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公开(公告)号：CN113242992A
公开(公告)日：2021-08-10
申请号：CN201980083819.X
申请日：2019-09-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 控制装置控制法布里‑帕罗干涉滤光器，该法布里‑帕罗干涉滤光器具有：一对镜部，其经由空隙互相相对；及一对驱动电极，其经由该空隙互相相对，且一对镜部间的距离根据蓄积于一对驱动电极间的电荷而变化。控制装置具备：第1驱动源，其使用电流作为控制参数而被控制，使一对镜部间的距离变化；第2驱动源，其使用电压作为控制参数而被控制，使一对镜部间的距离变化；及控制部，其在蓄积于一对驱动电极间的电荷与一对驱动电极间的电压的关系中，以在将包含电压的最大值的区域设为第1区域时，在第1区域中通过第1驱动源使一对镜部间的距离变化，在第1区域以外区域的至少一部分中，通过第2驱动源使一对镜部间的距离变化的方式，控制第1驱动源及第2驱动源。
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公开(公告)号：CN115867788A
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN202080102495.2
申请日：2020-07-01
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01N21/45 , G01B9/02091
Abstract: 本公开提供了一种光干涉断层摄影成像系统，包括：光源；透镜，用于将光源发出的光转换为平面波；分束器，用于将平面波分成第一部分和第二部分；成像透镜，用于使平面波的第一部分聚焦到对象，并且使来自焦平面的对象光成像到图像传感器的平面；以及参照光系统，用于调制光束路径，并且使平面波的第二部分作为参照波传播到图像传感器的平面。通过图像传感器检测到参照波和对象光的干涉光。光干涉断层摄影成像系统的光轴相对于对象的面法线成角度倾斜。
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公开(公告)号：CN113242992B
公开(公告)日：2023-03-10
申请号：CN201980083819.X
申请日：2019-09-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 控制装置控制法布里‑帕罗干涉滤光器，该法布里‑帕罗干涉滤光器具有：一对镜部，其经由空隙互相相对；及一对驱动电极，其经由该空隙互相相对，且一对镜部间的距离根据蓄积于一对驱动电极间的电荷而变化。控制装置具备：第1驱动源，其使用电流作为控制参数而被控制，使一对镜部间的距离变化；第2驱动源，其使用电压作为控制参数而被控制，使一对镜部间的距离变化；及控制部，其在蓄积于一对驱动电极间的电荷与一对驱动电极间的电压的关系中，以在将包含电压的最大值的区域设为第1区域时，在第1区域中通过第1驱动源使一对镜部间的距离变化，在第1区域以外区域的至少一部分中，通过第2驱动源使一对镜部间的距离变化的方式，控制第1驱动源及第2驱动源。
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公开(公告)号：CN110741304B
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN201880039038.6
申请日：2018-06-12
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的目的在于提供可靠性高的光学滤光器系统。本发明的光学滤光器系统具备法布里‑珀罗干涉滤光器(1)、及控制法布里‑珀罗干涉滤光器的控制器(51)。法布里‑珀罗干涉滤光器(1)具备第1镜部(31)、第2镜部(32)、设置于第1镜部(31)的第1驱动电极(12)及第1监视电极(13)、以及设置于第2镜部(32)的第2驱动电极(14)及第2监视电极(15)。控制器(51)具备控制部(55)，该控制部基于在将交流电流施加至第1监视电极(13)与第2监视电极(15)之间时产生于第1监视电极(13)与第2监视电极(15)之间的交流电压算出第1镜部(31)与第2镜部(32)之间的静电电容。
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公开(公告)号：CN110741304A
公开(公告)日：2020-01-31
申请号：CN201880039038.6
申请日：2018-06-12
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的目的在于提供可靠性高的光学滤光器系统。本发明的光学滤光器系统具备法布里-珀罗干涉滤光器(1)、及控制法布里-珀罗干涉滤光器的控制器(51)。法布里-珀罗干涉滤光器(1)具备第1镜部(31)、第2镜部(32)、设置于第1镜部(31)的第1驱动电极(12)及第1监视电极(13)、以及设置于第2镜部(32)的第2驱动电极(14)及第2监视电极(15)。控制器(51)具备控制部(55)，该控制部基于在将交流电流施加至第1监视电极(13)与第2监视电极(15)之间时产生于第1监视电极(13)与第2监视电极(15)之间的交流电压算出第1镜部(31)与第2镜部(32)之间的静电电容。
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