公开(公告)号：EP2884264A4

公开(公告)日：2016-08-31

申请号：EP13827643

申请日：2013-08-09

Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK

Inventor： SHIBAYAMA KATSUMI ,  ITO MASASHI ,  YOKINO TAKAFUMI ,  HIROSE MASAKI ,  YOSHIDA ANNA ,  OFUJI KAZUTO ,  MARUYAMA YOSHIHIRO ,  KASAHARA TAKASHI ,  KAWAI TOSHIMITSU ,  HIROHATA TORU ,  KAMEI HIROKI ,  OYAMA HIROKI

IPC: G01N21/65 ,  B82Y40/00

CPC classification number: G01N21/658 ,  B82Y40/00 ,  G01N21/03 ,  G01N2021/651

Abstract: A SERS element 2 comprises a substrate 21 having a front face 21 a; a fine structure part 24 formed on the front face 21a and having a plurality of pillars 27; and a conductor layer 23 formed on the fine structure part 24 and constituting an optical function part 20 for generating surface-enhanced Raman scattering. The conductor layer 23 has a base part 28 formed along the front face 21 a and a plurality of protrusions 29 protruding from the base part 28 at respective positions corresponding to the pillars 27. The base part 28 has a thickness greater than the height of the pillars 27.

公开(公告)号：EP2884266A4

公开(公告)日：2016-08-10

申请号：EP13828340

申请日：2013-08-09

Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK

Inventor： ITO MASASHI ,  SHIBAYAMA KATSUMI ,  KASAHARA TAKASHI ,  MARUYAMA YOSHIHIRO

IPC: G01N21/65 ,  B82Y15/00 ,  B82Y40/00

CPC classification number: G01J3/0205 ,  G01J3/4412 ,  G01N21/658 ,  Y10T29/49155

Abstract: A method for making a surface enhanced Raman scattering element in accordance with one aspect of the present invention comprises a first step of forming a nanoimprint layer on a main surface of a wafer including a plurality of portions each corresponding to a substrate; a second step of transferring, by using a mold having a pattern corresponding to a fine structural part, the pattern to the nanoimprint layer after the first step, and thereby forming the molded layer including the fine structural part for each portion corresponding to the substrate; a third step of forming a conductor layer on the fine structural part after the second step; and a fourth step of cutting the wafer into each portion corresponding to the substrate after the second step.

公开(公告)号：JP2019095670A

公开(公告)日：2019-06-20

申请号：JP2017226096

申请日：2017-11-24

Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK

Inventor： HIROSE MAKI ,  SHIBAYAMA KATSUMI ,  KASAHARA TAKASHI ,  KAWAI TOSHIMITSU ,  OYAMA YASUO ,  KURAMOTO YUMI

IPC: G02B26/00 ,  B81C3/00 ,  B81C99/00

Abstract: 【課題】ファブリペロー干渉フィルタに付着した異物を効果的に除去することができ、歩留まりを向上させる。【解決手段】一実施形態の異物除去方法は、互いに対向する第1積層体22の少なくとも第1ミラー部31を含む部分と第2積層体24の少なくとも第2ミラー部32を含む部分との間に空隙Sが形成されることで、互いに対向する第1ミラー部31と第2ミラー部32との間の距離が静電気力によって変化するように構成されたファブリペロー干渉フィルタ1を用意する工程と、第2積層体24の表面24aに付着した異物Fを検出する工程と、検出された異物Fの位置に基づいて気流ピークの位置が調整されたエアーを第2積層体24の表面24aに吹き付けることにより、第2積層体24の表面24aから異物Fを除去する工程と、を含む。【選択図】図14

公开(公告)号：JP2019095668A

公开(公告)日：2019-06-20

申请号：JP2017226092

申请日：2017-11-24

Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK

Inventor： KASAHARA TAKASHI ,  SHIBAYAMA KATSUMI ,  HIROSE MAKI ,  KAWAI TOSHIMITSU ,  OYAMA YASUO ,  KURAMOTO YUMI

IPC: G02B26/00 ,  B81B3/00 ,  B81C99/00 ,  G02B5/28 ,  H01L21/66

Abstract: 【課題】複数のファブリペロー干渉フィルタを効率良く且つ歩留まり良く得ることを可能にする電気的検査方法を提供する。【解決手段】電気的検査方法は、互いに対向する第1ミラー部と第2ミラー部との間の距離が静電気力によって変化する複数のファブリペロー干渉フィルタ部が構成されたウェハ100を用意するステップと、各ファブリペロー干渉フィルタ部の電気的特性を検査するステップと、を備える。【選択図】図14

公开(公告)号：JP2013080830A

公开(公告)日：2013-05-02

申请号：JP2011220177

申请日：2011-10-04

Applicant: Hamamatsu Photonics Kk ,  浜松ホトニクス株式会社

Inventor： SHIBAYAMA KATSUMI ,  KASAHARA TAKASHI

IPC: H01L31/0232 ,  G01J3/02 ,  G01J3/26 ,  G01J3/36 ,  G02B5/28

CPC classification number: H01L31/1896 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0259 ,  G01J3/26 ,  G01J3/2803 ,  G01J3/36 ,  G01J2003/1234 ,  G02B5/28 ,  G02B5/284 ,  H01L31/0232

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing a spectroscopic sensor, by which a highly reliable spectroscopic sensor can be obtained.SOLUTION: A method for manufacturing a spectroscopic sensor 1 comprises: a first step of forming a cavity layer 21 by etching a surface layer provided on a handle substrate; a second step of forming a first mirror layer 22 on the cavity layer 21 after the first step; a third step of bonding a light-transmissive substrate 3 onto the first mirror layer 22 after the second step; a fourth step of removing the handle substrate from the cavity layer 21 after the third step; a fifth step of forming a second mirror layer 23 on the cavity layer 21 from which the handle substrate has been removed, after the fourth step; and a sixth step of bonding a light detection substrate 4 onto the second mirror layer after the fifth step.

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种用于制造光谱传感器的方法，通过该方法可以获得高度可靠的分光传感器。 解决方案：用于制造分光传感器1的方法包括：通过蚀刻设置在手柄基板上的表面层来形成空腔层21的第一步骤; 在第一步骤之后在空腔层21上形成第一镜面层22的第二步骤; 在第二步骤之后将透光性基板3接合到第一镜面层22上的第三工序; 在第三步骤之后从腔层21去除手柄基板的第四步骤; 在第四步骤之后，在去除手柄基板的空腔层21上形成第二镜面层23的第五步骤; 以及在第五步骤之后将光检测基板4接合到第二镜面层上的第六步骤。 版权所有（C）2013，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP2013079873A

公开(公告)日：2013-05-02

申请号：JP2011220181

申请日：2011-10-04

Applicant: Hamamatsu Photonics Kk ,  浜松ホトニクス株式会社

Inventor： SHIBAYAMA KATSUMI ,  KASAHARA TAKASHI

IPC: G01J3/26 ,  G01J3/36

CPC classification number: G01J3/45 ,  G01J3/0259 ,  G01J3/26 ,  G01J3/2803 ,  G01J3/36 ,  G01J3/513 ,  G01J2003/1234 ,  G01J2003/2806 ,  G01J2003/2816

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a spectral sensor having high reliability.SOLUTION: A spectral sensor 1 comprises: an interference filter part 20 having a cavity layer 21 and first and second mirror layers 22, 23 facing each other with the cavity layer 21 interposed therebetween and selectively transmitting light in a predetermined wavelength range according to an incident position; a light transmission substrate 3 being arranged on the side of the first mirror layer 22 and transmitting light incident to the interference filter part 20; a light detection substrate 4 being arranged on the side of the second mirror layer 23 and detecting light having transmitted the interference filter part 20; and a first coupling layer 11 arranged between the interference filter part 20 and the light transmission substrate 3. The cavity layer 21 and the first coupling layer 11 are silicone oxide films.

Abstract translation: 要解决的问题：提供具有高可靠性的光谱传感器。 解决方案：光谱传感器1包括：干涉滤光器部分20，其具有空腔层21和彼此面对的第一和第二反射镜层22,23，空腔层21插入其间，并根据以下方式选择性地透射预定波长范围的光 到事件位置; 光传输基板3布置在第一镜层22的一侧并透射入射到干涉滤光器部分20的光; 光检测基板4配置在第二镜面层23的一侧，检测出透过了干涉滤光镜部20的光; 以及布置在干涉滤光器部分20和透光基片3之间的第一耦合层11.空腔层21和第一耦合层11是氧化硅膜。 版权所有（C）2013，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP2013033067A

公开(公告)日：2013-02-14

申请号：JP2012248741

申请日：2012-11-12

Applicant: Hamamatsu Photonics Kk ,  浜松ホトニクス株式会社

Inventor： SHIBAYAMA KATSUMI ,  KASAHARA TAKASHI ,  YOSHIDA ANNA

IPC: G01J3/04 ,  G01J3/18 ,  G01J3/36

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a highly reliable spectroscopic module.SOLUTION: In a spectroscopic module 1 according to the present invention, when light L1 traveling to a spectroscopic part 4 passes through a light passage hole 50, only light which has passed through a light incident side part 51 tapered toward a side of the spectroscopic part 4 and which has been incident onto a light emission side part 52 formed so as to be opposed to a bottom surface 51b of the light incident side part 51 is emitted from a light emission opening 52a. Since stray light M incident onto a side surface 51c and the bottom surface 51b of the light incident side part 51 is therefore reflected to a side opposite to the light emission side part 52, it is possible to reduce incidence of the stray light onto the light emission side part 52. It is therefore possible to improve reliability of the spectroscopic module 1.

Abstract translation: 要解决的问题：提供高度可靠的分光模块。 解决方案：在根据本发明的分光模块1中，当到达分光部分4的光L1通过光通过孔50时，仅通过光入射侧部分51的光朝向 从光入射侧部分51a射出分光部分4并入射到与光入射侧部分51的底面51b相对形成的发光侧部分52上。 因为入射到侧面51c和光入射侧部分51的底面51b的杂散光M因此被反射到与发光侧部分52相对的一侧，所以可以减少杂散光对光的入射 因此可以提高光谱模块1的可靠性。版权所有：（C）2013，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP2009300417A

公开(公告)日：2009-12-24

申请号：JP2008311020

申请日：2008-12-05

Applicant: Hamamatsu Photonics Kk ,  浜松ホトニクス株式会社

Inventor： SHIBAYAMA KATSUMI ,  YOSHINO TAKAFUMI ,  KASAHARA TAKASHI ,  ITO MASASHI ,  UI ANNA

IPC: G01J3/18 ,  G01J3/36 ,  G02B7/00

CPC classification number: G01J3/02 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0243 ,  G01J3/0256 ,  G01J3/0259 ,  G01J3/0286 ,  G01J3/0297 ,  G01J2003/1213 ,  G02B5/1814 ,  G02B7/025 ,  Y10T156/10

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a spectroscopic module manufacturing method and a spectroscopic module capable of making light appropriately incident onto a main body part. SOLUTION: A photo-detection unit 10 constituted by pasting a photo-detection element 5 and a light transmission plate 56 to each other is pasted to the front surface 2a of a substrate 2 by an optical plastic agent 63 in the method for manufacturing the spectroscopic module 1. Since a light passage hole 50 of the photo-detection element 5 is covered with the light transmission plate 56 at this time, the optical plastic agent 63 is prevented from entering the light passage hole 50. Since the light passage hole 50 is formed in a semiconductor substrate 91 after the semiconductor substrate 91 provided with a photo-detection part 5a and the light transmission plate 56 are pasted to each other at the preparation of the photo-detection unit 10, it is possible to reliably prevent anything that could cause the occurrence of refraction, scattering, etc. from entering the light passage hole 50. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种能够适当地入射到主体部分上的光的光谱模块制造方法和分光模块。 解决方案：通过将光检测元件5和透光板56彼此粘贴而构成的光检测单元10通过光学塑料剂63粘贴到基板2的前表面2a上， 由于光检测元件5的光通过孔50此时被透光板56覆盖，所以防止光学塑料剂进入光通路孔50.由于光通过 在准备光电检测单元10时，在设置有光检测部分5a和透光板56的半导体基板91彼此粘贴之后，在半导体基板91中形成孔50，可以可靠地防止 任何可能导致折射，散射等进入光通过孔50的物体。（C）2010，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP2015011311A

公开(公告)日：2015-01-19

申请号：JP2013138867

申请日：2013-07-02

Applicant: 浜松ホトニクス株式会社 ,  Hamamatsu Photonics Kk

Inventor： SHIBAYAMA KATSUMI ,  KASAHARA TAKASHI ,  HIROSE MAKI ,  KAWAI TOSHIMITSU

IPC: G02B26/00

CPC classification number: G02B26/001 ,  G01J3/26

Abstract: 【課題】所望の波長を有する光を好適に透過させることができるファブリペロー干渉フィルタを提供する。【解決手段】ファブリペロー干渉フィルタ10Aは、第1ミラー31と、空隙Sを介して第1ミラー31と対向する第2ミラー41と、光透過領域11を囲むように第1ミラー31に形成された第1電極17と、光透過領域11を含むように第1ミラー31に形成された第2電極18と、第1電極17及び第2電極18と対向するように第2ミラー41に形成され、第2電極18と同電位に接続された第3電極19と、を備え、第2電極18は、第1ミラー31と第2ミラー41とが対向する対向方向Dにおいて、第1電極17に対して第3電極19側又はその反対側に位置している。【選択図】図2

Abstract translation: 要解决的问题：提供能够最佳地透射所需波长的光的法布里 - 珀罗干涉滤光器。解决方案：法布里 - 珀罗干涉滤光片10A包括： 第一反射镜31; 面对第一反射镜31的第二反射镜41，其间具有气隙S; 形成在第一反射镜31上以围绕透光区域11的第一电极17; 形成在第一反射镜31上以包括透光区域11的第二电极18; 以及形成在第二反射镜41上以面对第一电极17和第二电极18并且连接到与第二电极18相同的电位的第三电极19.第二电极18位于第三电极19侧或第 相对于第一电极17在第一反射镜31和第二反射镜41彼此面对的相对方向D上相对。

公开(公告)号：JP2013092541A

公开(公告)日：2013-05-16

申请号：JP2013030219

申请日：2013-02-19

Applicant: Hamamatsu Photonics Kk ,  浜松ホトニクス株式会社

Inventor： SHIBAYAMA KATSUMI ,  KASAHARA TAKASHI ,  YOSHIDA ANNA

IPC: G01J3/04 ,  G01J3/18 ,  G01J3/36

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a spectroscopic module which is highly reliable.SOLUTION: A spectroscopic module 1 is so configured that when light L1 traveling to a spectroscopic part 4 passes through a light passage hole 50, and only light which passes through a light incidence-side part 51 which is tapered toward the side of the spectroscopic part 4, and enters a light projection-side part 52 formed opposite to a bottom surface 51b of the light incidence-side part 51 is emitted from a light exit opening 52a. Consequently, stray light M made incident on a side face 51c and the bottom surface 51b of the light incidence-side part 51 is reflected to the opposite side from the light projection-side part 52, so the stray light is stopped from entering the light projection-side part 52. Therefore, the spectroscopic module 1 can be improved in reliability.

Abstract translation: 要解决的问题：提供高度可靠的光谱模块。 解决方案：分光模块1被配置成当光分路部分4的光L1通过光通过孔50时，仅通过光入射侧部分51的光，该光入射侧部分51朝向 从光出射口52a射出分光部4，并入射到与入射侧部51的底面51b相反形成的光投射侧部52。 因此，入射在光入射侧部分51的侧面51c和底面51b上的杂散光M被反射到与光投射侧部分52相反的一侧，使得杂散光停止进入光 因此，能够提高分光模块1的可靠性。 版权所有（C）2013，JPO＆INPIT