公开(公告)号：KR1020160108069A

公开(公告)日：2016-09-19

申请号：KR1020150031936

申请日：2015-03-06

Applicant: (주) 인텍플러스

Inventor： 강민구 ,  강성용

IPC: G01N21/88 ,  G03B3/10

CPC classification number: G01N21/8806 ,  G01N2201/102 ,  G01N2201/12715 ,  G03B3/10

Abstract: 본발명은슬릿빔과다단으로단차진반사수단을이용하여피검체의높이를파악하고, 검사용카메라의위치를조절하는슬릿빔을이용한오토포커싱장치및 이를이용한오토포커싱방법이개시된다. 본발명은슬릿빔을출력하는광원과, 상기광원에서출력된슬릿빔을피검체의표면으로반사시켜전달하되, 상기슬릿빔의라인을따라다단으로단차지게형성되어, 상기피검체에복수의슬릿빔으로분할하여조사하는제1반사수단과, 상기피검체에서반사된라인이미지를획득하는이미지센서와, 상기이미지센서에서획득한라인이미지의결상위치에따라피검체의높이를판단하는분석부와, 상기분석부에서판단된피검체의높이와대응하여상기검사용카메라와피검체의간격을조절하는거리조절부를포함하는슬릿빔을이용한오토포커싱장치및 이를이용한오토포커싱방법에관한것이다.

Abstract translation: 本发明涉及一种自动对焦装置，其使用多级和阶梯式反射装置的狭缝光束来识别检查目标的高度并调整检查照相机的位置以及使用其的自动聚焦方法。 根据本发明，自动对焦装置包括：输出狭缝光束的光源; 将从光源输出的狭缝光束反射到检查对象的表面的第一反射装置形成为沿着狭缝光束的多个台阶阶梯状，并且向检查对象发射多个分裂狭缝光束; 获取从检查对象反射的线法师的图像传感器; 分析单元，其根据从图像传感器获得的行图像的成像位置确定检查对象的高度; 以及距离调节装置，其调整检查照相机和检查对象之间的间隙，以对应于由分析单元确定的检查对象的高度。