公开(公告)号：KR100573931B1

公开(公告)日：2006-04-26

申请号：KR1020050090031

申请日：2005-09-27

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 강전홍 ,  유광민 ,  김한준 ,  류제천 ,  한상옥

IPC: G03F7/00 ,  G01R33/00

Abstract: 본 발명은 저항측정 기기의 정확도를 검증하기 위한 면저항 인증표준물질 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 다양한 종류의 면저항 측정기기에서 활용 가능하며 부피가 아주 작아 FPP(Four Point Probe:4탐침)용 정밀기기의 저항측정 정확도의 검증에 적합한 면저항 인증표준물질 제조방법에 관한 것이다.
이를 위해 본 발명은 세척된 원형의 절연기판에 서로 이격되게 다수개소의 전극을 인쇄하는 단계와; 인쇄된 전극이 원형의 절연기판에 고착되도록 소성시키는 단계와; 상기 이격되어 인쇄된 두 개소의 전극별로 단부 간에 전기적으로 연결되도록 저항을 인쇄하는 단계와; 상기 인쇄된 저항이 원형의 절연기판상에 고착되도록 소성시키는 단계와; 상기 원형의 절연기판상에 고착된 저항을 레이저로 깍아 저항값을 조정하여 목적하는 저항값을 가지도록 트리밍하는 단계와; 상기 인쇄된 전극과 저항을 외부로부터 보호하기 위한 보호막을 인쇄하되, 저항측정 정확도를 검증하기 위한 측정기기의 측정단자와 전기적으로 연결되도록 전극의 일정부분이 외부로 노출되도록 인쇄하는 단계와; 상기 보호막상에 목적하는 문자 또는 이미지를 마킹하는 단계와; 상기 전극의 일정부분이 외부로 노출되도록 인쇄한 후에 상기 노출되는 전극의 일정부분 상에는 전극의 산화방지 및 측정 신뢰도 향상을 위해 금속도금하는 단계를 포함하여 이루어진다.
인증표준물질, CRM, PR공정, 전극, 저항

Abstract translation: 本发明涉及一种制造用于验证电阻测量仪器的精度的薄层电阻认证标准的方法，更具体地涉及使用FPP（四点探针）的薄层电阻测量设备， 本发明涉及一种适于验证精密仪器的电阻测量精度的片材认证用标准材料的制造方法。