公开(公告)号：KR3005456560000S

公开(公告)日：2009-11-19

申请号：KR3020080050446

申请日：2008-11-24

Applicant: 삼성전자주식회사

Designer： 윤수현 ,  김정민 ,  유주희 ,  김태연 ,  정희재 ,  최은하 ,  황정훈 ,  이종협

公开(公告)号：KR3005360660000S

公开(公告)日：2009-08-06

申请号：KR3020080052530

申请日：2008-12-05

Applicant: 삼성전자주식회사

Designer： 황정훈 ,  유주희 ,  전종수 ,  김정민

公开(公告)号：KR1020050064397A

公开(公告)日：2005-06-29

申请号：KR1020030095757

申请日：2003-12-23

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 황정훈

IPC: H01L21/027

Abstract: 웨이퍼 상의 감광액의 도포불량을 방지하기 위한 반도체 제조용 스피너 장치가 제공된다. 이 반도체 제조용 스피너 장치는, 웨이퍼 표면에 도포될 감광액을 수용하는 용액공급원과, 상기 감광액을 상기 용액공급원으로부터 상기 웨이퍼 상부로 이송하는 공급라인과, 상기 공급라인 상에 위치하여 상기 감광액의 유량을 측정하는 센서를 포함한다.

公开(公告)号：KR3009313990000S

公开(公告)日：2017-11-15

申请号：KR3020170024449

申请日：2017-05-30

Applicant: 삼성전자주식회사

Designer： 황정훈 ,  조철연 ,  윤현우

公开(公告)号：KR3008038030000S

公开(公告)日：2017-11-02

申请号：KR3020150009304

申请日：2015-02-24

Applicant: 삼성전자주식회사

Designer： 황정훈 ,  윤덕상 ,  김연수 ,  황원철

公开(公告)号：KR3008376630000S

公开(公告)日：2016-09-02

申请号：KR3020150022214

申请日：2015-04-29

Applicant: 삼성전자주식회사

Designer： 윤덕상 ,  황정훈

公开(公告)号：KR3008269540000S

公开(公告)日：2016-09-02

申请号：KR3020150022244

申请日：2015-04-29

Applicant: 삼성전자주식회사

Designer： 윤덕상 ,  황정훈

公开(公告)号：KR3008269420000S

公开(公告)日：2016-09-02

申请号：KR3020150022223

申请日：2015-04-29

Applicant: 삼성전자주식회사

Designer： 박세윤 ,  윤덕상 ,  윤상훈 ,  황정훈 ,  최재원

公开(公告)号：KR3008269410000S

公开(公告)日：2016-09-02

申请号：KR3020150022220

申请日：2015-04-29

Applicant: 삼성전자주식회사

Designer： 최재원 ,  윤덕상 ,  윤상훈 ,  황정훈 ,  박세윤

公开(公告)号：KR3008249630000S

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：KR3020150022221

申请日：2015-04-29

Applicant: 삼성전자주식회사

Designer： 최재원 ,  윤덕상 ,  윤상훈 ,  황정훈 ,  박세윤