公开(公告)号：WO2013114738A1

公开(公告)日：2013-08-08

申请号：PCT/JP2012/082337

申请日：2012-12-13

Applicant: 株式会社カイジョー ,  杉山 晋 ,  市川 康司

Inventor： 杉山　晋

IPC: B08B3/12 ,  H01L21/304

CPC classification number: B08B3/12 ,  B06B1/0253 ,  B06B2201/71

Abstract: 【課題】電力管理の信頼性をより高めることができる超音波洗浄装置を提供する。 【解決手段】超音波洗浄装置は、被洗浄物（１１）、洗浄液（１２）、超音波振動子（１３）、発振器（１４）、電源部（１６）及び電力計（１５）を具備し、発振器（１４）は、発振部（１７）と、発振部（１７）によって発振された第１の電力が設定電力値になるように制御して超音波振動子（１３）へ出力する制御部（１８）と、制御部（１８）によって超音波振動子（１３）へ出力されている第２の電力を検出する検出部（１９）と、演算部（２０）を有し、演算部（２０）は、第１の検出電力値を補正値αによって補正した第１の補正電力値を導出し、電力計（１５）によって測定された測定電力値を補正値βによって補正した第２の補正電力値を導出し、第１の補正電力値が第２の補正電力値から一定値以上外れている場合は、第１の補正電力値が第２の補正電力値になるように補正値αを修正した修正補正値α'を記録部（２１）に記録する機能を有する。

Abstract translation: [问题]提供一种能够进一步提高电力管理的可靠性的超声波清洗装置。 [解决方案]该超声波清洗装置设有要清洁的物体（11），清洁溶液（12），超声波振动器（13），振荡器（14），电源单元（16）和电源 米（15）。 振荡器（14）具有：振荡单元（17）; 控制单元（18），其控制通过所述振荡单元（17）振荡的第一功率，使得所述第一功率处于设定功率值，并且将所述功率输出到所述超声波振荡器（13）; 检测单元（19），其通过所述控制单元（18）检测输出到所述超声波振荡器（13）的第二功率; 和计算单元（20）。 计算单元（20）具有以下功能：导出通过以收集值（α）校正第一检测功率值而获得的第一校正功率值; 得到通过用校正值（β）校正测量的功率值而获得的第二校正值，所述测量的功率值已经通过功率计（15）测量; 并且在所述第一校正功率值与所述第二校正功率值偏离固定值或更大的情况下，在记录单元（21）中记录校正校正值（α'），所述校正校正值是通过校正校正值 校正值（α），使得第一校正功率值等于第二校正功率值。

公开(公告)号：WO2012016068A2

公开(公告)日：2012-02-02

申请号：PCT/US2011045761

申请日：2011-07-28

Applicant: SEMATECH INC ,  RASTEGAR ABBAS

Inventor： RASTEGAR ABBAS

IPC: H01L21/302

CPC classification number: H01L21/67046 ,  B06B1/0276 ,  B06B1/0622 ,  B06B2201/20 ,  B06B2201/55 ,  B06B2201/71 ,  B08B3/12 ,  H01L21/02041

Abstract: An apparatus, system, and method for a Gigasonic Brush for cleaning surfaces is presented. One embodiment of the system includes an array of acoustic transducers coupled to a substrate where the individual acoustic transducers have sizes in the range of 9 um2 to 250,000 um2. The system may include a positioning mechanism coupled to at least one of a target surface or the array of acoustic transducers, and configured to position the array of acoustic transducers within 1 millimeter of a target surface. The system may also include a cleaning liquid supply arranged to provide cleaning liquid for coupling the array of acoustic transducers to the target surface. The system may further include a controller coupled to the array of acoustic transducers and configured to activate the array of acoustic transducers.

Abstract translation: 介绍了一种用于清洁表面的Gigasonic Brush的设备，系统和方法。 该系统的一个实施例包括耦合到衬底的声学换能器阵列，其中各个声学换能器的尺寸在9um2至250,000um2的范围内。 系统可以包括耦合到目标表面或声换能器阵列中的至少一个的定位机构，并且被配置为将声换能器阵列定位在目标表面的1毫米内。 系统还可以包括布置成提供用于将声换能器阵列耦合到目标表面的清洁液体的清洁液体供应。 系统还可以包括耦合到声换能器阵列并被配置为激活声换能器阵列的控制器。

公开(公告)号：WO2004087342A1

公开(公告)日：2004-10-14

申请号：PCT/JP2004/004058

申请日：2004-03-24

Applicant: 藤本 雅久

Inventor： 藤本 雅久

IPC: B06B1/12

CPC classification number: B06B1/10 ,  B06B2201/71

Abstract: 本発明に係るキャビテーション発生装置は、キャビテーション室が区画されたキャビテーションブロックを有する。キャビテーション室には、液体が充填される。キャビテーションブロックには、振動ピストンが対向配置されている。各振動ピストンは、キャビテーション室に対して進退するようにスライドする。振動ピストンは、リンク機構及びクランク機構により駆動され、所定の振幅で振動する。振動ピストンの合成振幅は、制御装置によって制御される。キャビテーションブロックには、慣性ピストンが設けられている。慣性ピストンは、キャビテーション室を望むように対向配置され、キャビテーション室に対して進退する方向に往復運動する。キャビテーション室内の液体は、循環される。循環される液体は、気水分離器により脱気される。

Abstract translation: 空化产生装置具有空化块，其中空化室被分隔。 在空化室中放置液体。 振动活塞相对设置在空化块中。 每个振动活塞滑动以接近和离开空化室。 振动活塞由连杆机构和曲柄机构驱动，并以预定的振幅振动。 振动活塞的复合振幅由控制装置控制。 在空化块中设有惯性活塞。 惯性活塞相对地布置成面对空化室并往复运动以接近和离开空化室。 空化室中的液体循环。 循环的液体通过液体分离器脱气。

公开(公告)号：WO2004001869A1

公开(公告)日：2003-12-31

申请号：PCT/US2003/019646

申请日：2003-06-20

Applicant: PUSKAS, William, L.

Inventor： PUSKAS, William, L.

IPC: H01L41/08

CPC classification number: B06B1/0269 ,  B06B1/0284 ,  B06B2201/70 ,  B06B2201/71 ,  B06B2201/72 ,  B08B3/12

Abstract: The invention utilizes a multiple frequency ultrasound generator (12) driving a multiple frequency harmonic transducer (17, 18, 19 ) to improve cleaning and processing effects while eliminating damage to parts being cleaned. An AC switch and circuitry to modify the output of an ultrasound generator in combination with techniques such as random AM and FM signals are used to produce ultrasound waves that have no single frequency components which eliminates exciting parts being cleaned into resonance.

Abstract translation: 本发明利用驱动多频谐波换能器（17,18,19）的多频超声波发生器（12）来改善清洁和处理效果，同时消除对被清洁部件的损坏。 AC开关和用于修改超声波发生器的输出以及诸如随机AM和FM信号的技术的电路用于产生没有单一频率分量的超声波，其消除被清理成谐振的兴奋部分。

公开(公告)号：WO2016054192A1

公开(公告)日：2016-04-07

申请号：PCT/US2015/053200

申请日：2015-09-30

Applicant: FLODESIGN SONICS, INC.

Inventor： LIPKENS, Bart ,  KING, Jeff ,  SOKOLOWSKI, David ,  MASI, Anthony B. ,  KENNEDY, Brian T. ,  MCCARTHY, Brian ,  ROSS-JOHNSRUD, Benjamin ,  DIONNE, Jason ,  MEALEY, Dane ,  BARNES, Jason

IPC: B01D17/00 ,  B01D21/28 ,  B01D43/00 ,  C02F1/36

CPC classification number: B01D21/283 ,  B01D17/044 ,  B01D17/06 ,  B01D19/0078 ,  B06B1/06 ,  B06B1/0622 ,  B06B1/0644 ,  B06B2201/71 ,  C12M47/04 ,  C12N13/00

Abstract: Acoustophoretic devices for separating particles from a non-flowing host fluid are disclosed. The devices include a substantially acoustically transparent container and a separation unit, with the container being placed within the separation unit. An ultrasonic transducer in the separation unit creates a planar or multi-dimensional acoustic standing wave within the container, trapping particles disposed within the non-flowing fluid and causing them to coalesce or agglomerate, then separate due to buoyancy or gravity forces.

Abstract translation: 公开了用于从非流动主流体分离颗粒的声学装置。 这些装置包括基本上声透明的容器和分离单元，容器被放置在分离单元内。 分离单元中的超声波换能器在容器内产生平面或多维声驻波，捕获设置在非流动流体内的颗粒，并使其聚结或附聚，然后由于浮力或重力而分离。

公开(公告)号：WO2015074160A1

公开(公告)日：2015-05-28

申请号：PCT/CH2014/000168

申请日：2014-11-24

Applicant: MESSERLI, Felipe, W.

Inventor： MESSERLI, Felipe, W.

IPC: B06B1/02 ,  B08B3/12

CPC classification number: B06B1/0223 ,  B06B2201/71 ,  B08B3/12

Abstract: Die Einrichtung zur Ultraschallreinigung hat zumindest einen Aktuator (7), welcher einem Becken (1) für die Aufnahme der zu reinigenden Gegenstände zugeordnet ist. Die Einrichtung hat auch ein Steuergerät (10) für die Ansteuerung des Aktuators. Das Steuergerät (10) ist so ausgeführt, dass es Schwingungen variabler Frequenz innerhalb einer grossen Bandbreite bei variabler Spannungsamplitude für verschiedene Frequenzen durch Antriebsspannungen sowie durch die Kombination von Elektroden an den Aktuatoren eines Transducers (2) liefern kann.

Abstract translation: 超声清洗该装置具有至少一个致动器（7），它是被分配用于接收所述物品要清洗的池（1）。 该装置还具有用于驱动所述致动器的控制单元（10）。 所述控制单元（10）被设计成使得其可在宽范围内的各种频率的可变电压振幅由驱动电压以及由电极对的换能器（2）的致动器的组合提供一个可变频率的振动。

公开(公告)号：WO2013010850A3

公开(公告)日：2013-08-15

申请号：PCT/EP2012063467

申请日：2012-07-10

Applicant: WEBER ULTRASONICS GMBH ,  WEBER DIETER ,  WEBER MARKUS ,  DREYER THOMAS

Inventor： WEBER DIETER ,  WEBER MARKUS ,  DREYER THOMAS

IPC: B60B1/02 ,  B08B3/12 ,  H01L41/04 ,  H02N2/00

CPC classification number: B06B1/0207 ,  B06B2201/40 ,  B06B2201/71 ,  B06B2201/74 ,  B08B3/12

Abstract: A method for operating an ultrasound device (1) is proposed, which ultrasound device (1) comprises at least one ultrasound oscillator (3) and at least one ultrasound generator (2), which ultrasound oscillator (3) is prompted to oscillate by the ultrasound generator (2), which method is distinguished in that during operation of the ultrasound device (1) a temperature (T) of the ultrasound oscillator (3) is ascertained, and in that the ascertained temperature (T) is taken as a basis for modifying a power delivered by the ultrasound generator (2) to the ultrasound oscillator (3), to which end an actual variable (IL, ILS) and/or a setpoint variable (SL) for a control loop of the ultrasound generator (2) is/are altered in said control loop. In addition, a regulatory circuit (6) for an ultrasound device (1) and also an ultrasound device (1) are proposed which are suitable for carrying out the method.

Abstract translation: 提出一种方法，用于操作超声波设备（1），该超声波装置（1）的至少一个超声换能器（3）和至少一个超声发生器（2），超声波振子（3）是由超声波发生器激发的（2）振荡，其，软 的特征在于，在（1）在超声波振子（3）的温度（T）被确定的超声波装置的操作，并且在从所述超声波发生器（2）所确定的温度（T）一个依赖于超声波振动器供货形式修改（3）功率 是，包括在所述超声波发生器（2）中进行的实际量（IL，ILS）和/或控制回路的目标尺寸（SL）的变形例的控制电路。 此外，提出了一种控制电路（6），用于超声设备（1）和一个Ultraschaligerät（1），其适合于执行该方法。

公开(公告)号：WO1998006143A1

公开(公告)日：1998-02-12

申请号：PCT/US1997012853

申请日：1997-08-01

Applicant: PUSKAS, William, L.

IPC: H01L41/08

CPC classification number: B01J19/10 ,  B06B1/0276 ,  B06B1/0618 ,  B06B1/0622 ,  B06B2201/71 ,  G10K11/004 ,  G10K11/006

Abstract: The application of microsonic frequencies to liquid preferably occurs simultaneously with a sweeping of the microsonic frequency within the transducer's (122) harmonic bandwidth to reduce or eliminate (a) standing waves within the liquid, (b) other resonances, (c) high energy cavitation implosion, and (d) non-uniform sound fields, each of which is undesirable for cleaning and/or processing of semiconductor wafers and other delicate parts. The invention can also drive ultrasonic transducers (122) such that the frequency of applied energy has a sweep rate within the ultrasonic bandwidth of the transducers; and that sweep rate is also varied so that the sweep rate is substantially non-constant during operation. An ultrasound generator of the invention sometimes utilizes amplitude modulation (AM), and the AM frequency is swept over time so as to reduce resonances. Two or more transducers are sometimes used by the invention, in combination, to broaden the overall bandwidth of acoustical energy applied to the liquid around the primary frequency or one of the harmonics. The bandwidths of the transducers are made to overlap such that an attached generator can drive the transducers, in combination, to deliver ultrasound to the liquid in a broader bandwidth.

Abstract translation: 将微声频率应用于液体优选地与在振子（122）谐波带宽内的微声波频率的扫描同时减少或消除（a）液体内的驻波，（b）其它共振，（c）高能空化 内爆和（d）不均匀的声场，每个声场对于半导体晶片和其它微细零件的清洁和/或处理是不期望的。 本发明还可以驱动超声波换能器（122），使得所施加的能量的频率具有在换能器的超声波带宽内的扫描速率; 并且扫描速率也变化，使得扫描速率在操作期间基本上不恒定。 本发明的超声波发生器有时利用振幅调制（AM），并且AM频率随着时间的推移而被扫描，以便减少谐振。 本发明有时使用两个或更多个换能器组合，以扩大施加到主频率周围的液体或谐波之一的声能的总带宽。 使换能器的带宽重叠，使得附接的发生器可以组合地驱动换能器，以在更宽的带宽内将超声波输送到液体。

公开(公告)号：EP2906363A2

公开(公告)日：2015-08-19

申请号：EP13794949.1

申请日：2013-10-15

Applicant: Alphasonics Limited

Inventor： JONES, David Stanley ,  HODGSON, Neil

IPC: B06B1/02 ,  B08B3/12

CPC classification number: B08B3/12 ,  B06B1/0207 ,  B06B1/0276 ,  B06B1/0284 ,  B06B2201/71

Abstract: An ultrasonic cleaning apparatus comprising: a tank for in use receiving a cleaning liquid and an item to be cleaned; a plurality of transducers arranged, when driven, to direct ultrasonic pressure waves into the tank; and a controller arranged in use to drive the transducers. First and second transducers from the plurality of transducers are arranged in use to direct ultrasonic pressure waves into an overlapping volume; and the controller is arranged in use to drive the first and second transducers to produce ultrasonic pressure waves at different frequencies from each other. The controller is arranged to in use produce first and second drive signals for the transducers using first and second frequency generators to each switch between primary and secondary operation, with the sequential switching taking place to cause different combinations of primary and secondary operation for the first and second frequency generators to occur over time.

公开(公告)号：EP2703094A1

公开(公告)日：2014-03-05

申请号：EP12181888.4

申请日：2012-08-27

Applicant: IMEC

Inventor： Brems, Steven ,  Mertens, Paul

IPC: B08B3/12 ,  B06B1/06 ,  A61L2/025

CPC classification number: H01L41/09 ,  B06B1/0622 ,  B06B1/0688 ,  B06B2201/20 ,  B06B2201/71 ,  B08B3/12 ,  H01L21/67086

Abstract: This invention relates to a system for delivering megasonic energy to a liquid, comprising:
- one or more megasonic transducers, each transducer having a single operating frequency within an ultrasound bandwidth and comprising two or more groups of piezoelectric elements arranged in one or more rows; and
- a megasonic generator means for driving the one or more transducers at frequencies within the bandwidth, the generator means being adapted for changing the voltage applied to each group of piezoelectric elements so as to achieve substantially the same maximum acoustic pressure for each group of piezoelectric elements,
the generator means and transducers being constructed and arranged so as to produce ultrasound within the liquid.
Such a system may be part of an apparatus for cleaning a surface of an article such as a semiconductor wafer or a medical implant.

Abstract translation: 本发明涉及一种系统，用于输送兆频超声波能量到液体，其包括： - 一个或多个兆声波转换器，每个换能器具有内的超声带宽和包含两种或在一个或多个行排列的压电元件的多个基团的单个工作频率; 和 - 一个兆声波发生器装置，用于将频带宽度内的频率驱动所述一个或多个换能器，所述发生器装置angepasst用于改变施加到每个组的压电元件的电压，以实现基本上相同的最大声压为每个组压电 元件，发电机和手段换能器被构造和布置以在液体内产生超声波。 这种系统可以是用于清洗制品的表面上的设备的一部分：诸如半导体晶片或医学植入物。