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公开(公告)号：KR1020070028198A
公开(公告)日：2007-03-12
申请号：KR1020050083448
申请日：2005-09-07
IPC: H01L23/48
CPC classification number: H01L2224/81 , H01L24/27 , H01L21/47573 , H01L21/7806 , H01L23/481 , H01L24/28
Abstract: A wafer level package and its manufacturing method are provided to increase wall illumination and to have a vertical shape of a hole by manufacturing a through-hole using photoresist. A pillar is formed on an upper substrate(300). A seed layer is deposited on a lower substrate(310). A photoresist(320) is applied to the seed layer. An MEMS(Micro Electrical Mechanical System) structure(350) is mounted on the photoresist. A junction unit(340) couples the upper substrate to the lower substrate. The upper substrate and the lower substrate is one of glass, ceramic, and silicon. The photoresist includes a pillar(330) on an upper portion thereof. Plural through holes are formed on the photoresist. A metal line is formed in a through-hole(360).
Abstract translation: 提供晶片级封装及其制造方法以通过使用光致抗蚀剂制造通孔来增加壁照明并且具有孔的垂直形状。 在上基板（300）上形成有支柱。 种子层沉积在下基板（310）上。 将光致抗蚀剂（320）施加到种子层。 MEMS（微机电系统）结构（350）安装在光致抗蚀剂上。 接合单元（340）将上基板耦合到下基板。 上基板和下基板是玻璃，陶瓷和硅之一。 光致抗蚀剂包括在其上部的支柱（330）。 在光致抗蚀剂上形成多个通孔。 金属线形成在通孔（360）中。
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公开(公告)号：KR100890914B1
公开(公告)日：2009-04-08
申请号：KR1020070065524
申请日：2007-06-29
Abstract: 본 발명은 고해상도의 조향각 검출 장치에 관한 것으로, 보다 자세하게는 멀티 마그네트 디스크를 이용하여 절대 조향각을 측정함으로써, 백래쉬 현상으로 발생하는 히스테리시스 오차를 제거하여 고정밀의 조향각을 측정할 수 있는 고해상도의 조향각 검출 장치에 관한 것이다.
본 발명의 고해상도의 조향각 검출 장치는, 조향축과 연결되도록 중심부가 형성되고 양면에 자석을 부착한 멀티 마그네트 디스크; 및 상기 자석에 의해 형성되는 자기장을 측정하기 위한 홀센서를 포함하여 구성되고, 상기 홀센서에 의해 측정된 정현파를 이용하여 조향각을 계산함에 기술적 특징이 있다.
따라서, 본 발명의 고해상도의 조향각 검출 장치는 기어를 사용하지 않고 멀티 마그네트 디스크를 이용하여 조향각을 측정함으로써 백래쉬 현상으로 발생하는 히스테리시스 오차를 제거하여 고정밀의 조향각을 측정할 수 있고, 멀티 마그네트 디스크의 자석 갯수를 조절함으로써 고해상도의 조향각을 측정할 수 있도록 하는 현저하고도 유리한 효과가 있다.
조향각, 센서, 백래쉬, 멀티 마그네트.-
公开(公告)号：KR100889332B1
公开(公告)日：2009-03-26
申请号：KR1020070068369
申请日：2007-07-06
Abstract: 본 발명은 히팅 구조물의 발열효율을 향상시키기 위한 탄소나노튜브를 구비한 마이크로 히터를 제공함에 그 목적이 있다.
본 발명의 탄소나노튜브를 구비한 마이크로 히터는 MEMS 공정을 이용하여 형성한 마이크로 히터에 있어서, 외부에서 인가된 전압을 이용하여 열을 방출하기 위해 기판과 이격되어 형성된 히팅 구조물; 상기 히팅구조물 상부에 형성되어 산화현상을 방지하는 패시배이션층; 상기 히팅 구조물 상부에 형성되어 발열효율을 향상시키기 위한 탄소나노튜브; 상기 히팅 구조물로부터 방출되는 열을 반사시키기 위하여 상기 기판 상에 박막 형태로 형성된 반사판; 상기 히팅 구조물 하부에 진공상태로 형성된 캐비티; 및 상기 히팅 구조물에 전압을 인가하기 위한 전극 패드를 포함한다.
마이크로, 히터, 반사판, 탄소, 나노, 튜브-
公开(公告)号：KR1020090001273A
公开(公告)日：2009-01-08
申请号：KR1020070065524
申请日：2007-06-29
Abstract: A steering angle detecting device of high resolution is provided to measure a steering angle with high precision by means of a multi-magnet disc by removing hysteresis errors generated by backlash phenomena. A multi-magnet disc(200) is connected to a steering wheel in the center and attached with magnets(210) at both side surfaces. Hall sensors(230) measure magnetic fields generated by the magnets. A steering angle is calculated by using sine lines measured by the hall sensors.
Abstract translation: 提供高分辨率的转向角检测装置，通过消除由间隙现象产生的滞后误差，借助于多磁盘来高精度地测量转向角。 多磁盘（200）连接到中心的方向盘并且在两个侧表面处附接有磁体（210）。 霍尔传感器（230）测量由磁体产生的磁场。 通过使用由霍尔传感器测量的正弦线来计算转向角。
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公开(公告)号：KR100859669B1
公开(公告)日：2008-09-23
申请号：KR1020060109862
申请日：2006-11-08
IPC: H03K17/96
Abstract: 본 발명은 카운터부에서 측정된 신호를 저장할 수 있는 카운터 저장부를 구비하여, 카운터부에서 측정된 신호와 카운터 저장부에 저장된 신호의 차이값을 이용함으로써, 입력 커패시턴스의 경시변화 또는 주변 환경에 변화에 의한 커패시턴스의 증감을 자동 보정하여 안정적인 동작이 가능하게 하는 터치센서를 제공함에 목적이 있다.
본 발명의 터치센서는 감지된 정전용량의 변화를 전기 신호로 변환하여 출력하기 위한 신호발생부; 상기 신호발생부에서 발생한 전기 신호를 측정하여 상기 전기 신호의 현재 주파수의 크기를 출력하기 위한 카운터부; 상기 카운터부에서 측정된 상기 전기 신호의 이전에 발생한 전기 신호를 카운트한 직전 주파수의 크기를 출력하기 위한 직전 카운트부; 상기 현재 주파수의 크기와 상기 직전 주파수의 크기를 차감하기 위한 감산 처리부; 및 상기 감산 처리부로부터 출력되는 차감 카운트 신호와 카운트 신호를 비교하기 위한 비교 처리부를 포함한다.
센서, 정전용량, 커패시터, 스위치-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020080041799A
公开(公告)日：2008-05-14
申请号：KR1020060109862
申请日：2006-11-08
IPC: H03K17/96
CPC classification number: H03K17/962 , H03K2217/960745
Abstract: A touch sensor is provided to prevent wrong operation due to capacitance change caused by noise by removing the noise with a filter unit and delaying a contact signal at a predetermined time with a delay unit. A touch sensor includes a signal generation unit(120), a counter unit(130), a previous count unit(140), a subtraction process unit(150), and a comparison process unit(170). The signal generation unit converts change of sensed electrostatic capacity into an electric signal(S1) to output the electric signal. The counter unit outputs a size of a current frequency(Cn) of the electric signal by measuring the electric signal generated from the signal generation unit for a predetermined time. The just previous count unit outputs a size of a just previous frequency(Cn-1) counted just before counting the size of the frequency outputted from the counter unit prior to a predetermined interval. The subtraction process unit subtracts the size of the current frequency and the size of the just previous frequency. The comparison process unit compares a subtracted count signal outputted from the subtraction process unit with a predetermined reference count signal.
Abstract translation: 提供了一种触摸传感器，用于通过用滤波器单元去除噪声并且用延迟单元在预定时间延迟接触信号来防止由噪声引起的电容变化引起的错误操作。 触摸传感器包括信号产生单元（120），计数器单元（130），先前计数单元（140），减法处理单元（150）和比较处理单元（170）。 信号发生单元将感测到的静电电容的变化转换成电信号（S1）以输出电信号。 计数器单元通过测量从信号生成单元产生的电信号预定时间来输出电信号的当前频率（Cn）的大小。 正好在前的计数单元输出在计数在预定间隔之前从计数器单元输出的频率的大小之前计数的刚刚前一个频率（Cn-1）的大小。 减法处理单元减去当前频率的大小和前一个频率的大小。 比较处理单元将从减法处理单元输出的减法计数信号与预定的基准计数信号进行比较。
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公开(公告)号：KR100765149B1
公开(公告)日：2007-10-15
申请号：KR1020050093483
申请日：2005-10-05
CPC classification number: H04R19/016 , H04R19/005 , H04R31/003 , H04R2201/029 , H04R2499/11
Abstract: A micro acoustic sensing apparatus and a manufacturing method thereof are provided to reduce the size of a die even with an anisotropic wet-type etching process since the shape of a vibration plate does not depend on the etching shape of a silicon substrate. A micro acoustic sensing apparatus includes a substrate unit(500), a backplate unit(510), and a vibration plate unit(520). The substrate unit(500) has a hole at the center thereof. The backplate unit(510) is formed on the substrate unit(500), is composed of an insulation film and a first conductive thin film, and has a plurality of holes at a place corresponding to the center of the substrate unit(500). The circumferential part of the vibration plate unit(520) is contacted to the insulation film of the backplate unit(510), and the central part thereof is separated from the center of the backplate unit(510) by a predetermined distance. The vibration plate unit(520) is composed of a second conductive thin film.
Abstract translation: 提供了一种微声感测装置及其制造方法，即使采用各向异性湿式蚀刻工艺也能减小模具的尺寸，因为振动板的形状不依赖于硅衬底的蚀刻形状。 微声传感装置包括基板单元（500），背板单元（510）和振动板单元（520）。 基板单元（500）在其中心具有孔。 背板单元（510）形成在基板单元（500）上，由绝缘膜和第一导电薄膜构成，并且在与基板单元（500）的中心对应的位置具有多个孔。 振动板单元（520）的圆周部分与背板单元（510）的绝缘膜接触，其中心部分与背板单元（510）的中心分开预定距离。 振动板单元（520）由第二导电薄膜构成。
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公开(公告)号：KR1020090004281A
公开(公告)日：2009-01-12
申请号：KR1020070068369
申请日：2007-07-06
Abstract: A micro heater including the carbon nanotube is provided to improve the IR heat generation characteristic by forming the carbon nanotube on the top of the heating structure. A heating structure(250) is formed on a substrate. The heat is radiated from the heating structure by using the voltage applied from the outside. A reflector is formed between the lower part of the heating structure and the substrate. The heat emitted from the heating structure is reflected by the reflector. The carbon nanotube is formed on the upper section of heating structure. The voltage is applied to the heating structure through an electrode pad(260).
Abstract translation: 提供了包括碳纳米管的微加热器，以通过在加热结构的顶部形成碳纳米管来提高IR发热特性。 在基板上形成加热结构（250）。 通过使用从外部施加的电压，从加热结构辐射热量。 在加热结构的下部和基板之间形成反射器。 从加热结构发出的热量被反射器反射。 碳纳米管形成在加热结构的上部。 电压通过电极焊盘（260）施加到加热结构。
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公开(公告)号：KR1020090004279A
公开(公告)日：2009-01-12
申请号：KR1020070068367
申请日：2007-07-06
IPC: B81B7/02
Abstract: A micro heater having reflection thin film is provided to improve calorific efficiency by reflecting heat generated from the lower part of a heating structure, and dissipating it to the outside. A micro heater having reflection thin film comprises a heating structure(250), formed on the substrate, in order to dissipate heat using the voltage applied from outside; a reflecting plate formed on the substrate in order to reflect heat emitted from the heating structure; and an electrode pad applying voltage to the heating structure.
Abstract translation: 提供具有反射薄膜的微加热器，通过反射从加热结构的下部产生的热量并将其散发到外部来提高发热效率。 具有反射薄膜的微加热器包括形成在基板上的加热结构（250），以便使用从外部施加的电压来散热; 反射板，形成在基板上，以便反射从加热结构发出的热量; 以及向加热结构施加电压的电极焊盘。
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公开(公告)号：KR1020090004274A
公开(公告)日：2009-01-12
申请号：KR1020070068357
申请日：2007-07-06
IPC: G01N21/3504 , G01N21/35 , G01N21/00
Abstract: A semiconductor type gas sensor and method for manufacturing the same is provided to compact the size of a sensor by mounting structures forming a gas sensor on a single substrate. A semiconductor type gas sensor comprises an infrared light emitting diode(120), an infrared temperature measuring part(130) measuring temperature of the infrared light emitting diode; and at least one or more infrared photo receivers(140) receiving infrared ray emitted from the infrared light emitting diode. The infrared temperature measuring part and the sensing material of the infrared photo receiver is made from identical material.
Abstract translation: 提供一种半导体式气体传感器及其制造方法，用于通过在单个基板上安装形成气体传感器的结构来压缩传感器的尺寸。 半导体型气体传感器包括红外发光二极管（120），测量红外发光二极管的温度的红外测温部（130） 以及接收从红外发光二极管发射的红外线的至少一个或多个红外光电接收器（140）。 红外测温部件和红外光电接收器的传感材料由相同的材料制成。
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