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公开(公告)号：KR101608678B1
公开(公告)日：2016-04-04
申请号：KR1020140064314
申请日：2014-05-28
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N21/31 , G01N21/3504 , G02B26/00
Abstract: 본발명은가스측정센서에관한것으로, 측정대상가스를투과한방사형광을제1 방향으로집속하는집속렌즈및 상호인접하고상기집속된광의일부를제2 방향으로각각집속하는복수의집속렌즈들을포함한다. 따라서, 모듈패키징을보다용이하게할 수있으며, 가스를통과한방사형광을제어하여단일회로기판에패키징될수 있다.
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公开(公告)号：KR1020150136815A
公开(公告)日：2015-12-08
申请号：KR1020140064314
申请日：2014-05-28
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N21/31 , G01N21/3504 , G02B26/00
Abstract: 본발명은가스측정센서에관한것으로, 측정대상가스를투과한방사형광을제1 방향으로집속하는집속렌즈및 상호인접하고상기집속된광의일부를제2 방향으로각각집속하는복수의집속렌즈들을포함한다. 따라서, 모듈패키징을보다용이하게할 수있으며, 가스를통과한방사형광을제어하여단일회로기판에패키징될수 있다.
Abstract translation: 气体测量传感器技术领域本发明涉及一种气体测量传感器。 本发明包括：聚焦透镜，其聚焦在第一方向上穿透目标气体的径向光; 并且聚焦透镜在第二方向上聚焦彼此相邻的聚焦光的一部分。 因此，本发明能够更容易地包装模块并且将将要包装的气体的径向光控制到单个电路板。
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公开(公告)号：KR101469238B1
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：KR1020130046365
申请日：2013-04-25
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 적외선광원장치및 이를포함하는가스측정광학계가개시된다. 본발명의실시예에따른적외선광원장치는, 발열체를이용하여적외선광을방사하는적외선광원부; 상기적외선광원부에서방사되는적외선광을평행광또는집속광으로변환하는렌즈; 및상기적외선광원부와상기렌즈를광축방향에맞게조립하여일체화시키고, 일정방위를벗어나방사되는적외선광을차단하는경사면이형성된조립기구부를포함한다.
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公开(公告)号：KR101437451B1
公开(公告)日：2014-09-11
申请号：KR1020130059883
申请日：2013-05-27
Applicant: 전자부품연구원
CPC classification number: G01N21/21 , A61B5/14532 , A61B5/14558 , G02B27/281
Abstract: Disclosed in the present invention is a polarization interference surface detecting apparatus using a liquid crystal retarder. The polarization interference surface detecting apparatus comprises: a light generating unit; a first polarizer which adjusts the polarization status of incidence light from the light generating unit; an optical waveguide which causes phase changes between two polarized light due to the changes in surface material for light passing the first polarizer; a liquid crystal retarder which controls phase delay of the polarized light outputted from the optical waveguide, using an electrical signal; a second polarizer which filters the light passing the liquid crystal retarder; and an optical detecting unit which converts the intensity of the light passing the second polarizer into an electrical signal.
Abstract translation: 在本发明中公开了使用液晶延迟器的偏振干涉面检测装置。 所述偏振干涉面检测装置包括：光产生单元; 第一偏振器，其调节来自所述光产生单元的入射光的偏振状态; 光波导，其导致由于通过第一偏振器的光的表面材料的变化引起的两个偏振光之间的相位变化; 使用电信号控制从光波导输出的偏振光的相位延迟的液晶延迟器; 用于过滤通过液晶延迟器的光的第二偏振器; 以及光学检测单元，其将通过第二偏振器的光的强度转换为电信号。
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公开(公告)号：KR101093612B1
公开(公告)日：2011-12-15
申请号：KR1020080112057
申请日：2008-11-12
Applicant: 전자부품연구원
CPC classification number: G01N27/223
Abstract: 본 발명은 정전용량형 습도센서에 관한 것으로, 보다 자세하게는 ROIC 기판 상부에 센서부를 형성함으로써 습도센서를 작게 제작할 수 있음은 물론, 하부 전극층과 상부 전극층 사이에 표면적이 큰 고분자 소재의 감습층을 형성함으로써 센서의 신뢰도를 높일 수 있는 정전용량형 습도센서 및 그 제조방법에 관한 것이다.
본 발명의 정전용량형 습도센서는 전극패드를 포함하는 ROIC 기판; 상기 ROIC 기판 상부에 형성되고, 상기 전극패드의 일부가 노출되도록 패터닝된 금속층; 상기 금속층 상부에 형성되고, 상기 전극패드의 일부가 노출되도록 패터닝된 절연층; 상기 절연층 상부에 형성된 하부 전극층; 상기 하부 전극층 상부에 표면적을 넓게하기 위해 식각되어 형성된 감습층; 상기 감습층 상부에 형성된 상부 전극층; 및 노출된 상기 전극패드 상부에 형성되어 상기 하부 전극층과 상부 전극층 각각을 상기 전극패드와 접촉시키기 위한 연결층을 포함함에 특징이 있다.
습도센서, 정전용량형, 폴리이미드, ROIC 기판-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020100119055A
公开(公告)日：2010-11-09
申请号：KR1020090037971
申请日：2009-04-30
Applicant: 전자부품연구원
CPC classification number: C12Q1/6825 , C12Q2565/607 , G01N21/31
Abstract: PURPOSE: A surface sensor device using wavelength conversion waveguide is provided to detect surface materials in high-sensitivity by using integration technique utilizing an optical wave guide path. CONSTITUTION: A surface sensor device using wavelength conversion waveguide comprises a pumping light source(100), a wavelength conversion element(200), a fluid channel part, a band passage filter(300) and a photo diode(400). The pumping light source radiates specific wave into the wavelength conversion element. The wavelength conversion element is composed of a periodically polarization-inversed QPM optical waveguide. The band passage filter eliminates the wavelength components from the pumping light source.
Abstract translation: 目的：使用波长转换波导的表面传感器装置通过使用光波导路径的积分技术来检测高灵敏度的表面材料。 构成：使用波长转换波导的表面传感器装置包括泵浦光源（100），波长转换元件（200），流体通道部分，带通滤波器（300）和光电二极管（400）。 泵浦光源将特定波辐射到波长转换元件中。 波长转换元件由周期性偏振反射的QPM光波导构成。 带通滤波器消除了来自泵浦光源的波长成分。
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公开(公告)号：KR100988471B1
公开(公告)日：2010-10-18
申请号：KR1020080063457
申请日：2008-07-01
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N21/3563 , G01N21/00
CPC classification number: G01N21/3563 , G01N21/359 , G02B21/0004
Abstract: 본 발명은 부착 세포와 부유 세포를 대상으로 파장가변 광원/적외선센서를 이용하여 세포의 적외선 관련 특성을 분석 관찰이 가능할 뿐만 아니라 세포내 특정 물질을 정량화하여 세포의 대사 작용을 측정할 수 있는 장치에 관한 것이다. 부가적으로 가시광 현미경과 결합하여 적외선 특성 분석 대상이 되는 세포의 위치를 파악할 수 있도록 하는 장치에 관한 것이다.
적외선, 세포, 이동, 실시간-
公开(公告)号：KR100965835B1
公开(公告)日：2010-06-28
申请号：KR1020070094574
申请日：2007-09-18
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명은 수분 감지층으로 고분자 소재를 이용한 습도센서에 관한 것으로 보다 자세하게는 하부전극과 상부전극 사이에 표면적이 증대된 고분자 소재의 수분 감지층을 포함하는 고분자 용량형 습도센서에 관한 것이다.
본 발명의 목적은 하부 전극층; 상기 하부 전극층 상에 표면적 증대를 위하여 식각된 표면을 갖는 고분자 소재의 수분 감지층; 및 상기 수분 감지층상에 형성된 상부 전극층을 포함하는 용량형 고분자 습도센서에 의하여 달성된다.
본 발명의 다른 목적은 기판상에 하부 전극층을 형성하는 단계; 상기 하부 전극층상에 수분 감지층을 형성하는 단계; 상기 수분 감지층상에 상부 전극층을 형성하고 패터닝하는 단계; 및 상기 상부 전극층을 마스크로 이용하여 상기 수분 감지층을 식각하는 단계를 포함하는 용량형 고분자 습도센서의 제조방법에 의하여 달성된다.
습도, 고분자, 용량형, 폴리이미드, 센서-
公开(公告)号：KR1020100053082A
公开(公告)日：2010-05-20
申请号：KR1020080112057
申请日：2008-11-12
Applicant: 전자부품연구원
CPC classification number: G01N27/223
Abstract: PURPOSE: A capacitive humidity sensor and a manufacturing method thereof are provided to miniaturize a humidity sensor by forming a sensor on a ROIC(Readout Integrated Circuit) substrate. CONSTITUTION: A capacitive humidity sensor comprises a ROIC substrate(210), a metal layer(220), an insulating layer(230), a lower electrode layer(240), a moisture detecting layer(250), an upper electrode layer(260) and a connection layer(270). The ROIC substrate includes an electrode pad The metal layer is formed at the top of the ROIC substrate. The insulating layer is formed at the top of the metal layer. The lower electrode layer is formed at the top of the insulating layer. In order to widen the surface area of the top of the lower electrode layer, the moisture detecting layer is etched. The upper electrode layer is formed at the top of the moisture detecting layer. The connection layer enables each of the lower electrode layer and the upper electrode layer to be contacted with the electrode pad.
Abstract translation: 目的：提供一种电容式湿度传感器及其制造方法，用于通过在ROIC（读出集成电路）基板上形成传感器来使湿度传感器小型化。 构成：电容式湿度传感器包括ROIC衬底（210），金属层（220），绝缘层（230），下电极层（240），水分检测层（250），上电极层 ）和连接层（270）。 ROIC衬底包括电极焊盘金属层形成在ROIC衬底的顶部。 绝缘层形成在金属层的顶部。 下电极层形成在绝缘层的顶部。 为了加宽下部电极层的顶部的表面积，对水分检测层进行蚀刻。 上部电极层形成在水分检测层的顶部。 连接层使得下电极层和上电极层中的每一个能够与电极焊盘接触。
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公开(公告)号：KR100889332B1
公开(公告)日：2009-03-26
申请号：KR1020070068369
申请日：2007-07-06
Abstract: 본 발명은 히팅 구조물의 발열효율을 향상시키기 위한 탄소나노튜브를 구비한 마이크로 히터를 제공함에 그 목적이 있다.
본 발명의 탄소나노튜브를 구비한 마이크로 히터는 MEMS 공정을 이용하여 형성한 마이크로 히터에 있어서, 외부에서 인가된 전압을 이용하여 열을 방출하기 위해 기판과 이격되어 형성된 히팅 구조물; 상기 히팅구조물 상부에 형성되어 산화현상을 방지하는 패시배이션층; 상기 히팅 구조물 상부에 형성되어 발열효율을 향상시키기 위한 탄소나노튜브; 상기 히팅 구조물로부터 방출되는 열을 반사시키기 위하여 상기 기판 상에 박막 형태로 형성된 반사판; 상기 히팅 구조물 하부에 진공상태로 형성된 캐비티; 및 상기 히팅 구조물에 전압을 인가하기 위한 전극 패드를 포함한다.
마이크로, 히터, 반사판, 탄소, 나노, 튜브
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