公开(公告)号：CN206332060U

公开(公告)日：2017-07-14

申请号：CN201621383412.9

申请日：2016-12-16

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 栗田真一 ,  稻川真 ,  苏哈斯·博斯克

IPC: H01L51/56 ,  H01L21/67

CPC classification number: C23C16/52 ,  C23C14/042 ,  C23C14/568 ,  C23C16/0209 ,  C23C16/042 ,  C23C16/54

Abstract: 本文所述实施方式涉及热学腔室。所述热学腔室可为配置用于制造OLED装置的较大处理系统的部分。所述热学腔室可配置成加热和冷却用于所述处理系统中的沉积工艺的掩模和/或基板。所述热学腔室可包括腔室主体，所述腔室主体限定大小适于接收容纳多个掩模和/或基板的一或多个晶盒的空间。在所述空间内耦接到所述腔室主体的加热器可配置成以可控制的方式在沉积工艺前加热掩模和/或基板和在沉积工艺后冷却掩模和/或基板。

公开(公告)号：CN204668281U

公开(公告)日：2015-09-23

申请号：CN201290001237.6

申请日：2012-04-10

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 栗田真一 ,  稻川真 ,  J·A·霍 ,  R·L·蒂纳 ,  S·安瓦尔

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L21/67196

Abstract: 提供了一种串行群集工具系统。所述系统包括：第一群集工具，具有第一多个处理腔室和至少一个第一周边腔室；第二群集工具，具有第二多个处理腔室和至少一个第二周边腔室；以及腔室间适配器元件，所述适配器元件将所述至少一个第一周边腔室联结到所述至少一个第二周边腔室，所述腔室间适配器元件包括联结在所述第一腔室和所述第二腔室的密封面之间的耐真空柔性段。

公开(公告)号：CN302134893S

公开(公告)日：2012-10-17

申请号：CN201230070899.6

申请日：2012-03-22

Applicant: 应用材料公司

Designer： 稻川真 ,  S.库里塔

Abstract: 1．本外观设计产品的名称：加热器板。2．本外观设计产品的用途：用于加热器。3．本外观设计的设计要点：在于加热器板的形状和图案。4．最能表明设计要点的图片或者照片：设计1使用状态立体图。5．设计1为基本设计。6．省略设计1的其他视图。省略设计1组件1后视图。设计1组件1左视图与设计1组件1右视图相同，省略设计1组件1左视图。设计1组件2后视图与设计1组件2主视图相同，省略设计1组件2后视图。设计1组件2左视图与设计1组件2右视图相同，省略设计1组件2左视图。省略设计2组件1后视图。设计2组件1左视图与设计2组件1右视图相同，省略设计2组件1左视图。设计2组件2后视图与设计2组件2主视图相同，省略设计2组件2后视图。设计2组件2左视图与设计2组件2右视图相同，省略设计2组件2左视图。