公开(公告)号：KR1020050101584A

公开(公告)日：2005-10-25

申请号：KR1020040026498

申请日：2004-04-19

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 이성호 ,  정중기 ,  문찬우 ,  이종배

IPC: B81B5/00

Abstract: 본 발명은, 3 자유도 미소변위 구동장치에 관한 것으로서, 작은 전압만으로도 큰 미는 힘을 얻을 수 있는 다수의 미소이동부를 직선구동과 틸팅구동 그리고 팬구동의 3자유도 구동원으로 각기 사용하고 더불어 소정의 회전수단을 포함한 일련의 구동장치들을 상호간에 연동되게 연결/설치함으로써 나노미터(nm) 정도로 정밀하게 초소형 그리퍼 등의 위치를 제어하도록 한다.

公开(公告)号：KR1020040047210A

公开(公告)日：2004-06-05

申请号：KR1020020075337

申请日：2002-11-29

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 문찬우 ,  정중기 ,  성하경

IPC: G01B11/14

Abstract: PURPOSE: A moving displacement measuring apparatus used an I/Q heterodyne interferometer is provided to measure an exact moving displacement when operating a stage in which a moving object is positioned at a high speed by simplifying a circuit for determining a position of the moving object and by continuously chasing a phase trace of the moving object. CONSTITUTION: A moving displacement measuring apparatus used I/Q heterodyne interferometer includes a first mode amplifier(200) and a second mode amplifier(210), a first mode comparator(220) and a second mode comparator(230), a moving period detecting part(240), and a moving displacement calculating part(250). The first mode amplifier(200) and the second mode amplifier(210) are used for amplifying a first moving detecting signal and a second moving detecting signal. The first mode comparator(220) and the second mode comparator(230) compare the first moving detecting signal and the second moving detecting signal with a reference voltage level so as to output a high level pulse signal or a low level pulse signal according to the result of the comparison.

Abstract translation: 目的：提供使用I / Q外差干涉仪的移动位移测量装置，通过简化用于确定移动物体的位置的电路​​来操作运动物体高速定位的台阶时，测量准确的移动位移， 通过连续追踪运动物体的相位轨迹。 构成：使用I / Q外差干涉仪的移动位移测量装置包括第一模式放大器（200）和第二模式放大器（210），第一模式比较器（220）和第二模式比较器（230），移动周期检测 部分（240）和移动位移计算部分（250）。 第一模式放大器（200）和第二模式放大器（210）用于放大第一移动检测信号和第二移动检测信号。 第一模式比较器（220）和第二模式比较器（230）将第一移动检测信号和第二移动检测信号与参考电压电平进行比较，以便根据该第一模式比较器输出高电平脉冲信号或低电平脉冲信号 比较结果。

公开(公告)号：KR200346561Y1

公开(公告)日：2004-04-01

申请号：KR2020030040431

申请日：2003-12-29

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 이성호 ,  정중기 ,  문찬우

IPC: B23Q1/25

CPC classification number: B23Q1/28

Abstract: 압전 세라믹의 길이 변화량을 이용하여 구동체를 미소 변위 이동시키고, 큰 힘으로 구동체를 고정시킬 수 있으며, 압전 세라믹이 전원을 인가하지 않고서도 구동체를 고정된 상태로 유지하여 전력 소모를 줄인다.
좌우 양측에 각기 가이드가 구비되는 베이스 판체와, 각기 제 1 및 제 2 삽입부가 구비되고 상기 가이드의 사이에 설치되어 이동되는 제 1 및 제 2 구동체와, 상기 제 1 및 제 2 구동체의 제 2 삽입부의 외측면에 형성되고 상기 가이드를 압착하여 제 1 및 제 2 구동체가 이동되지 않도록 하는 고정용 돌기와, 상기 제 1 및 제 2 구동체의 제 1 삽입부에 각기 설치되고 전원의 인가에 따라 팽창되면서 제 1 삽입부가 벌어지고 제 2 삽입부가 오므라들어 상기 고정용 돌기가 상기 가이드를 압착하지 못하고 제 1 및 제 2 구동체가 이동될 수 있게 하는 제 1 및 제 2 압전 세라믹과, 양측 단부가 상기 제 1 및 제 2 구동체의 제 2 삽입부에 고정되고 전원의 인가에 따라 팽창되면서 제 1 및 제 2 구동체를 이동시키는 제 3 압전 세라믹으로 구성된다.