到所述被测样品的厚度。本发明能够精确测量太赫兹光可穿透样品的厚度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107807454B
公开(公告)日：2024-04-23
申请号：CN201711262291.1
申请日：2017-12-04
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种太赫兹准高斯平行激光束的实现装置，包括太赫兹量子级联激光器与驱动电源连接并发出太赫兹发散激光；可移动地安装在低温样品架上的调节系统；安装于调节系统上的离轴抛物面反射镜，其收集太赫兹发散激光并输出太赫兹准平行激光束；设置于低温杜瓦外部的可移动的可变孔径光阑，其对太赫兹准平行激光束进行光束优选以形成太赫兹准高斯平行激光束；以及设置于低温杜瓦外部的可移动的太赫兹阵列探测器，其对太赫兹准平行激光束的二维能量分布进行表征并校准太赫兹准平行激光束的准直性。本发明还涉及一种太赫兹准高斯平行激光束的实现方法。本发明的实现装置和实现方法能够获得稳定可靠、光束质量优异的太赫兹准高斯平行激光束。
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公开(公告)号：CN117091697A
公开(公告)日：2023-11-21
申请号：CN202210516398.9
申请日：2022-05-12
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01J1/44
Abstract: 本发明提供一种用于量子阱探测器的宽带微腔阵列耦合结构及其制备方法，在该耦合结构中，多个微腔单元呈阵列状排布，且多个微腔单元的大小逐渐变化，每个微腔单元支持不同频段的电磁波，从而能够有效拓宽耦合频段，提高量子阱对光的吸收效率，降低器件的暗电流，提升器件的工作温度。另外，本发明采用标准的GaAs材料体系工艺，简单易操作，不会给器件制备增加额外的工艺难度。
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公开(公告)号：CN116247510A
公开(公告)日：2023-06-09
申请号：CN202310087025.9
申请日：2023-02-09
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01S5/0687 , H01S5/04
Abstract: 本发明涉及一种自注入太赫兹光频梳系统，其中，太赫兹量子级联激光器作为光频梳源，通过自拍频产生的拍频信号并传输到第一T型偏置器中；第一T型偏置器用于将拍频信号传输至分波器；分波器用于将拍频信号分成两路，一路传输到环形器中参与自注入，另一路连接到频谱分析仪中进行实时检测；环形器用于保持参与自注入的拍频信号在回路中的单向传输；移相器用于对参与自注入的拍频信号进行相位匹配；第二T型偏置器用于将相位匹配后的拍频信号注入到太赫兹量子级联激光器；频谱分析仪用于实时检测得到的自注入拍频信号。本发明能够提高系统的稳定性，满足作为高频光电振荡器的要求。
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公开(公告)号：CN114660017A
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN202210251220.6
申请日：2022-03-15
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N21/3581 , G01N21/01 , G01N25/02 , G02B27/09 , G02B27/30
Abstract: 本发明涉及一种材料相变过程的成像装置和方法，其中，成像装置包括：量子级联激光器，用于在低温环境下发出成像光；耦合输出结构，用于收集所述成像光并进行准直；扩束装置，用于将准直后的所述成像光扩束成共焦的多束激光；透镜，用于将所述共焦的多束激光转变为平行光并照射到样品板上的测试样品；镜头，用于接收穿过所述测试样品的平行光，并成像于热探测阵列的敏感面上；计算机，用于获取所述热探测阵列上产生的电信号。本发明能够有效避免被测样品因加热带来的热辐射干扰。
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公开(公告)号：CN112730315B
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN202011560857.0
申请日：2020-12-25
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N21/3581 , G01N21/01 , G01Q60/18 , G01Q60/06 , G01Q60/38
Abstract: 本发明涉及一种高分辨率太赫兹近场光谱测试系统，其中，第一量子级联激光器发出的太赫兹波经过所述准直聚焦系统中的第一光路后照射到所述原子力显微镜的探针尖端与样品的交界处；原子力显微镜的探针以固定振动频率与所述样品接触，第二量子级联激光器通过所述准直聚焦系统中的第二光路收集原子力显微镜的探针尖端处产生的散射近场信号；散射近场信号与第二量子级联激光器发出的太赫兹波在谐振腔中相互作用，产生下变频的双光梳多外差光谱；频谱分析仪用于观测所述双光梳多外差光谱。本发明突破传统光学衍射极限，将空间分辨率提高到纳米量级，从而使单分子在THz辐射下的电磁、光谱观测成为可能。
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