微摆动元件及其制造方法
    31.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1821830A

    公开(公告)日:2006-08-23

    申请号:CN200610009215.5

    申请日:2006-02-14

    Abstract: 一种微摆动元件包括框体、可移动功能部分以及用于连接框体与可移动功能部分的扭转连接部分。微摆动元件还包括第一和第二梳齿电极,用于产生使可移动功能部分绕扭转连接部分摆动运动的驱动力。第一梳齿电极包括多个第一电极齿,每个第一电极齿具有在摆动运动方向上叠置的第一导体、绝缘体和第二导体的叠层结构,其中第一导体和第二导体相互电连接。第二梳齿电极包括多个第二电极齿,在非工作状态下,第二电极齿不面向第一电极齿的第二导体,但是面向第一导体。第二电极齿在摆动运动的方向上长于第一导体。

    微可动元件阵列及通信设备

    公开(公告)号:CN102369153B

    公开(公告)日:2014-12-31

    申请号:CN200980158424.8

    申请日:2009-03-31

    CPC classification number: G02B26/0841

    Abstract: 一种微可动元件阵列(X1),包括框(30)、包含具有第一可动主部(11、11’)并被支撑于框(30)的多个第一可动部(10、20)的第一可动部列、框(30)、以及包含具有第二可动主部(11、11’)并被支撑于框(30)的多个第二可动部(10、20)的第二可动部列。两个框(30)以第一可动部列及第二可动部列被相对配置的方式被层叠配置。在第一可动部列中,多个第一可动部(10、20)被配置为第一可动主部(11、11’)及空隙G2被交替配置并且多个第一可动主部(11、11’)被排列在一个方向上,在第二可动部列中,多个第二可动部(10、20)被配置为各第二可动主部(11、11’)与第一可动部列的各空隙G2相对并且多个第二可动主部(11、11’)被排列在一个方向上。

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