公开(公告)号：US20020125405A1

公开(公告)日：2002-09-12

申请号：US09798499

申请日：2001-03-01

Inventor： John C. Tsai

IPC: G01J001/20

CPC classification number: G01J9/00 ,  G01J3/26 ,  G01J2009/0257 ,  H01S3/13 ,  H04B10/07 ,  H04B10/503 ,  H04B10/572

Abstract: A light wavelength meter (10) able to accept light into a light diverter (16) and impart to it a transverse displacement characteristic which can be detected in a light detection unit (20) connected to a processor (22). Optionally, a light diverger (18) may be provided to enhance angular resolution. The light diverter (16) and the light diverger (18) may either transmit or reflect the light. The light diverter (16) may particularly include a diffraction grating (116, 156), Fabry-Perot interferometer (216), multiple slit plate (316), or an acousto-optical unit (416).

Abstract translation: 一种光波长计（10），其能够将光接收到光分路器（16）中并向其施加横向位移特性，其可以在连接到处理器（22）的光检测单元（20）中检测。 可选地，可以提供光发散器（18）以增强角度分辨率。 光分路器（16）和光分路器（18）可以传输或反射光。 光分路器（16）可以特别地包括衍射光栅（116,156），法布里 - 珀罗干涉仪（216），多个狭缝板（316）或声光单元（416）。

公开(公告)号：EP3063515A2

公开(公告)日：2016-09-07

申请号：EP14793249.5

申请日：2014-10-29

Applicant: University Court of The University of St Andrews

Inventor： DHOLAKIA, Kishan ,  MAZILU, Michael ,  METZGER, Klaus

IPC: G01J9/02 ,  G01J4/00 ,  G01J3/02 ,  H01S5/0687 ,  G01J1/42

CPC classification number: G01J9/0246 ,  G01J1/4257 ,  G01J3/0205 ,  G01J4/00 ,  G01J2001/0481 ,  G01J2009/0257

Abstract: A stabilisation system for stabilising an output of a controllable light or laser source comprises a randomizer for randomizing light from the controllable light or laser source to generate a speckle pattern; a detector for detecting the speckle pattern to determine one or more properties of the light and/or changes in one or more properties of the light; and a controller for controlling the controllable light or laser source based on the determined one or more properties of the light and/or changes in one or more properties of the light.

公开(公告)号：EP1779481A4

公开(公告)日：2015-08-26

申请号：EP05762327

申请日：2005-06-17

Applicant: CYMER LLC

Inventor： RAFAC ROBERT J ,  SMITH SCOT T

IPC: G01B9/02 ,  G01J1/42 ,  G01J3/02 ,  G01J3/12 ,  G01J3/26 ,  G01J9/02 ,  G02B5/04 ,  G02B5/28 ,  G02B27/48 ,  G03F7/20 ,  H01S3/00 ,  H01S3/08 ,  H01S3/22

CPC classification number: G01J3/02 ,  G01J1/4257 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/027 ,  G01J3/0291 ,  G01J3/0297 ,  G01J3/1256 ,  G01J3/26 ,  G01J9/02 ,  G01J2009/0249 ,  G01J2009/0257 ,  G02B5/04 ,  G02B5/284 ,  G02B27/48 ,  G03F7/70025 ,  G03F7/70583 ,  H01S3/005

Abstract: A method and apparatus for producing with a gas discharge laser an output laser beam comprising output laser light pulses, for delivery as a light source to a utilizing tool is disclosed which may comprise a beam path and a beam homogenizer in the beam path. The beam homogenizer may comprise at least one beam image inverter or spatial rotator, which may comprise a spatial coherency cell position shifter. The homogenizer may comprise a delay path which is longer than, but approximately the same delay as the temporal coherence length of the source beam. The homogenizer may comprise a pair of conjoined dove prisms having a partially reflective coating at the conjoined surfaces of each, a right triangle prism comprising a hypotenuse face facing the source beam and fully reflective adjoining side faces or an isosceles triangle prism having a face facing the source beam and fully reflective adjoining side faces or combinations of these, which may serve as a source beam multiple alternating inverted image creating mechanism. The beam path may be part of a bandwidth measuring the bandwidths of an output laser beam comprising output laser light in the range of below 500 femtometers at accuracies within tens of femtometers. The homogenizer may comprise a rotating diffuser which may be a ground glass diffuser which may also be etched. The wavemeter may also comprise a collimator in the beam path collimating the diffused light; a confocal etalon creating an output based upon the collimated light entering the confocal etalon; and a detector detecting the output of the confocal etalon and may also comprise a scanning mechanism scanning the angle of incidence of the collimated light entering the confocal etalon which may scan the collimated light across the confocal etalon or scan the etalon across the collimated light, and may comprise an acousto-optical scanner. The confocal etalon may have a free spectral range approximately equal to the E95 width of the beam being measured. The detector may comprise a photomultiplier detecting an intensity pattern of the output of the confocal etalon.

公开(公告)号：EP1605284B1

公开(公告)日：2012-12-26

申请号：EP03712765.1

申请日：2003-03-19

Applicant: MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA

Inventor： IMAKI, Masao, c/o Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha ,  HIRANO, Yoshihito, c/o Mitsubishi Denki K.K. ,  SATOH, Makoto, c/o Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha ,  ADACHI, Akihiro, c/o Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha ,  TAKAGI, Shinichi, c/o Mitsubishi Denki K.K. ,  NISIMURA, Yasunori, c/o Mitsubishi Denki K.K.

IPC: G02B5/30 ,  G02B5/28 ,  H01S5/0687 ,  G01J3/26

CPC classification number: G02B5/3083 ,  G01J9/02 ,  G01J2009/0257 ,  G02B7/008 ,  H01S5/02248 ,  H01S5/0687

公开(公告)号：WO2016084263A1

公开(公告)日：2016-06-02

申请号：PCT/JP2014/081660

申请日：2014-11-28

Applicant: ギガフォトン株式会社

Inventor： 守屋　正人 ,  太田　毅 ,  石田　啓介 ,  草間　高史

IPC: H01S3/13

CPC classification number: H01S3/13 ,  G01J1/0425 ,  G01J1/0474 ,  G01J3/28 ,  G01J9/0246 ,  G01J2009/0257 ,  H01S3/08004 ,  H01S3/08009 ,  H01S3/08036 ,  H01S3/0811 ,  H01S3/0823 ,  H01S3/1305 ,  H01S3/134 ,  H01S3/137 ,  H01S3/2251 ,  H01S3/2256

Abstract: 狭帯域化レーザ装置は、スペクトル幅を狭帯域化する光学素子を含むレーザ共振器と、レーザ共振器から出力されたパルスレーザ光の一部を、第１の光量の第１のパルスレーザ光と第１の光量より低い第２の光量の第２のパルスレーザ光とに分岐させる光学系と、第１のパルスレーザ光の光路に配置され、第１のパルスレーザ光の波長を計測して第１の計測結果を出力する第１の波長計測器と、第２のパルスレーザ光の光路に配置され、第２のパルスレーザ光の波長を計測して第２の計測結果を出力する第２の波長計測器と、第２の計測結果に基づいて、第１の計測結果を較正する制御部と、を備えてもよい。

Abstract translation: 该窄带激光器件可以设置有：激光谐振器，其包括用于使光谱宽度变窄的光学部件; 将来自激光谐振器的输出脉冲激光的一部分分支到第一光量的第一脉冲激光和低于第一光量的第二光量的第二脉冲激光的光学系统; 设置在第一脉冲激光的光路上的第一波长计测量第一脉冲激光的波长，并输出第一测量结果; 设置在第二脉冲激光的光路上的第二波长计测量第二脉冲激光的波长，并输出第二测量结果; 以及控制单元，其基于第二测量结果来校准第一测量结果。

公开(公告)号：WO2015115471A1

公开(公告)日：2015-08-06

申请号：PCT/JP2015/052334

申请日：2015-01-28

Applicant: 国立大学法人大阪大学

Inventor： 河野　誠 ,  渡會　仁 ,  太田　亘俊

IPC: G01N15/02

CPC classification number: G01N15/0205 ,  G01J2009/0257 ,  G01N2015/025

Abstract: 　観察装置（１００）は、デバイス（１）が有する間隙に存在する測定対象物の像を得ることが可能な観察用光学系（１０１）を備える。デバイス（１）が有する間隙は、一端側が他端側よりも広く、デバイス（１）に光が照射されると、間隙において干渉縞が生じる。観察用光学系（１０１）は、デバイス（１）が有する間隙に対し、異なる波長を有する複数の光を照射して、間隙に複数の干渉縞を発生させる。そして、観察用光学系（１０１）は、複数の干渉縞の像を得る。

Abstract translation: 观察装置（100）设置有可以获得属于装置（1）的空间中存在的测量对象的图像的观察光学系统（101）。 属于设备（1）的空间在一端比在另一端更宽，当设备（1）被光照射时，在该空间中产生干扰。 观察光学系统（101）利用具有不同波长的多个光照亮属于设备（1）的空间，在该空间中产生多个干涉条纹。 观察光学系统（101）然后获取多个干涉条纹的图像。

公开(公告)号：WO02097936A3

公开(公告)日：2003-05-01

申请号：PCT/US0217299

申请日：2002-05-30

Applicant: ALTITUN AB

Inventor： VILHELMSSON KENNET ,  BROBERG BJORN ,  PLASTOW ROBERT

IPC: G01J9/02 ,  H01S3/13 ,  H01S5/0625 ,  H01S5/0687 ,  H01S5/12

CPC classification number: G01J9/0246 ,  G01J2009/0257 ,  H01S3/1305 ,  H01S5/06256 ,  H01S5/0687 ,  H01S5/1209

Abstract: The present invention relates to an approach to locking the output wavelength of a laser (102) that uses an etalon (112) having non-parallel surfaces (122, 124). Under this approach, the non-parallel etalon (112) is formed from a readily available, low cost optical component, and may include an etalon with a wedged shape or with at least one curved surface. This approach offers significant advantages over the use of a planar etalon. It provides two degrees of freedom in alignment of the device, and so both the absolute wavelength and the spacing between the interference fringes can be independently adjusted. It also reduces the cost and difficulty of assembly, since it utilizes standard optical parts with wide tolerances. The invention may be used within a standard laser package. The invention also permits the laser to be tuned to a precise operating wavelength by setting various tuning signals according to values stored in memory.

Abstract translation: 本发明涉及锁定使用具有非平行表面（122,124）的标准具（112）的激光器（102）的输出波长的方法。 在这种方法下，非平行标准具（112）由易于获得的低成本光学部件形成，并且可以包括具有楔形形状或至少一个弯曲表面的标准具。 这种方法比使用平面标准具具有显着的优点。 它提供了器件对准的两个自由度，因此绝对波长和干涉条纹之间的间隔都可以独立调整。 它也降低了组装的成本和难度，因为它采用了宽公差的标准光学部件。 本发明可以在标准激光器封装内使用。 本发明还允许通过根据存储在存储器中的值设置各种调谐信号来将激光器调谐到精确的工作波长。

公开(公告)号：WO2015063481A3

公开(公告)日：2015-07-23

申请号：PCT/GB2014053218

申请日：2014-10-29

Applicant: UNIV ST ANDREWS

Inventor： DHOLAKIA KISHAN ,  MAZILU MICHAEL ,  METZGER KLAUS

IPC: G01J9/02 ,  G01J1/42 ,  G01J3/02 ,  G01J4/00 ,  H01S5/0687

CPC classification number: G01J9/0246 ,  G01J1/4257 ,  G01J3/0205 ,  G01J4/00 ,  G01J2001/0481 ,  G01J2009/0257

Abstract: An optical system comprising a randomizer that has a plurality of randomly positioned scatterers for scattering and thereby randomizing light to generate a speckle pattern and a detector for detecting the speckle pattern to determine at least one property of the light and/or change in at least one property of the light.

Abstract translation: 一种光学系统，包括随机化器，其具有多个随机设置的用于散射的散射体，从而使光随机化以产生散斑图案;以及检测器，用于检测斑点图案，以确定至少一个光的至少一个性质和/或变化 光的属性。

公开(公告)号：WO2015063481A2

公开(公告)日：2015-05-07

申请号：PCT/GB2014/053218

申请日：2014-10-29

Applicant: UNIVERSITY COURT OF THE UNIVERSITY OF ST ANDREWS

Inventor： DHOLAKIA, Kishan ,  MAZILU, Michael ,  METZGER, Klaus

IPC: G01J9/02

CPC classification number: G01J9/0246 ,  G01J1/4257 ,  G01J3/0205 ,  G01J4/00 ,  G01J2001/0481 ,  G01J2009/0257

Abstract: An optical system comprising a randomizer that has a plurality of randomly positioned scatterers for scattering and thereby randomizing light to generate a speckle pattern and a detector for detecting the speckle pattern to determine at least one property of the light and/or change in at least one property of the light.

Abstract translation: 包括随机化器的光学系统，所述随机化器具有用于散射并随后使光随机化以生成散斑图案的多个随机定位的散射体，以及用于检测散斑图案以检测光的至少一个性质的检测器 和/或改变灯的至少一个属性。

公开(公告)号：WO2004083914A1

公开(公告)日：2004-09-30

申请号：PCT/JP2003/003345

申请日：2003-03-19

Applicant: 三菱電機株式会社 ,  今城 正雄 ,  平野 嘉仁 ,  佐藤 睦 ,  足立 明宏 ,  高木 晋一 ,  西村 靖典

Inventor： 今城 正雄 ,  平野 嘉仁 ,  佐藤 睦 ,  足立 明宏 ,  高木 晋一 ,  西村 靖典

IPC: G02B5/30

CPC classification number: G02B5/3083 ,  G01J9/02 ,  G01J2009/0257 ,  G02B7/008 ,  H01S5/02248 ,  H01S5/0687

Abstract: 光を透過する固体材料と、固体材料に形成された略平行に対向する平面と、略平行に対向する平面以外の面で固体材料を接続剤で保持し、上記固体材料よりも強い剛性を有する保持材と、を備え、略平行に対向する平面間で光を共振させ、対向平面間の光路長できまる波長を周期的に選択する波長フィルタであって、固体材料が複屈折材料であるとともに、その光学軸が略平行に対向する平面の法線と所定の角度を有することを特徴とする。これによって、固体材料が保持材に保持された状態であっても、安定した波長弁別特性を得ることが可能となる。

Abstract translation: 一种波长过滤器，包括透光固体材料和保持材料，所述保持材料通过接合剂将固体材料保持在形成在固体材料上的相对平面上几乎彼此平行并且在除了上述相对平面之外的平面处， 并且刚性比固体材料高，在彼此平行的相对平面之间谐振的光，由周期性地选择的相对平面之间的光路长度确定的波长，其特征在于固体材料是 双折射材料，并且其光轴与彼此几乎平行的相对平面的法线形成指定的角度。 因此，即使当固体材料被保持材料保持时，也可以获得稳定的波长鉴别特性。