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公开(公告)号：CN113049100B
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN202110473132.6
申请日：2016-04-19
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的光检测装置(1A)包括：法布里‑珀罗干涉滤光器(10)；光检测器(3)；间隔件(4)，其具有供载置干涉滤光器(10)的底面中的光透过区域(11)外侧的部分的载置面；及粘合构件(5)，其对干涉滤光器(10)与间隔件(4)进行粘合。粘合构件(5)的弹性模量小于间隔件(4)的弹性模量。干涉滤光器(10)的侧面的至少一部分以间隔件(4)载置面的一部分配置于该侧面的外侧的方式，位于该载置面上。粘合构件(5)配置于由干涉滤光器(10)的侧面及间隔件(4)的载置面的一部分形成的角落部，且分别与该侧面及该载置面的一部分接触。
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公开(公告)号：CN113242992B
公开(公告)日：2023-03-10
申请号：CN201980083819.X
申请日：2019-09-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 控制装置控制法布里‑帕罗干涉滤光器，该法布里‑帕罗干涉滤光器具有：一对镜部，其经由空隙互相相对；及一对驱动电极，其经由该空隙互相相对，且一对镜部间的距离根据蓄积于一对驱动电极间的电荷而变化。控制装置具备：第1驱动源，其使用电流作为控制参数而被控制，使一对镜部间的距离变化；第2驱动源，其使用电压作为控制参数而被控制，使一对镜部间的距离变化；及控制部，其在蓄积于一对驱动电极间的电荷与一对驱动电极间的电压的关系中，以在将包含电压的最大值的区域设为第1区域时，在第1区域中通过第1驱动源使一对镜部间的距离变化，在第1区域以外区域的至少一部分中，通过第2驱动源使一对镜部间的距离变化的方式，控制第1驱动源及第2驱动源。
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公开(公告)号：CN110741304B
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN201880039038.6
申请日：2018-06-12
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的目的在于提供可靠性高的光学滤光器系统。本发明的光学滤光器系统具备法布里‑珀罗干涉滤光器(1)、及控制法布里‑珀罗干涉滤光器的控制器(51)。法布里‑珀罗干涉滤光器(1)具备第1镜部(31)、第2镜部(32)、设置于第1镜部(31)的第1驱动电极(12)及第1监视电极(13)、以及设置于第2镜部(32)的第2驱动电极(14)及第2监视电极(15)。控制器(51)具备控制部(55)，该控制部基于在将交流电流施加至第1监视电极(13)与第2监视电极(15)之间时产生于第1监视电极(13)与第2监视电极(15)之间的交流电压算出第1镜部(31)与第2镜部(32)之间的静电电容。
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公开(公告)号：CN111480105B
公开(公告)日：2022-05-31
申请号：CN201880075390.5
申请日：2018-11-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G02B26/00
Abstract: 本发明的晶圆具备：基板层；第1镜层，其具有二维配置的多个第1镜部；及第2镜层，其具有二维配置的多个第2镜部。在晶圆中，通过在第1镜部与第2镜部之间形成空隙，而构成有多个法布里‑帕罗干涉滤光器部。一实施方式的晶圆检查方法包含下述步骤：进行多个法布里‑帕罗干涉滤光器部的各个的是否为良品的判定；对判定为不良的法布里‑帕罗干涉滤光器部的第2镜层中自相对方向观察时与空隙重叠的部分的至少一部分涂布墨水。
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公开(公告)号：CN108780007B
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN201780015575.2
申请日：2017-03-03
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 光检测装置具备：法布里‑珀罗干涉滤光器，在规定的线上设置有光透过区域；光检测器，在线上相对于法布里‑珀罗干涉滤光器配置于一侧；封装体，具有在线上相对于法布里‑珀罗干涉滤光器位于另一侧的开口；光透过构件，以将开口封闭的方式设置于封装体；及温度调节元件，与法布里‑珀罗干涉滤光器及光检测器热性连接，且具有吸热区域。吸热区域在线上相对于光检测器位于一侧。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113049100A
公开(公告)日：2021-06-29
申请号：CN202110473132.6
申请日：2016-04-19
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的光检测装置(1A)包括：法布里‑珀罗干涉滤光器(10)；光检测器(3)；间隔件(4)，其具有供载置干涉滤光器(10)的底面中的光透过区域(11)外侧的部分的载置面；及粘合构件(5)，其对干涉滤光器(10)与间隔件(4)进行粘合。粘合构件(5)的弹性模量小于间隔件(4)的弹性模量。干涉滤光器(10)的侧面的至少一部分以间隔件(4)载置面的一部分配置于该侧面的外侧的方式，位于该载置面上。粘合构件(5)配置于由干涉滤光器(10)的侧面及间隔件(4)的载置面的一部分形成的角落部，且分别与该侧面及该载置面的一部分接触。
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公开(公告)号：CN112789541A
公开(公告)日：2021-05-11
申请号：CN201980065091.8
申请日：2019-09-24
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的法布里‑珀罗干涉滤光器具备：基板，其具有第1表面；第1层叠体，其具有配置于第1表面的第1镜部；第2层叠体，其具有相对于第1镜部在与基板的相反侧经由空隙而与第1镜部相对的第2镜部；中间层，其具有在第1层叠体与第2层叠体之间划定空隙的划定部；第1电极，其形成于构成第1层叠体的第1层；及第2电极，其形成于构成第2层叠体的第2层，并与第1电极相对。中间层进而具有：被覆部，其被覆构成第1层叠体的层中包含第1层的多层的外缘；及延伸部，其沿着平行于第1表面的方向自被覆部向外侧延伸。第2层叠体以通过被覆部被覆形成于划定部与延伸部之间的阶差面、及延伸部的外端面的方式延伸。
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公开(公告)号：CN111406228A
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN201880075447.1
申请日：2018-11-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的电气检查方法具备如下步骤：准备晶圆(100)，该晶圆构成有互相相对的第1镜部与第2镜部之间的距离通过静电力而变化的多个法布里-帕罗干涉滤光器部；及检查多个法布里-帕罗干涉滤光器部的各个的电气特性。
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公开(公告)号：CN111357091A
公开(公告)日：2020-06-30
申请号：CN201880073809.3
申请日：2018-11-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 吸附方法是使用吸附夹头吸附法布里-帕罗干涉滤波器的吸附方法，该法布里-帕罗干涉滤波器具备基板、设置于上述基板上且包含面向与上述基板相反侧的主面的层叠结构部、及自与上述主面交叉的方向观察位于上述层叠结构部的外侧且较上述主面更朝上述基板侧凹陷的薄化部，该吸附方法具备：第1工序，其以与上述主面相对的方式配置上述吸附夹头；第2工序，其在上述第1工序之后，使上述吸附夹头接触于上述法布里-帕罗干涉滤波器；及第3工序，其在上述第2工序之后，通过上述吸附夹头吸附上述法布里-帕罗干涉滤波器。
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公开(公告)号：CN110741304A
公开(公告)日：2020-01-31
申请号：CN201880039038.6
申请日：2018-06-12
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的目的在于提供可靠性高的光学滤光器系统。本发明的光学滤光器系统具备法布里-珀罗干涉滤光器(1)、及控制法布里-珀罗干涉滤光器的控制器(51)。法布里-珀罗干涉滤光器(1)具备第1镜部(31)、第2镜部(32)、设置于第1镜部(31)的第1驱动电极(12)及第1监视电极(13)、以及设置于第2镜部(32)的第2驱动电极(14)及第2监视电极(15)。控制器(51)具备控制部(55)，该控制部基于在将交流电流施加至第1监视电极(13)与第2监视电极(15)之间时产生于第1监视电极(13)与第2监视电极(15)之间的交流电压算出第1镜部(31)与第2镜部(32)之间的静电电容。
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