公开(公告)号：KR1020050068809A

公开(公告)日：2005-07-05

申请号：KR1020030100621

申请日：2003-12-30

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김수현 ,  김진태

IPC: G01N21/64

CPC classification number: G01N21/645 ,  G01N2021/6482

Abstract: 미세유체 칩의 소정 체적을 가지는 마이크로 챔버 내에서 일어나는 반응을 실시간으로 검출할 수 있는 초소형 형광 검출기가 개시된다. 개시된 형광 검출기는 소정의 체적을 갖는 마이크로 챔버를 구비하는 미세유체 칩 내에서 반응하는 PCR 증폭을 실시간으로 측정하기 위하여, 여기광을 발생하는 광원과, 여기광이 소정의 스폿 사이즈를 가지고 마이크로 챔버에 조사될 수 있도록 구성된 제 1 광학계와, 제 1 검출기 및 소정의 스폿 사이즈를 가지는 여기광에 의하여 마이크로 챔버 내에서 유도된 형광빔을 제 1 검출기로 반사시키는 제 2 광학계를 포함한다. 따라서, 광원에서 방출되는 광이 제 1 미러와 대물렌즈 사이에서 포커싱되도록 설계함으로써, 대물렌즈를 통과한 여기빔의 스폿 사이즈를 넓게 형성하여 미세유체 칩의 마이크로 챔버 전체에 여기광을 조사할 수 있어서 보다 넓은 면적에서 형광빔을 검출할 수 있는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1020040074445A

公开(公告)日：2004-08-25

申请号：KR1020030010201

申请日：2003-02-18

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이국희 ,  김수현 ,  김범준

IPC: H04L12/26 ,  H04L12/24 ,  H04B3/46

CPC classification number: H04L43/065 ,  H04B3/46 ,  H04L41/0677

Abstract: PURPOSE: A remote monitoring method of a very high speed communication terminal device is provided to apply an HTTP used to transceive user data as a management protocol, thereby overcoming restrictions on an existing SNMP and being easily usable in a general Internet network. CONSTITUTION: When a network connection is completed, a B-NT(Broadband-Network Termination) detects a position of a fault report server(S1). Subscriber information is transmitted to the fault report server from the B-NT(S2). The fault report server performs a subscriber level setup registration(S3). When an event is generated at a subscriber end, a terminal portion reports the generated event to the fault report server, to remotely monitor a fault(S4). The terminal portion periodically monitors a state of a router or a security modem, and periodically reports monitored results to the fault report server(S5). If a fault report is received from a specific subscriber, an operator checks entire subscriber information items through the fault report server(S6).

Abstract translation: 目的：提供一种超高速通信终端设备的远程监控方法，用于将用于收发用户数据的HTTP应用于管理协议，从而克服对现有SNMP的限制，并可在一般Internet网络中轻松使用。 规定：当网络连接完成时，B-NT（宽带网络终端）检测故障报告服务器的位置（S1）。 用户信息从B-NT（S2）发送到故障报告服务器。 故障报告服务器执行用户级别设置注册（S3）。 当在用户端生成事件时，终端部分向故障报告服务器报告生成的事件，以远程监视故障（S4）。 终端部分周期性地监视路由器或安全调制解调器的状态，并且将监视的结果周期性地报告给故障报告服务器（S5）。 如果从特定用户接收到故障报告，则运营商通过故障报告服务器检查整个用户信息项目（S6）。

公开(公告)号：KR1020020067146A

公开(公告)日：2002-08-22

申请号：KR1020010007546

申请日：2001-02-15

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 강인구 ,  김길용 ,  김수현 ,  윤명호 ,  이경수

IPC: H01L21/68

Abstract: PURPOSE: A teaching tool of a wafer transfer arm is provided to prevent inaccurate teaching of a wafer, by obtaining accurate teaching data of a transfer arm through a bar of the teaching tool and by loading/unloading the wafer to a state while using the accurate teaching data. CONSTITUTION: A body(100) has the same type and size as the wafer. A center identifying unit is installed in the center of the body to adjust the center of the stage(200) on which the wafer is to be placed. The bar(120) is installed in the center of the bottom surface of the body. The bar is made of a transparent quartz material, having a length of 17 millimeter.

Abstract translation: 目的：提供晶片传送臂的教学工具，通过通过教学工具的杆获得传递臂的精确教学数据，并通过将晶片加载/卸载到状态，同时使用准确的 教学数据。 构成：主体（100）具有与晶片相同的类型和尺寸。 中心识别单元安装在身体的中心，以调整要放置晶片的台（200）的中心。 杆（120）安装在主体的底面的中心。 该条由透明的石英材料制成，长度为17毫米。

公开(公告)号：KR1020020043767A

公开(公告)日：2002-06-12

申请号：KR1020000072879

申请日：2000-12-04

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김수현 ,  김성일 ,  김동현

IPC: H01L21/66

Abstract: PURPOSE: An apparatus for monitoring the voltage of spinner equipment is provided to precisely and rapidly eliminate a trouble of the spinner equipment, by inspecting an abnormal state of the spinner equipment by an alarm log. CONSTITUTION: A voltage monitoring unit(60) monitors voltage variation of an alternating current(AC) power supply(11) and a direct current(DC) power supply(51). A main controller(01) receives a monitored state signal of the voltage monitoring unit, displays an alarm when the voltage variation is not greater than the first predetermined value and stores the alarm in a log file. The main controller shuts down the equipment when the voltage variation is not greater than the second predetermined value.

Abstract translation: 目的：提供一种用于监测旋转器设备电压的装置，通过检查旋转器设备的异常状态，通过报警日志精确快速消除旋转设备的故障。 构成：电压监视单元（60）监视交流（AC）电源（11）和直流（DC）电源（51）的电压变化。 主控制器（01）接收电压监视单元的监视状态信号，当电压变化不大于第一预定值时显示报警，并将报警存储在日志文件中。 当电压变化不大于第二预定值时，主控制器关闭设备。

公开(公告)号：KR1020020034050A

公开(公告)日：2002-05-08

申请号：KR1020000064838

申请日：2000-11-02

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 한광윤 ,  김길용 ,  김수현 ,  임태민

IPC: H01L21/027

Abstract: PURPOSE: A wafer drop preventing apparatus of a bake apparatus for semiconductor fabrication is provided, which prevents a wafer drop when a robot removes a wafer with a main arm by preventing a shift of the wafer by an air current when the wafer is placed on a wafer bake plate. CONSTITUTION: A plurality of ceramic balls(20,22,24) supports a bottom of a wafer(10) in a chamber and are installed on an upper surface of a plate(12). And a plurality of transportation pins(14,18) moving up and down are installed to load and unload the wafer. In order to deposit a photo resist, the wafer is placed on the transportation pins by increasing the transportation pins to the upward. Then, if the photo resist is deposited on the wafer, the transportation pins are decreased and the wafer is placed on the ceramic balls. Even if an air current is generated in the chamber, the wafer is not shifted because the wafer is placed on the plurality of ceramic balls, and therefore a drop of the wafer is prevented when a robot removes the wafer with a main arm.

Abstract translation: 目的：提供一种用于半导体制造的烘烤装置的晶片防滴落装置，当机器人将主晶片放置在基板上时，通过防止晶片被气流移动，从而防止晶片掉落 晶圆烘烤板。 构成：多个陶瓷球（20,22,24）支撑在腔室中的晶片（10）的底部并且安装在板（12）的上表面上。 并且安装多个上下移动的输送销（14,18）以装载和卸载晶片。 为了沉积光致抗蚀剂，通过将输送针增加到上方将晶片放置在输送销上。 然后，如果光致抗蚀剂沉积在晶片上，则输送针减小，并且将晶片放置在陶瓷球上。 即使在室内产生气流，因晶片被放置在多个陶瓷球上而晶片不发生偏移，因此当机械手用主臂移除晶片时，晶片的下降被防止。

公开(公告)号：KR100255354B1

公开(公告)日：2000-05-01

申请号：KR1019980015728

申请日：1998-04-30

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김수현

IPC: B41J11/00

Abstract: PURPOSE: A paper separating device is provided to intermittently control second paper supply pressure for preventing an abnormal state of paper supply. CONSTITUTION: A paper supply device comprises a crankshaft(30) supplying power to a lower part of a paper supply roller with rotating; a lever arm(50) rotating to apply first and second paper supply pressure in rotating the crankshaft; and a lift lever(60) lifting a paper supply plate and generating first pressure to paper stacked on the paper supply roller and the paper supply plate in rotating the lever arm. The lift lever moves around the lever arm and a hinge(91), and rises to apply the second paper supply pressure in rotating the lever arm more after operating the first paper supply pressure. A pad holder(90) moves around the hinge in raising the lift lever, and applies the second paper supply pressure to the paper supply roller. First and second paper supply pressure is intermittently controlled by operating the pad holder, the lift lever and the lever arm reversely at the reverse rotation of the crankshaft.

Abstract translation: 目的：提供纸张分离装置，以间歇地控制第二纸张供应压力，以防止供纸的异常状态。 构成：供纸装置包括：一个曲轴（30），供给旋转的供纸辊的下部; 旋转第一和第二纸张供应压力以旋转曲轴的杠杆臂（50）; 以及升降杆（60），其提升供纸板并且在旋转所述杠杆臂时对叠放在所述供纸辊和所述供纸板上的纸张产生第一压力。 提升杆围绕杠杆臂和铰链（91）移动，并且在操作第一纸张供应压力之后更多地上升以施加第二纸张供应压力来旋转杠杆臂。 垫架（90）在升起提升杆的同时围绕铰链移动，并且将第二纸张供给压力施加到供纸辊。 第一和第二纸张供应压力通过在曲轴的反向旋转下操作垫座，提升杆和杠杆臂而间歇地控制。

公开(公告)号：KR1019990048002A

公开(公告)日：1999-07-05

申请号：KR1019970066599

申请日：1997-12-08

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김동현 ,  김수현 ,  김길용 ,  박영훈

IPC: H01L21/027

Abstract: 본 발명은 반도체 조립 공정에서 기판위에 포토 레지스트층을 형성하기 위한 포토 레지스트 도포 장치에 관한 것으로서, 이 포토 레지스트 도포 장치는 드레인 밸브가 열려 있을 경우에 포토 레지스트의 역류를 방지하여 이종의 포토 레지스트가 서로 섞임으로서 발생될 수 있는 공정 불량을 방지할 수 있도록 수동 밸브가 포토 레지스트의 역류를 방지하기 위한 수단을 구비한 것을 특징으로 한다. 이와 같은 포토 레지스트 도포 장치는 수동 밸브가 포토 레지스트의 역류 현상을 방지할 수 있기 때문에 종래에 포토 레지스트의 섞임으로 인해 발생되는 공정 불량을 방지하여 수율 향상이나 생산성을 향상시키는 효과를 얻을 수 있다.

公开(公告)号：KR2019980061676U

公开(公告)日：1998-11-16

申请号：KR2019970005938

申请日：1997-03-27

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김수현

IPC: G03G15/00

Abstract: 본 고안은 가이더를 갖는 급지장치에 관한 것으로, 급지판상에서 기기내로 투입되는 용지의 양측면을 안내하도록 한 가이더를 갖는 급지장치에 있어서, 일측에 소정높이로 형성되어 용지의 일측면을 안내하도록 한 측벽이 형성되고, 상면에 기기내로 투입될 용지가 당혀지는 급지판; 상기 급지판상에 측벽이 형성된 끝단과 대향되는 끝단에 설치되어 상기 용지의 일측을 안내하는 고정 가이더; 및 상기 고정가이더에 귀속되며, 필요에 따라 상기 고정가이더에서 이탈되어 급지판상에서 상기 고정가이더와 소정간격을 이루며, 고정가이더에 안내되는 용지의 일측면을 안내하도록 한 유동가이더로 이루어진 가이더를 갖는 급지장치를 제공하여, 설치구조를 단순화하 하므로써, 제작경비를 효율적으로 줄이고, 많은 량의 용지를 세팅하여 상기 용지가 스스로 기기내에 투입 경우, 상기 용지급지 작업이 보다 안정적으로 수행되도록 하므로써, 급지상태 불량에 따른 문제점을 해소시킨 유용한 고안이다.

公开(公告)号：KR2019980056623U

公开(公告)日：1998-10-15

申请号：KR2019970000648

申请日：1997-01-18

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김수현

IPC: G03G15/00

Abstract: 가. 청구범위에 기재된 고안이 속한 기술분야.
본 고안은 전자사진방식을 이용한 장치의 급지카세트에서 사용하는 용지의 중송을 방지하는 핑거장치에 관한 것이다.
나. 고안이 해결하려고 하는 기술적 과제.
본 고안은 전자사진방식을 이용한 장치의 급지카세트에 중송을 방지하기 위한 형상을 형성시킨 핑거를 제공하는데 있다.
다. 고안의 해결방법의 요지.
본 고안은 용지가 급지되어질 때, 중송을 방지하기 위하여 급지카세트의 장착면 내측의 양측 모서리 위쪽에 설치된 핑거의 내측면에 중송방지 홈을 형성시킴을 특징으로 한다.
라. 고안의 중요한 용도.
본 고안은 전자사진방식을 이용한 장치의 급지카세트에 사용하는 중송방지를 위한 핑거장치

公开(公告)号：KR1019980017530A

公开(公告)日：1998-06-05

申请号：KR1019960037315

申请日：1996-08-30

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김수현

IPC: H01L21/02

Abstract: 반도체 제조장치에 있어 회전체의 풀림을 방지하도록 회전축과 체결되는 반도체 제조설비의 회전체 고정너트에 관한 것이다.
본 발명은 소정 두께와 형상을 갖는 몸체와 상기 몸체의 상면 중심부에 소정 크기의 직경으로 관통되어 내측벽에 나사산이 형성된 암나사부로 이루어진 반도체 제조설비의 회전체 고정너트에 있어서, 상기 몸체의 측벽에서 상기 암나사부까지 관통하는 관통구가 적어도 하나 이상 형성됨을 특징으로 한다.
따라서, 본 발명에 의하면 회전체 고정너트의 관통구에 지지핀을 삽입하여 용이하게 체결력을 제공함에 따라 충분한 체결력이 전달되어 회전체를 회전축에 고정하게 되고, 제조설비 및 회전체 고정너트의 손상을 방지하는 효과가 있다.