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公开(公告)号：CN104516041A
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201410505597.5
申请日：2014-09-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 佐野朗
CPC classification number: G02B26/001 , G02B5/0816 , G02B5/286 , G02B5/28 , G02B26/007
Abstract: 本发明提供了干涉滤波器、光学滤波器装置、光模块以及电子设备。波长可变干涉滤波器(5)具备：固定反射膜(54)，由多个层构成，且该多个层的最外面的层为固定导电层(542)；以及可动反射层(55)，固定反射膜(54)具有：第一区域(54A)，与可动反射膜(55)相对；以及第二区域(54B)，从第一区域(54A)的外周缘连续至该第一区域(54A)外，第二区域(54B)的固定导电层(542)的一部分为能配线连接的端子部。
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公开(公告)号：CN103913236A
公开(公告)日：2014-07-09
申请号：CN201310723530.4
申请日：2013-12-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 佐野朗
CPC classification number: G01J3/51 , G01J3/027 , G01J3/0272 , G01J3/26 , G01J3/506
Abstract: 本发明涉及分光测定装置、颜色管理系统以及配置文件制作方法。其中，分光测定装置具备波长可变干涉滤波器（5）、拍摄由波长可变干涉滤波器（5）分光的光而取得分光图像的摄像部（摄像元件（32）以及光量取得部（63））、输出用于制作图像显示装置（8）的配置文件的配置文件制作用数据的数据输出部（存储部（61）以及通信部（69）），在利用摄像部对包含从图像显示装置（8）输出的多色色标的色彩图案取得多个分光图像的情况下，数据输出部将使各分光图像的各像素中的光量与该像素的坐标值相对应的测定数据作为配置文件制作用数据进行输出。
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公开(公告)号：CN102207615A
公开(公告)日：2011-10-05
申请号：CN201110057787.1
申请日：2011-03-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 佐野朗
CPC classification number: G02B5/26 , G01J3/26 , G02B1/10 , G02B6/29361 , G02B26/001
Abstract: 本发明涉及光滤波器以及使用其的分析设备和光设备。该光滤波器具有：第一基板、第二基板、被设于第一基板的第一对置面中的第一反射膜、被设于第二基板的第二对置面中的第二反射膜、在俯视时在第一反射膜的周围的位置设于第一基板中的第一电极、被设于第二基板中而与第一电极对置的第二电极，在第一对置面及第二对置面的至少一方中形成阶梯部，将第一反射膜与第二反射膜之间的初始间隙制成比第一电极与第二电极之间的初始间隙小，精度优良地控制反射膜间的间隙。
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公开(公告)号：CN102193184A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201110061726.2
申请日：2011-03-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 佐野朗
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , G02B6/29358
Abstract: 本发明涉及光滤波器及光滤波器模块以及分析设备及光设备。该光滤波器包括：第一基板；与所述第一基板对置的第二基板；第一反射膜，其被设置于所述第一基板；第二反射膜，其被设置于所述第二基板并与所述第一反射膜对置；第一电极，其被设置于所述第一基板，在俯视的情况下被形成于所述第一反射膜的周围；第二电极，其被设置于所述第一基板，在俯视的情况下被形成于所述第一电极的周围；第三电极，其被设置于所述第二基板，并与所述第一电极对置；及第四电极，其被设置于所述第二基板，并与所述第二电极对置。
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公开(公告)号：CN101249748B
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：CN200810005959.9
申请日：2008-02-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/14314 , B41J2/16 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1634 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , B41J2/1646
Abstract: 本发明提供了一种能够小型化、能够容易地实现高密度化、多喷嘴化的液滴喷出头及其制造方法，进而提供通过装载本发明的液滴喷出头、能够实现装置的小型化、能够应对高精细·高品位的液滴喷出与高速驱动的液滴喷出装置。该液滴喷出头为以下构造：与喷出液滴的多个喷嘴孔(5)的各个喷嘴孔分别连接的喷出室(6)、能够变位地对形成在喷出室底壁的振动板(8)进行驱动的执行器(14)、和与所述喷出室的各喷出室公用地连通的储存部(17)分别划分形成在不同的平面上，为了将与储存部的形成面(13)垂直的方向的投影面包含在所述喷出室以及所述执行器的形成面(11、12)内，将所述喷出室、所述执行器和所述储存部按照该顺序层叠配置。
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公开(公告)号：CN1824508A
公开(公告)日：2006-08-30
申请号：CN200610004142.0
申请日：2006-02-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/14314 , B41J2002/14411 , B41J2002/14491
Abstract: 本发明提供一种能够实现喷嘴等的多列化，且体积小、耐久性优良的液滴喷出头等。该液滴喷出头具有：形成有多个喷嘴孔(16)的喷嘴基板(5)；腔室基板(3)，其由底壁形成振动板(11)，并形成了成为喷出室(12)的凹部(12a)；电极基板(2)，其形成有与振动板(11)相对置的分立电极(7)；贮液槽基板(4)，其具有凹部(13a)、贯通孔(14)、和喷嘴连通孔(15)；和向分立电极(7)供给驱动信号的驱动IC(20)，在腔室基板(3)上设有第1孔部(21)，在贮液槽基板(4)上设有第2孔部(23)，通过连通第1孔部(21)和第2孔部(23)而形成收纳部(24)，驱动IC(20)被收纳在收纳部(24)内。
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公开(公告)号：CN1820947A
公开(公告)日：2006-08-23
申请号：CN200610004250.8
申请日：2006-02-13
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 一种静电激励器，具备：构成一方的电极的振动板(12)、和形成与振动板(12)隔着间隙(20)对置的对置电极(17)的电极基板(3)，对置电极(17)在形成于电极基板(3)上的平面形状为大致长方形的槽部(19)中形成，且静电激励器形成为随着向槽部(19)的长边方向的中央部，间隙(20)变大的多段的面。这样便提供一种以很低的驱动电压便可驱动的静电激励器以及其制造方法、应用该静电激励器的液滴喷头以及其制造方法、搭载该液滴喷头的液滴喷吐装置、搭载所述静电激励器的设备。
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公开(公告)号：CN116819758A
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202310296812.4
申请日：2023-03-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 佐野朗
Abstract: 本发明提供一种能够高精度地输出所期望的目标波长的光的波长可变干涉滤波器。该波长可变干涉滤波器具备：第一基板；第二基板，其隔着预定的间隔而与第一基板对置；第一反射膜，其被设置在第一基板上；第二反射膜，其被设置在第二基板上，并隔着第一间隔而与第一反射膜对置；连结部，其被配置在第一基板与第二基板之间；驱动部，其对第一间隔进行变更，连结部的与第一基板对置的第一对置面的一部分与第一基板连接，连结部的第一对置面中的未与第一基板连接的部分构成隔着第二间隔而与第一基板对置的位移部，位移部的与第二基板对置的第二对置面的一部分与第二基板连接，驱动部通过使位移部挠曲而使第二间隔变化，从而变更第一间隔。
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公开(公告)号：CN108508592B
公开(公告)日：2022-01-14
申请号：CN201810156107.3
申请日：2018-02-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 佐野朗
Abstract: 本发明涉及波长可变干涉滤波器及光学模块。波长可变干涉滤波器的特征在于，包括：第一基板，设置有第一反射膜；以及第二基板，具备可动部和保持部，与所述第一反射膜相对的第二反射膜设置于可动部，保持部包围所述可动部的外周，并将所述可动部保持为能够在所述第二反射膜的厚度方向上位移，所述可动部在俯视观察时具有长边及短边，所述保持部包括沿所述长边设置的长边侧保持部和沿所述短边设置的短边侧保持部，所述短边侧保持部的刚度低于所述长边侧保持部的刚度。
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