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公开(公告)号：KR1020000041094A
公开(公告)日：2000-07-15
申请号：KR1019980056873
申请日：1998-12-21
Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원
IPC: H03H3/10
Abstract: PURPOSE: An electrode fabricating method of a surface acoustic wave(SAW) filter is provided to prevent a quality deterioration owing to a power loss and a noise generation at a long-term use by improving a close adherence degree between an electrode and substrate and a thermal resistance. CONSTITUTION: In an electrode fabricating method of an SAW filter, a piezoelectric substrate(1) is rinsed by a rinsing solution of 40°C during 30 minutes, and a poly silicon(4) is deposited so as to have a thickness of 2000 angstrom while maintaining a substrate temperature at 625°C. A Ti thin film(5) of 1000 angstrom is formed on the poly silicon(4) by a DC magnetron sputtering while maintaining the substrate temperature at 50-100°C. A rapid thermal processing is performed during 15-16 seconds at 800-900°C in a nitrogen atmosphere in order to form a stable titanium silicide thin film(2). An aluminum(3) of 1000-2000 angstrom is deposited on the titanium silicide thin film(2) by a DC magnetron sputtering.
Abstract translation: 目的：提供一种表面声波（SAW）滤波器的电极制造方法，以通过改善电极和基板之间的紧密附着程度来防止由于功率损耗和长期使用时产生的噪声而导致的质量劣化， 热阻。 构成：在SAW滤波器的电极制造方法中，在30分钟内用40℃的冲洗液冲洗压电基板（1），沉积多晶硅（4），使其厚度为2000埃 同时将衬底温度保持在625℃。 通过DC磁控溅射在多晶硅（4）上形成1000埃的Ti薄膜（5），同时保持基板温度在50-100℃。 在氮气气氛中，在800-900℃下，在15-16秒内进行快速热处理，以形成稳定的硅化钛薄膜（2）。 通过DC磁控溅射在硅化钛薄膜（2）上沉积1000-2000埃的铝（3）。
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公开(公告)号：KR100115696B1
公开(公告)日：1997-05-28
申请号：KR1019930012394
申请日：1993-07-02
Applicant: 주식회사 포스코 , 재단법인 포항산업과학연구원
IPC: H01L21/304
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公开(公告)号：KR101537385B1
公开(公告)日：2015-07-17
申请号：KR1020130150929
申请日：2013-12-05
Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원
Abstract: 탄화규소단결정성장방법을제공한다. 본발명에따르면, 도가니, 종자정, 종자정받침대, 가열수단을포함하는탄화규소단결정성장장치를이용하여탄화규소단결정을성장시키는방법에있어서, 상기도가니내부에원료물질을장입하는원료물질장입단계, 접착제를이용하여종자정을종자정받침대에부착하는종자정부착단계, 상기종자정이부착된종자정받침대를탄화수소단결정성장장치내에인입시켜도가니내부상부에장착하는종자정받침대장착단계, 상기가열수단을이용하여도가니를성장온도로가열하여, 상기도가니내에장입된원료물질을승화시켜단결정을성장시키는단결정성장단계, 및상기단결정성장단계에서단결정초기성장시실리콘과잉상태인도가니내부에서원료물질과반응하여실리콘과잉분위기를억제하기위한억제가스를공급하는억제가스공급단계를포함한다.
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公开(公告)号：KR1020150066016A
公开(公告)日：2015-06-16
申请号：KR1020130150929
申请日：2013-12-05
Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원
Abstract: 탄화규소단결정성장방법을제공한다. 본발명에따르면, 도가니, 종자정, 종자정받침대, 가열수단을포함하는탄화규소단결정성장장치를이용하여탄화규소단결정을성장시키는방법에있어서, 상기도가니내부에원료물질을장입하는원료물질장입단계, 접착제를이용하여종자정을종자정받침대에부착하는종자정부착단계, 상기종자정이부착된종자정받침대를탄화수소단결정성장장치내에인입시켜도가니내부상부에장착하는종자정받침대장착단계, 상기가열수단을이용하여도가니를성장온도로가열하여, 상기도가니내에장입된원료물질을승화시켜단결정을성장시키는단결정성장단계, 및상기단결정성장단계에서단결정초기성장시실리콘과잉상태인도가니내부에서원료물질과반응하여실리콘과잉분위기를억제하기위한억제가스를공급하는억제가스공급단계를포함한다.
Abstract translation: 在本发明中，提供了一种用于生长碳化硅单晶的方法，其使用具有坩埚，晶种，晶种架和加热工具的用于生长碳化硅单晶的装置，并且包括：原料充电 在坩埚中加入原料的步骤; 使用粘合剂将晶种附着到晶种架上的晶种附着工序; 晶种架安装步骤，将具有附着晶种的籽晶附着架插入用于生长碳化硅单晶的装置中，并使其能够附着在坩埚的内部; 单晶生长步骤，使用加热工具在生长温度下加热坩埚并使带电原料升华，导致单晶生长; 以及抑制气体供给工序，在单晶生长工序中生长初始单晶时，供给抑制气体与具有过量硅的坩埚中的原料反应。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101480491B1
公开(公告)日：2015-01-12
申请号：KR1020120157321
申请日：2012-12-28
Applicant: 주식회사 포스코 , 재단법인 포항산업과학연구원
Abstract: 원료 분말 소결체 벌크 제조 방법 및 소결체 벌크를 이용한 단결정 성장 방법을 제공한다. 본 발명에 따르면, 도가니의 내부에 원료 물질을 장입하는 원료 물질 장입 단계; 상기 도가니를 제1 설정 온도, 제1 설정 압력 및 제1 설정 시간 동안 가열하여 상기 도가니에 포함된 불순물을 제거하는 불순물 제거 단계; 상기 도가니 내부를 제2 설정 압력으로 승압하는 승압 단계; 상기 승압 단계 후 상기 도가니 내부를 상기 제2 설정 압력으로 유지하면서 가열수단을 이용하여 상기 도가니를 제2 설정 온도로 가열하는 가열 단계; 상기 가열 단계 후 상기 도가니를 제2 설정 시간 동안 제2 설정 압력으로 유지하면서 상기 원료 물질을 소결시켜 소결체 벌크를 형성하는 소결 단계를 포함한다.
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公开(公告)号：KR1020140132831A
公开(公告)日：2014-11-19
申请号：KR1020130051382
申请日：2013-05-07
Applicant: 주식회사 포스코 , 재단법인 포항산업과학연구원
Abstract: 종자정과 종자정 받침대 사이의 계면에서의 미세 채널 또는 기공 발생을 최소화할 수 있도록, 종자정의 적어도 일면의 휨정도를 측정하는 측정단계와, 상기 종자정의 일면과 접합되는 받침대의 접합면을 상기 종자정의 일면의 휨정도에 대응하는 형태로 가공하는 가공단계, 상기 종자정과 받침대 사이에 접착제를 도포하는 도포단계, 종자정과 받침대를 접합하는 접합단계를 포함하는 종자정 받침대 접합 방법을 제공한다.
Abstract translation: 提供了将种子附接到保持器的方法。 为了最小化种子和种子保持器之间的界面上的微通道或孔的产生，将种子附接到保持器的方法包括：测量步骤，测量种子的至少一个表面的翘曲程度 ; 处理步骤，用于处理附着在种子的一个表面上的保持器的附着表面，以对应于种子的一个表面的翘曲程度; 在种子和保持器之间涂覆粘合剂的涂布步骤; 以及将种子附接到保持器的附接步骤。
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公开(公告)号：KR101419471B1
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：KR1020120157320
申请日：2012-12-28
Applicant: 주식회사 포스코 , 재단법인 포항산업과학연구원
IPC: C30B23/00 , C30B29/36 , H01L21/205
Abstract: 종자정 받침대 부착 방법 및 종자정 받침대를 이용한 단결정 성장 방법을 제공한다. 본 발명에 따르면, 종자정 받침대의 일면에 일정한 크기와 형상을 갖는 홈을 복수개 형성하는 단계; 상기 종자정 받침대의 일면과 상기 홈에 일정한 두께로 접착 물질을 도포하는 단계; 및 상기 접착 물질에 의하여 종자정을 상기 종자정 받침대에 부착하는 단계를 포함한다.
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公开(公告)号：KR1020140087343A
公开(公告)日：2014-07-09
申请号：KR1020120157321
申请日：2012-12-28
Applicant: 주식회사 포스코 , 재단법인 포항산업과학연구원
CPC classification number: C01B32/956 , B01J6/00 , C01P2006/40 , C01P2006/90 , C04B35/565 , C30B29/36
Abstract: The present invention relates to a method for manufacturing a raw sintered bulk and to a method for growing a single crystal using a sintered bulk. The present invention comprises: a raw material inserting step of inserting raw materials into an inner space of a crucible; an impurity removing step of removing impurities included in the crucible by heating the crucible at a first set temperature and a second set pressure for a first set time; a pressure increasing step of increasing the pressure of the inner space of the crucible to a second set pressure; a heating step of heating the crucible at a second set temperature by using a heating means while maintaining the inner space of the crucible at the second set pressure after the pressure increasing step; and a sintering step of forming a sintered bulk by sintering the raw materials while maintaining the crucible at the second set pressure for a second set time after the heating step.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于制造原料烧结体的方法以及使用烧结体生长单晶的方法。 本发明包括：原料插入步骤，将原料插入坩埚的内部空间; 通过在第一设定温度和第二设定压力下加热坩埚达到第一设定时间来除去包含在坩埚中的杂质的杂质去除步骤; 将坩埚的内部空间的压力提高到第二设定压力的增压步骤; 加热步骤，通过使用加热装置在第二设定温度下加热坩埚，同时在加压步骤之后将坩埚的内部空间保持在第二设定压力; 以及烧结步骤，通过在将坩埚保持在第二设定压力的同时烧结原料而在加热步骤之后的第二设定时间内形成烧结体。
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公开(公告)号：KR101053800B1
公开(公告)日：2011-08-03
申请号：KR1020030094853
申请日：2003-12-22
Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원
IPC: C02F1/461
Abstract: 본 발명은 무 경막 전기분해 알카리수 및 산성수 제조장치에 관한 것으로 특히, 전기분해 산성수 및 알카리수의 제조장치에 있어서, 종래의 경막을 사용하지 않고 전극의 간격을 자동 조절함으로써, 산성수 및 알카리수의 pH 농도를 자동적으로 변화시킬 수 있는 무 경막 전기분해 알카리수 및 산성수 제조장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기한 목적을 갖는 본 발명의 무 경막 전기분해 알카리수 및 산성수 제조장치는, 전기분해조의 상부 양측에 각각 설치되는 레일과, 상기 레일의 양측에 각각 설치되는 측면지지대와, 레일을 따라 이동 가능하도록 각각 설치되는 양극 전극 및 음극 전극의 지지대와, 양극 전극 및 음극 전극의 지지대에 각각 결합되어 고정되는 양극 전극 및 음극 전극과, 측면지지대와 양극 전극 지지대 및 다른 측면지지대를 차례로 관통하여 설치되는 2개의 양극 전극 이동축 나사와, 또 다른 측면지지대와 음극 전극 지지대 및 다른 측면지지대를 차례로 관통하여 설치되는 2개의 음극 전극 이동축 나사 및, 양극 및 음극 전극 이동축 나사의 일측에 각각 결합되는 전동모터를 포함하여 구성되며, 여기서, 전기분해조의 배출부 측에는 망사형 분리대가 더 설치되어, 차아 염소산나트륨의 발생을 감소시킨다.
무 경막, 전기분해, 알카리수, 산성수, 전동모터, 전극, 이동축 나사Abstract translation: 非跨膜电解碱性水和酸性水的本发明涉及的制造装置，特别是，在电解酸性水和碱性水的制造装置中，通过不使用常规的硬膜外自动调整电极之间的距离，酸性水和碱性水 本发明的目的是提供一种能够自动改变pH值浓度的无膜电解碱性水和酸性水生产装置。
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