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公开(公告)号：KR101082348B1
公开(公告)日：2011-11-10
申请号：KR1020090060498
申请日：2009-07-03
Applicant: 서울대학교산학협력단
IPC: G01N33/543 , C12M1/38 , G01N33/53
Abstract: 본발명의온도조절기능을구비한비드기반마이크로칩은, 구조적으로격리되어상호간의열전달을차단하도록구성된제 1반응실및 제 2반응실이구비된몸체부와; 상기제 1반응실내부에충진되는목표단백질고정용비드및 상기제 2반응실내부에충진되는단백질분해용비드와; 상기제 1반응실측의상기몸체부하면에부착·형성되는제 1히터부및 상기제 2반응실측의상기몸체부하면에부착·형성되는제 2히터부와; 상기몸체부의상면에부착되되, 시료가내·외부적으로이동하는출입구로사용되는다수개의관통구가형성된덮개부와; 상기덮개부의상면에구비되되, 내부에상기다수개의관통구중 일부와연결되는마이크로채널이형성된유로부; 및상기유로부의상면에결합되어공압밸브를이용하여유체의유동을제어하는유동제어부;를포함하여구성되어, 상기제 1히터부를통해상기제 1반응실을가열함으로써상기단백질고정용비드표면에결합된목표단백질의변성(denaturation)과용출이동시에일어나게하는한편, 상기제 2히터부를통해상기제 2반응실을가열하여상기단백질분해용비드의활성도를높이는것을특징으로한다.
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公开(公告)号：KR1020110082951A
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：KR1020100002904
申请日：2010-01-12
Applicant: 서울대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: A method for a vertically penetrated silicon electrode with an insulating glass part is provided to fill insulating glass around a silicon pillar to manufacture a penetration electrode, thereby simplifying manufacturing processes by eliminating a process which fills metal materials in a via hole. CONSTITUTION: A protective pattern is formed on one side of a silicon wafer to form a silicon electrode(S100). The silicon wafer is etched to form a silicon electrode(S200). The silicon wafer is bonded with a glass wafer(S300). The bonded glass wafer is dissolved(S400). Both sides of the silicon wafer and the glass wafer are processed so that the thicknesses of the silicon wafer and the glass wafer become a fixed thickness(S500).
Abstract translation: 目的：提供一种具有绝缘玻璃部件的垂直穿透的硅电极的方法，以填充硅柱周围的绝缘玻璃以制造穿透电极，从而通过消除填充通孔中的金属材料的工艺来简化制造工艺。 构成：在硅晶片的一侧形成保护图案以形成硅电极（S100）。 蚀刻硅晶片以形成硅电极（S200）。 硅晶片与玻璃晶片（S300）接合。 粘合玻璃晶片溶解（S400）。 处理硅晶片和玻璃晶片的两侧，使得硅晶片和玻璃晶片的厚度变为固定厚度（S500）。
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公开(公告)号：KR101049456B1
公开(公告)日：2011-07-15
申请号：KR1020090015654
申请日：2009-02-25
Applicant: 전북대학교산학협력단 , 서울대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 마이크로전자기계시스템을 이용한 가속도 가변 관성 스위치에 관한 것으로서, DC전원과 접속된 고정자 하측에 고정된 제1 구동기와, 제1 구동기 하단과 소정길이 이격되어 구동부재에 의해 지지되는 제2 구동기와, 구동부재 하단에 구비되며, 전송선과 이격된 위치에서 수직ㆍ수평이송을 통해 전송선의 간극과 스위칭되는 접촉부와, 구동부재의 일측 및 타측에 구비되어 구동부재를 지지하는 탄성부재, 및 고정자 및 전송선 사이에 이격되어 수직으로 구성되며, DC전원과 접속되어 인가받은 전압의 크기에 따라 탄성부재의 상수 값이 가변되도록 하는 전극을 포함한다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, DC전압의 크기에 따라 탄성부재의 상수 값을 양의 값 또는 음의 값을 갖도록 시킴으로써, 목적에 부합하도록 탄성부재 상수 값의 가변이 가능하한 가속도 가변 관성 스위치를 제공하는 효과가 있다.
마이크로전자기계시스템, 가속도, 가변, 관성, 스위치, 전극, 탄성부재, 접촉부Abstract translation: 第二致动器本发明涉及使用微机电系统的加速度可变惯性开关，从直流电源，并与固定在下部侧第一驱动器所连接的定子间隔开，在具有预定长度的底部的第一驱动器由驱动部件支承 并且，它在所述驱动部件的底部设置，并且垂直地在从传输线间隔开的位置被在一侧和其在传输线间隙，并通过水平传输切换的接触部的另一侧设置，所述驱动构件用于支撑所述驱动部件的弹性部件，和一个定子，并且 并且连接到直流电源的电极根据所施加的电压的大小来改变弹性构件的恒定值。
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公开(公告)号：KR101030549B1
公开(公告)日：2011-04-21
申请号：KR1020080136683
申请日：2008-12-30
Applicant: 전북대학교산학협력단 , 서울대학교산학협력단
Abstract: 본 발명에서 스위칭 격리도를 향상시킬 수 있는 마이크로전자기계시스템을 이용한 알에프 스위치를 개시한다.
본 발명에 따른 스위치는, 상기 고주파 또는 고전력 신호를 전송하기 위한 신호선을 포함하는 RF신호 전송부(RF Transmission Part); 및 상기 RF 신호 전송부의 상측부로 설치되고, 상기 신호들에 대한 스위칭 명령에 응답하여, 상기 신호선의 이격된 위치에서 수평 이송과 수직 이송을 기반으로 상기 신호선을 스위칭하는 구동부로 이루어지고, 구동부는 상기 RF신호 전송부의 상향으로 이격 설치되어, 물리적인 수평 이동과, 상기 정전력 전극과의 전기적 상호 작용에 근거한 수직 이동을 기반으로, 상기 간극을 스위칭하는 구동체; 및 상기 구동체를 수평 이동시키기 위한 고정체로 이루어진다.
따라서, 본 발명은 스위치의 접촉부를 수평 및 수직 이동시켜 전송선과 연결토록 함에 따라, 고주파 대역에서 높은 격리도를 보유할 수 있을 뿐만 아니라, 높은 전력(power)를 갖는 신호 스위칭이 가능한 효과가 있다.
MEMS, RF, 스위치, 격리도, 고주파, 고전력, 신호, 대변위 빗 모양
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