公开(公告)号：CN104380485A

公开(公告)日：2015-02-25

申请号：CN201280073999.1

申请日：2012-06-22

Applicant: SNU精度株式会社

Inventor： 朴翔显 ,  李东泫 ,  吴贤弼 ,  全光辰 ,  权真焕 ,  朴成镇

IPC: H01L31/18 ,  H01L21/67

CPC classification number: H01J37/32807 ,  B01J3/002 ,  C23C14/06 ,  C23C14/243

Abstract: 本发明涉及一种具有防破损功能的基板处理系统，本发明的具有防破损功能的基板处理系统包含：流体罐，可储存流体；腔室，提供从所述流体罐接收流体而处理基板的空间；管道，将所述流体罐与所述腔室彼此连接，从而使所述流体能够流动；和防破损部，应对所述管道随着所述流体的流动接收热量而产生的热膨胀，能够改变所述流体罐的位置。由此提供一种应对管道的热膨胀引起的体积变化，能够防止流体罐的破损的具有防破损功能的基板处理系统。