具有防破损功能的基板处理系统

    公开(公告)号:CN104380485A

    公开(公告)日:2015-02-25

    申请号:CN201280073999.1

    申请日:2012-06-22

    CPC classification number: H01J37/32807 B01J3/002 C23C14/06 C23C14/243

    Abstract: 本发明涉及一种具有防破损功能的基板处理系统,本发明的具有防破损功能的基板处理系统包含:流体罐,可储存流体;腔室,提供从所述流体罐接收流体而处理基板的空间;管道,将所述流体罐与所述腔室彼此连接,从而使所述流体能够流动;和防破损部,应对所述管道随着所述流体的流动接收热量而产生的热膨胀,能够改变所述流体罐的位置。由此提供一种应对管道的热膨胀引起的体积变化,能够防止流体罐的破损的具有防破损功能的基板处理系统。

    垫圈和使用该垫圈密封螺旋件的反应器及其制造方法

    公开(公告)号:CN101960250B

    公开(公告)日:2012-08-29

    申请号:CN200980108242.X

    申请日:2009-04-07

    Inventor: 徐奎铉

    Abstract: 本发明涉及垫圈、使用该垫圈密封螺旋件的反应器及其制造方法。本发明改善了反应器的螺旋件密封机构,其中,螺旋件沿长度方向连续设置在同轴排列的壳体的内筒和外壳的外筒之间以形成载热介质流路,从而能够稳定地保持螺旋件和外筒之间的密闭状态,并使反应器的制造变得容易。本发明的垫圈具有插入螺旋件(3)并与螺旋件(3)结合的结构,因此无需为了结合垫圈(10)而进行另外的二次加工。从而,由于通过将螺旋件(3)压入垫圈(10)的槽(21)中即可将垫圈(10)与螺旋件(3)结合,因此,能够简化组装作业。另外,由于垫圈(10)均匀结合在螺旋件(3)的外周,垫圈(10)中安装有由弹性材料制成的缓冲板(40)。因此,在与外筒(2)结合进行组装时能够有效防止垫圈(10)破损,并且在组装完外筒(2)后能够稳定保持螺旋件(3)和外筒(2)之间的密闭性。

    一种智能顶锤、智能六面顶压机和智能控制方法

    公开(公告)号:CN109046180A

    公开(公告)日:2018-12-21

    申请号:CN201811117593.4

    申请日:2018-09-21

    Applicant: 孙启奇

    Inventor: 孙启奇

    CPC classification number: B01J3/067 B01J3/002

    Abstract: 本发明公开了一种智能顶锤、智能六面顶压机和智能控制方法,顶锤在空间上呈立体六面形状对称分布,顶锤分为固定顶锤和活动顶锤,所述活动顶锤为相邻的或对称的两个顶锤,或者为下面的一个单独顶锤,其余的顶锤为固定顶锤,在六面顶压机中设置有智能顶锤,通过对六面顶压机进行控制,在机械手抓取人造金刚石的合成块时,固定顶锤保持不动,而活动顶锤与人造金刚石合成块分离,便于机械手抓取人造金刚石的合成块,通过活动顶锤和固定顶锤之间相互配合,增加了机械手的抓取空间,实现了智能自动化生产线的无人操作,提高了工作效率并极大降低了成本。

    压力反应釜泄露防护装置
    35.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108097171A

    公开(公告)日:2018-06-01

    申请号:CN201810070744.9

    申请日:2018-01-25

    CPC classification number: B01J3/04 B01J3/002

    Abstract: 本发明公开了压力反应釜泄露防护装置,包括静轴和内腔,所述静轴呈倾斜设置,所述静轴一端连接有气鸣塞,且静轴另一端延伸入加荷环内,所述气鸣塞突出于上端盖外端,所述静轴与外输送管道相连通,所述内腔的下方设置有两根弯曲的曲杆,所述曲杆与内腔之间固定内嵌有密封条,解决了现有的压力反应釜内部高压介质不稳定危及工人生命以及财产安全,不利于安全生产的进行,内部化工物喷洒也会导致环境污染以及对资源材料的浪费的问题,该压力反应釜泄露防护装置将动静态密封相接合,疏堵兼备,均匀内部介质流动速度以及内部气压,使压力反应釜的其余结构内只需要普通的密封措施即可达到稳定的防泄露保护的目的。

    一种制备三氟甲磺酸盐水溶液的反应釜

    公开(公告)号:CN107998984A

    公开(公告)日:2018-05-08

    申请号:CN201711302736.4

    申请日:2017-12-11

    Inventor: 谈文渊

    CPC classification number: B01J3/002 B01J3/02 B01J3/03 B01J2219/00135

    Abstract: 本发明公开了一种制备三氟甲磺酸盐水溶液的反应釜,包括内胆、活塞与分气管,所述内胆的底部为球体状,且在内胆的外表面包裹有一层保温层,所述保温层的右侧固定安装计时器,所述活塞与内胆的内壁相配合,所述内胆的顶部设有与活塞相连的油缸,并在左边设有入料口,所述油缸的安装底面与活塞之间设有固定在内胆上的两个限位块,所述分气管与内胆底面半圆截面同心。本装置是针对制备三氟甲磺酸盐水溶液这种中间体而专门设计的一种化工设备,在结构上明显优于当前厂家所研制的设备,同时本发明在反应时间上通过计时器3严加控制,确保了化学反应的精准性与时效性,为使用者提供了一种高效的制备三氟甲磺酸盐水溶液的专用设备。

    一种光纤载氢装置及方法
    38.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107473580A

    公开(公告)日:2017-12-15

    申请号:CN201710855565.1

    申请日:2017-09-20

    Inventor: 谢建毫 陈涛

    CPC classification number: C03B37/10 B01J3/002 B01J3/04 B01J19/24 C03B37/07

    Abstract: 本发明涉及一种光纤载氢装置及方法,包括反应釜、气动真空泵和气动氢气增压泵;气动真空泵上设置有抽真空气体出口,抽真空气体出口通过管道与反应釜相连;气动氢气增压泵上设置有高压氢气入口和高压氢气出口,高压氢气入口通过管道与氢气瓶相连,高压氢气出口通过管道与反应釜相连;反应釜用于放置需要载氢的光纤,反应釜上设置有氢气排气管;气动真空泵对反应釜进行抽真空处理后,通过气动氢气增压泵把高压氢气注入反应釜内,完成载氢工序后通过氢气排气管把氢气排出。采用上述方案的有益效果是:分别采用不同的气门进行抽真空、注入氢气和排放氢气,保证了注入氢气之前的真空度,提高抽真空效果,确保载氢操作的安全性。

    一种真空防倒吸装置
    39.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106955751A

    公开(公告)日:2017-07-18

    申请号:CN201710317528.5

    申请日:2017-05-08

    Inventor: 刘超

    CPC classification number: B01L3/567 B01J3/002 B01J3/006 B01L3/56 B01L3/563

    Abstract: 本发明公开了一种真空防倒吸装置,包括瓶上身及其侧部的上接口,瓶下身及其侧部的下接口,设置在瓶中部的两个单向阀与套箍,所述瓶上身顶部为瓶口,所述瓶口连接真空调节阀,所述两个单向阀连在一起,均为可活动垫,一起控制气体、液体单向通过。所述套箍连接所述瓶上身与瓶下身,便于拆卸或更换单向阀。所述瓶上身侧部的上接口连接反应装置,所述瓶下身侧部的下接口连接真空水泵。本发明使用简单、方便,并且能够达到真正防止倒吸,能广泛应用到实验室各种需要真空的装置中。

    一种增强连接基件、聚四氟乙烯罐盖、复合式微晶化搪玻璃反应罐及其制造方法

    公开(公告)号:CN106914186A

    公开(公告)日:2017-07-04

    申请号:CN201710229620.6

    申请日:2017-04-10

    Applicant: 朱文华

    Inventor: 朱文华

    CPC classification number: B01J3/03 B01J3/002 B01J19/02 B01J2219/0213

    Abstract: 本发明涉及增强连接基件、聚四氟乙烯罐盖、复合式微晶化搪玻璃反应罐及其制造方法。创建罐盖内壁复衬抗腐蚀性能极强的聚四氟乙烯,罐身的铁胚制造一次精密加工成型,应用内热式电炉新设置整体分流独立程控实施受控搪烧核心技术,控制罐身内壁和大法兰面上不相同组合微晶化搪玻璃釉层的同步一体烧成。突破当代搪玻璃反应罐制造罐口公差机械冲击温差急变质量低下环节,向着质量超常免检标准转型发展。搪玻璃釉层损坏后可多次复搪整修高达新品质量标准,综合配套增强型聚四氟乙烯罐盖绝不腐蚀敦促环保亟须防患大气汚染的优势。开创制订拥有我国自主知识产权占领跨越国际标准制高点的中国新一代复合式微晶化搪玻璃反应罐“新技术质量标准”体系。

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