公开(公告)号：KR1020160092947A

公开(公告)日：2016-08-05

申请号：KR1020160010440

申请日：2016-01-28

Applicant: 한국화학연구원

Inventor： 이상진 ,  이재흥 ,  최우진 ,  김철환 ,  김성현 ,  조성근 ,  함동석 ,  김광제 ,  박동순 ,  박재성

IPC: C23C14/34 ,  C23C14/06 ,  C23C14/12 ,  C23C14/08 ,  C23C14/14 ,  H01B1/04 ,  H01B1/12

Abstract: 본발명에따른 RF 스퍼터링용불소계고분자복합타겟은전압을인가하는금속전극과의접합력이우수하고, 휨발생을억제할수 있으며, 전도성을부여함으로써향상된플라즈마형성이가능하여불소계고분자의절연파괴를방지및 우수한증착율을나타낼수 있다.

Abstract translation: 本发明涉及用于沉积的氟聚合物复合靶。 根据本发明，用于射频（RF）溅射的氟聚合物复合靶在与施加电压相关的金属电极的粘合性方面优异，并且防止弯曲形成。 此外，通过施加电导率也可以产生更加增强的等离子体。 因此，氟聚合物复合材料靶材防止含氟聚合物的电击穿，同时显示出优异的沉积速率。 为此，通过模塑含有选自氟聚合物，导电性功能剂和金属化合物中的至少一种成分的混合物来制造含氟聚合物复合靶。

公开(公告)号：KR1020160092904A

公开(公告)日：2016-08-05

申请号：KR1020150131751

申请日：2015-09-17

Applicant: 한국화학연구원

Inventor： 이상진 ,  이재흥 ,  최우진 ,  김철환 ,  김성현 ,  조성근 ,  함동석 ,  김광제 ,  박동순 ,  박재성

IPC: C23C14/34 ,  C23C14/06 ,  C23C14/12 ,  C23C14/08 ,  C23C14/14

Abstract: 본발명에따른 RF 스퍼터링용불소계고분자복합타겟은전압을인가하는금속전극과의접합력이우수하고, 휨발생을억제할수 있으며, 전도성을부여함으로써향상된플라즈마형성이가능하여불소계고분자의절연파괴를방지및 우수한증착율을나타낼수 있다.

Abstract translation: 本发明涉及用于沉积的氟聚合物复合靶。 根据本发明，用于射频（RF）溅射的含氟聚合物复合靶在与施加电压相关的金属电极的粘合中是优异的，并且防止弯曲形成。 此外，通过施加电导率也可以产生更加增强的等离子体。 因此，氟聚合物复合材料靶材防止含氟聚合物的电击穿，同时显示出优异的沉积速率。 为此，通过模塑含有选自氟聚合物，导电颗粒，导电聚合物，金属组分和金属化合物中的至少一种官能剂的混合物来制备含氟聚合物复合靶。