기판 검사장치의 높이정보 생성 방법
    31.
    发明授权
    기판 검사장치의 높이정보 생성 방법 有权
    产生检测装置高度信息的方法

    公开(公告)号:KR101215083B1

    公开(公告)日:2012-12-24

    申请号:KR1020110143531

    申请日:2011-12-27

    Abstract: PURPOSE: A method for generating the height information of a substrate inspecting device is provided to obtain an accurate height, high resolution, and a high inspection speed by combining lattice images or height information to generate the final height. CONSTITUTION: A first image and a second image of a sample for correction are obtained(S110). The first image is matched with the second image based on the overlay region of a first region and a second region(S120). A position relation between the first image and the second image is obtained(S130). Combined height information is generated by combining a first lattice image corresponding to the first region with a second lattice image corresponding to the second region(S140). [Reference numerals] (AA) Start; (BB) End; (S110) Obtaining a first image and a second image of a sample for correction; (S120) Matching first and second images; (S130) Obtaining a position relation between a first image and a second image; (S140) Generating combined height information

    Abstract translation: 目的:提供一种用于生成基板检查装置的高度信息的方法,通过组合格子图像或高度信息以产生最终高度来获得精确的高度,高分辨率和高检查速度。 构成:获得用于校正的样本的第一图像和第二图像(S110)。 基于第一区域和第二区域的覆盖区域,第一图像与第二图像匹配(S120)。 获得第一图像与第二图像之间的位置关系(S130)。 通过组合对应于第一区域的第一格子图像与对应于第二区域的第二格子图像来生成组合高度信息(S140)。 (附图标记)(AA)开始; (BB)结束; (S110)获取用于校正的样本的第一图像和第二图像; (S120)匹配第一和第二图像; (S130)获取第一图像和第二图像之间的位置关系; (S140)生成组合高度信息

    검사방법
    32.
    发明公开
    검사방법 有权
    检查方法

    公开(公告)号:KR1020120055322A

    公开(公告)日:2012-05-31

    申请号:KR1020100117000

    申请日:2010-11-23

    Abstract: PURPOSE: A method for inspecting a substrate is provided to perform a suitable verification per each steps because verification criteria in in-line and on-line are different. CONSTITUTION: A method for inspecting a substrate is as follows. A measuring area is set on a substrate(S110). Reference data and measurement data with respect to the measuring area are obtained(S120). A conversion condition including a characteristic object for a comparison with respect to the measuring area is set(S130). A conversion relation caused by a distortion amount between the reference data and measurement data is obtained(S140). The validity of the conversion relation is verified(S150). When deciding the conversion relation is valid, the conversion condition is confirmed(S160). An inspection area for inspecting the measurement object is set according to the confirmed conversion condition(S180).

    Abstract translation: 目的:提供一种用于检查基板的方法,以便在每个步骤中执行适当的验证,因为在线和在线的验证标准不同。 构成:用于检查基板的方法如下。 将测量区域设置在基板上(S110)。 获得关于测量区域的参考数据和测量数据(S120)。 设定包括用于比较测量区域的特征对象的转换条件(S130)。 获得由参考数据和测量数据之间的失真量引起的转换关系(S140)。 验证转换关系的有效性(S150)。 当确定转换关系有效时,确认转换条件(S160)。 根据确认的转换条件设定用于检查测量对象的检查区域(S180)。

    3차원 데이터 정합 장치 및 방법
    36.
    发明授权
    3차원 데이터 정합 장치 및 방법 有权
    3D数据匹配装置和方法

    公开(公告)号:KR101812001B1

    公开(公告)日:2017-12-27

    申请号:KR1020160102070

    申请日:2016-08-10

    Abstract: 3차원데이터를정합하는방법및 장치가개시된다. 3차원데이터정합방법은, 타겟의 3차원모델의표면을나타내는제 1 3차원데이터를 2차원변환하여제 1 2차원데이터를생성하는단계, 타겟의 3차원표면의적어도일부를나타내는제 2 3차원데이터를 2차원변환하여제 2 2차원데이터를생성하는단계, 제 1 2차원데이터에제 2 2차원데이터를매칭하여제 1 2차원데이터상의제 1 매칭영역, 및제 2 2차원데이터상의제 2 매칭영역을각각결정하는단계, 제 1 매칭영역에대응하는제 1 3차원데이터의복수의포인트, 및제 2 매칭영역에대응하는제 2 3차원데이터의복수의포인트를초기위치로서설정하는단계, 및초기위치를이용하여제 1 3차원데이터및 제 2 3차원데이터를정합하는단계를포함한다.

    Abstract translation: 公开了用于匹配三维数据的方法和设备。 三维数据匹配方法,并且所述第二3D变换的二维表示,它表示至少所述步骤中,目标用于产生第一二维数据的三维表面的一部分的对象的3D模型的表面上的第一三维数据 维数据;通过将所述数据变换成二维数据来生成第二二维数据;将所述第一二维数据与所述第二二维数据相匹配以在所述第一二维数据上生成第一匹配区域, 将第一匹配区域对应的第一三维数据和第二匹配区域对应的第二三维数据中的多个点设置为初始位置, 位置匹配第一个三维数据和第二个三维数据。

    트랙킹 시스템 및 이를 이용한 트랙킹 방법
    37.
    发明授权
    트랙킹 시스템 및 이를 이용한 트랙킹 방법 有权
    跟踪系统和追踪方法

    公开(公告)号:KR101645392B1

    公开(公告)日:2016-08-02

    申请号:KR1020140104889

    申请日:2014-08-13

    Abstract: 측정대상의위치및 자세를연속적으로추적할수 있는트랙킹시스템및 이를이용한트랙킹방법이개시된다. 이러한트랙킹시스템은마커, 카메라부, 제1 관성측정부, 제2 관성측정부및 트랙킹처리부를포함한다. 상기마커는측정대상에고정되고, 상기카메라부는상기마커를촬영하여마커영상을출력한다. 상기제1 관성측정부는상기카메라부에고정되고, 제1 가속도및 제1 각속도를포함하는제1 관성을측정하여출력한다. 상기제2 관성측정부는상기측정대상및 상기마커중 어느하나에고정되고, 제2 가속도및 제2 각속도를포함하는제2 관성을측정하여출력한다. 상기트랙킹처리부는상기마커영상을통해상기측정대상의위치및 자세를일차적으로추출하고, 및상기제1 및제2 관성들을통해상기측정대상의위치및 자세를이차적으로추출한다. 이로써, 상기카메라부에고정되어있는상기제1 관성측정부가더 구비됨에따라, 상기측정대상의위치및 자세를연속적으로추적할수 있다.

    이동 장치, 그 이동 제어 시스템 및 그 제어 방법
    38.
    发明公开
    이동 장치, 그 이동 제어 시스템 및 그 제어 방법 审中-实审
    控制系统和移动装置的控制方法和移动装置

    公开(公告)号:KR1020150076929A

    公开(公告)日:2015-07-07

    申请号:KR1020130165666

    申请日:2013-12-27

    Abstract: 이동장치가개시된다. 본이동장치는, 목표위치에대한정보가저장된저장부, 이동장치를운행시키기위한구동부, 이동장치가운행하는실내영역내의일 면을촬영하여촬영이미지를생성하는촬영부, 실내영역의일 면에분산배치된복수의발광장치중에서촬영이미지에포함된발광장치의특성에따라이동장치의현재위치를산출하고, 현재위치를기준으로목표위치까지이동장치를이동시키도록구동부를제어하는제어부를포함하며, 복수의발광장치각각은적어도하나의구형발광체를포함하며, 제어부는, 촬영이미지에포함된발광장치에포함된구형발광체의개수, 컬러, 구동주파수중 적어도하나를분석하여현재위치를산출한다.

    Abstract translation: 公开了一种移动装置。 移动装置包括:存储单元,存储关于目标位置的信息; 用于驱动移动装置的驱动单元; 图像拍摄单元,通过在其中操作所述移动装置的室内区域中捕获一个表面的图像来产生拍摄图像; 以及控制单元,根据分配并布置在室内区域的一个表面上的多个发光装置的拍摄图像中的发光装置的特征,计算移动装置的当前位置。 每个发光装置包括至少一个圆形发光体。 控制单元通过分析包括在捕获图像中的发光装置中的圆形发光体的数量,颜色和驱动频率中的至少一个来计算当前位置。

    옵티컬 트랙킹 시스템 및 이를 이용한 트랙킹 방법
    39.
    发明授权
    옵티컬 트랙킹 시스템 및 이를 이용한 트랙킹 방법 有权
    用于跟踪的光学跟踪系统和方法

    公开(公告)号:KR101406220B1

    公开(公告)日:2014-06-12

    申请号:KR1020130047984

    申请日:2013-04-30

    Abstract: Disclosed are an optical tracking system and a tracking method using the same, capable of detecting and tracking the accurate position and orientation of an object to be measured regardless of distance to the object. The optical tracking system and a tracking method using the same can broaden an available region by tracking the accurate position and orientation of an object to be measured regardless of distance to the object and can reduce the size of equipment by reducing the size of a marker unit when compared with the size of an existing marker.

    Abstract translation: 公开了一种光学跟踪系统和使用该跟踪方法的跟踪方法,其能够检测和跟踪待测物体的准确位置和取向,而与距离物体的距离无关。 光学跟踪系统和使用该光学跟踪系统的跟踪方法可以通过跟踪待测物体的准确位置和方向来扩大可用区域,而不管距离物体的距离如何,并且可以通过减小标记单元的尺寸来减小设备的尺寸 当与现有标记的大小相比时。

    스테레오 현미경 시스템
    40.
    发明公开
    스테레오 현미경 시스템 有权
    立体显微镜系统

    公开(公告)号:KR1020140016542A

    公开(公告)日:2014-02-10

    申请号:KR1020120083207

    申请日:2012-07-30

    CPC classification number: G02B21/22 G02B5/005 G02B21/025 G02B21/365

    Abstract: The present invention relates to a stereo microscope system making a feature of non-mechanical compensation for matching coordinates of a camera and which is not necessary to correct images by enabling the images obtained using one camera and one or more optical axis optical system to have the same coordinates between the first beam pass and the second beam pass. According to the present invention, the present invention may provide three-dimensional images in which the loss of a three-dimensional effect is minimized and enables a user to more conveniently watch the tree-dimensional images by minimizing the fatigues of the eyes in the watching of the three-dimensional images.

    Abstract translation: 本发明涉及一种立体显微镜系统,其具有非机械补偿的特征,用于匹配相机的坐标,并且不需要通过使用一个照相机和一个或多个光轴光学系统获得的图像来校正图像 第一光束通过和第二光束通过之间的相同坐标。 根据本发明,本发明可以提供三维效果的损失最小化的三维图像,并且能够使用户更方便地观看树状图像,其中最小化观看中的眼睛的疲劳 的三维图像。

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