公开(公告)号：KR101690890B1

公开(公告)日：2016-12-28

申请号：KR1020150171955

申请日：2015-12-04

Applicant: 단국대학교 산학협력단

Inventor： 정성환

IPC: C21D7/06 ,  B06B1/06 ,  B06B3/00 ,  B24B1/04

Abstract: 초음파측면피닝처리장치가제공된다. 구체적으로, 상기장치는초음파발생부와, 초음파전달매질을포함하는초음파방사부를접촉하여배치시켜, 상기초음파가상기초음파전달매질과상기초음파를반사하는초음파반사수단과의음향임피던스차이에의해반사되어정상파형태로상기초음파전달매질내부에서형성됨에따라상기초음파방사부내에배치된피처리물의표면에형성된압력안티노드에서압력변위를통한최대의케비테이션효과를통해피닝효과를극대화할수 있다.

公开(公告)号：KR1020160144583A

公开(公告)日：2016-12-19

申请号：KR1020150080883

申请日：2015-06-08

Applicant: 단국대학교 산학협력단

Inventor： 정성환

IPC: H01L21/02 ,  H01L29/06 ,  H01L21/203

Abstract: 본발명은탄소나노튜브의수직성장을위한탄소반응촉매를수직공극을갖는알루미늄산화막을포함하는기판의수직공극바닥면또는측면하부에증착하는방법에관한것으로서, 본발명의여러구현예에따라, 각도가조절된기판상에탄소반응촉매의 1차증착과정및 2차증착과정을수행하게되면, 상기탄소반응촉매가바닥면또는측면하부에선택적으로증착될수 있으므로, 종래탄소반응촉매증착방법들과는다르게, 탄소반응촉매의위치선택적증착이가능하고, 탄소반응촉매의증착두께는초기의증착, 즉 1차증착과정에서형성된탄소반응촉매의두께와연계하여유지할수 있기때문에두께조절도매우용이하여, 단일벽탄소나노튜브를수직성장시킬수 있으므로, 수직성장된단일벽탄소나노튜브의반도체성질을이용하는다양한전자시스템(예를들면전기스위치, 전자센서)등에유용하게이용될수 있다.