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公开(公告)号：KR101764169B1
公开(公告)日：2017-08-02
申请号：KR1020110083032
申请日：2011-08-19
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: G01B11/002 , G01B11/00
Abstract: 마스크를사용하지않는노광장치에서복수광학계의스팟빔 위치를정확하고신속하게계측하기위한마스크리스노광장치와이를이용한빔 위치계측방법을제안한다. 이동테이블위의기준마크어레이에새겨진복수개의기준마크를이용하여각 측정계의위치를구하고, 각측정계의중심과복수개의기준마크중 임의의기준마크의중심을최대한일치시킨다. 이후각 측정계의위치와측정계에서계측한기준마크의위치에따라복수광학계로부터조사되는스팟빔의위치를빠른시간내에정확히계측함으로써마스크리스노광을위해서마스크데이터를생성하는시간을단축할수 있고, 기판의가공/제조/검사등을수행하는분야에서다양하게활용될수 있다.
Abstract translation: 在不使用掩模的曝光装置，提出了一种无掩模曝光装置以及使用该用于准确，快速地测量所述多个光学系统中的光束点的位置的光束位置测量方法。 获得使用多个刻的基准标记阵列的可动台的上方，任意参考标记在每个测量系统的具有多个参考标记的中心的中心之间的最佳匹配对参考标记每个测量系统的位置。 因为，通过根据测量hangijun标记中的每一个测量系统的位置和测量系统的位置从所述多个光学系统射出的点波束的位置在短时间内进行校正，并且可以缩短用于生成光罩数据的无掩模曝光，在基板的处理 /制造/检验等
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公开(公告)号：KR1020160074730A
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：KR1020140182449
申请日：2014-12-17
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: H01L43/08 , G11C11/161 , H01L27/228 , H01L43/12 , G11C11/15 , G11C2211/5615 , H01L43/10
Abstract: 자기메모리장치가개시된. 자기메모리장치는기판, 기판상의하부전극, 하부전극상의자기터널접합, 및자기터널접합상의캐핑전극을포함하고, 자기터널접합은기준자성패턴, 자유자성패턴, 및기준자성패턴과자유자성패턴사이의터널배리어패턴을포함하고, 캐핑전극은자기터널접합의중심으로부터오프셋되어비대칭적으로배치된다.
Abstract translation: 公开了具有改进的磁性隧道结的操作性能的磁存储器件。 磁存储器件包括：衬底; 基底上的下电极; 下电极上的磁性隧道结; 和在磁性隧道结上的封盖电极。 磁性隧道结包括：参考磁性图案; 自由磁性图案; 以及参考磁图案和自由磁图案之间的隧道势垒图案。 封盖电极不对称地布置成与磁性隧道结的中心偏移。
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公开(公告)号：KR1020130020408A
公开(公告)日：2013-02-27
申请号：KR1020110083032
申请日：2011-08-19
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: G01B11/002 , G01B11/00
Abstract: PURPOSE: A maskless exposure apparatus is provided to reduce time for generating a mask data for maskless exposure by quickly sensing the accurate location of a spot beam. CONSTITUTION: A method for getting a spot beam position in an optical system(130) comprises: a step of mounting a plurality of measuring systems(120) and a standard mark array with a movable table(100); a step of measuring the plurality of standard mark position engraved on the mark array by using the measuring systems; a step of obtaining the central location coordination of the measuring system by using the displacement of the reference mark and the location information between standards marks of the standard mark array; a step of obtaining image information of a spot beam irradiated from the optical system by using the measuring system; and a step of the location of the spot beam by using the image information. [Reference numerals] (160) Control unit
Abstract translation: 目的：提供无掩模曝光装置，以通过快速感测点光束的精确位置来减少用于产生无掩模曝光的掩模数据的时间。 构成：用于获得光学系统（130）中的点光束位置的方法包括：安装多个测量系统（120）和具有可移动台（100）的标准标记阵列的步骤; 通过使用测量系统测量刻在标记阵列上的多个标准标记位置的步骤; 通过使用参考标记的位移和标准标记阵列的标准标记之间的位置信息来获得测量系统的中心位置协调的步骤; 通过使用测量系统获得从光学系统照射的点光束的图像信息的步骤; 以及通过使用图像信息的点光束的位置的步骤。 （附图标记）（160）控制单元
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公开(公告)号：KR1020090032706A
公开(公告)日：2009-04-01
申请号：KR1020070098155
申请日：2007-09-28
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 안성민
IPC: H01L27/146
CPC classification number: H01L27/1462 , H01L27/14612 , H01L27/14685 , H01L27/14689 , H01L29/7843
Abstract: A CMOS image sensor is provided to reduce the influence of the excessive tensile stress which is applied to the source/drain region of the selection element and amplifier element by forming silicide film having the compressive stress in the source/drain region of the amplifier element and the selection element. An APS(Active Pixel Sensor) array region(10) comprises the pixels including the light receiving element. The APS array region is operated by a logic region(20). The APS array region receives the driving signal including a pixel selection signal (SEL), a reset signal(RX), and a charge transfer signal(TX) from a row driver(50). A timing generator(30) provides the timing signal and the control signal to a row decoder(40) and a column decoder(90). A correlated double sampler(60) outputs the difference level corresponding to the difference of the signal level and the noise level. An analog digital converter(70) converts the analog signal corresponding to the difference level into the digital signal. A latch unit(80) latches the digital signal.
Abstract translation: 提供CMOS图像传感器，以通过在放大器元件的源极/漏极区域中形成具有压缩应力的硅化物膜来减小施加到选择元件和放大器元件的源极/漏极区域的过度拉伸应力的影响，以及 选择元素。 APS（有源像素传感器）阵列区域（10）包括包括光接收元件的像素。 APS阵列区域由逻辑区域（20）操作。 APS阵列区域从行驱动器（50）接收包括像素选择信号（SEL），复位信号（RX）和电荷转移信号（TX）的驱动信号。 定时发生器（30）将定时信号和控制信号提供给行解码器（40）和列解码器（90）。 相关双采样器（60）输出与信号电平和噪声电平的差对应的差分电平。 模拟数字转换器（70）将对应于差分电平的模拟信号转换成数字信号。 锁存单元（80）锁存数字信号。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020080055035A
公开(公告)日：2008-06-19
申请号：KR1020060127868
申请日：2006-12-14
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G01S5/14
Abstract: A method and an apparatus for estimating locations by using a GPS are provided to accurately obtain the current position of a terminal in a shadow zone by individually applying weights to the velocity value at the previous location and a Y coordinate value based on a standardized X coordinate value. A GPS(Global Positioning System) receiver(10) calculates the current position based on communication with a satellite. A memory unit(21) stores information about the current position. A receive sensitivity determining unit(22) detects a low sensitivity area based on error information included in the position information. At the low sensitivity area, a standardizing unit(23) matches the current position to the coordinate axis of the previous position and standardizes X components of the current position. A position compensator(24) applies a weight to Y components of the current position and the velocity of the previous position based on the standardized X coordinate and compensates for the current position. A map matching unit(30) displays the compensated position on a map.
Abstract translation: 提供了一种通过使用GPS来估计位置的方法和装置，用于通过对前一个位置处的速度值单独应用权重并且基于标准化的X坐标来准确地获得阴影区域中的终端的当前位置 值。 GPS（全球定位系统）接收机（10）基于与卫星的通信来计算当前位置。 存储单元（21）存储关于当前位置的信息。 接收灵敏度确定单元（22）基于包括在位置信息中的错误信息来检测低灵敏度区域。 在低灵敏度区域，标准化单元（23）将当前位置与先前位置的坐标轴相匹配，并对当前位置的X分量进行标准化。 位置补偿器（24）基于标准化X坐标对当前位置的Y分量和前一位置的速度施加权重并补偿当前位置。 地图匹配单元（30）在地图上显示补偿位置。
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