具有通孔互连的装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN101373747B

    公开(公告)日:2011-06-29

    申请号:CN200810161861.2

    申请日:2005-03-14

    CPC classification number: H01L2224/10

    Abstract: 一种具有改进的电连接的装置,包括第一基板,其包括第一侧和第二侧;功能元件,其在第一基板的第一侧;垫,其电连接到功能元件;以及通孔互连,其被提供在从第一侧延伸通过第一基板到第二侧的孔中,所述通孔互连包括:第一导电材料,其被电连接到垫;以及导电区,其被沿着第一导电材料与第一基板之间的孔的内表面提供,并且包括由第二导电材料制成的第一层和由不同于第二导电材料的第三导电材料制成的第二层,其中,第二导电材料和第三导电材料不同于第一导电材料,第二层提供在孔的内表面上,并且第一层相邻于第一导电材料被提供而在第一导电材料和第一层之间没有任何插入层,以便覆盖第二层和限定孔的底部的垫。

    压力传感器封装体和电子器件

    公开(公告)号:CN101375146B

    公开(公告)日:2010-08-11

    申请号:CN200780003176.0

    申请日:2007-01-19

    Abstract: 本发明的压力传感器封装体(10)具有:压力传感器(11),在半导体衬底(12)的一面,在其中央区域(α)的内部具有空间(13),把位于该空间的上部的薄板化了的区域作为隔膜部(14),在该隔膜部配置有压敏元件(15),在所述一面,至少具有第一导电部(17),该第一导电部配置在除了所述隔膜部以外的外缘区域(β),并且与所述各压敏元件电连接;以及第一凸起(18),单独配置于所述第一导电部之上,并且与所述第一导电部电连接。所述外缘区域的半导体衬底的厚度D1、所述隔膜部的厚度D2、所述空间的高度D3、在所述中央区域除了所述D2和所述D3以外的半导体衬底的剩余部分的厚度D4,满足(D2+D3)<<D4,并且D1≈D4。

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