公开(公告)号：CN117174566A

公开(公告)日：2023-12-05

申请号：CN202311144351.5

申请日：2023-09-06

Applicant: 合肥工业大学 ,  费勉仪器科技(上海)有限公司

Inventor： 曹青 ,  朱冠卿 ,  王旭迪 ,  邹鹏飞 ,  毕海林 ,  谢斌平 ,  董金奎

IPC: H01J41/12

Abstract: 本发明涉及一种用于连接标准真空电馈通的微型离子泵，属于离子泵技术领域。该用于连接标准真空电馈通的微型离子泵包括阴极、阳极和磁环，所述阴极包括阴极柱和阴极锥，所述阳极包括阳极筒和设于阳极筒侧壁上的若干个进气孔，所述阴极锥的尾部与阳极筒的侧壁之间形成环空。本发明通过磁环使电子围绕阴极轴心旋转，阴极与阳极之间形成电场，且由于阴极位于环空的一侧呈工字型，电子可在电磁场作用下，绕阴极轴心螺旋运动并上下起伏，以至于电子能够在极小空间内几乎无限地运动，离子泵能够持续稳定地抽取空气离子，且离子泵的体积足够小，可应用于微型真空系统中。

公开(公告)号：CN110246746B

公开(公告)日：2021-06-29

申请号：CN201910635148.5

申请日：2019-07-15

Applicant: 东北大学

Inventor： 王晓冬 ,  黄海龙 ,  宁久鑫

IPC: H01J41/12 ,  H01J41/18

Abstract: 一种三极溅射离子泵，属于真空获得设备技术领域。所述三极溅射离子泵，包括顶部设置有进气管的壳体、设置在壳体外部的若干块永磁铁、与壳体侧壁连通的M个腔体和N个抽气组件，M＝N，N个所述抽气组件一一设置在腔体内，抽气组件包括阳极筒阵列、若干个阳极针和两块平行设置的阴极板，所述阳极筒阵列设置在两块平行设置的阴极板之间，所述若干个阳极针垂直贯穿阴极板，且阳极针的位置与阳极筒阵列内阳极筒的轴线对应，永磁铁与腔体外壁接触，且永磁铁的位置与邻近的腔体内的阴极板对应。所述三极溅射离子泵，提高了阳离子入射阴极板的角度，以及溅射离子泵在高真空与超高真空条件下的抽速。

公开(公告)号：CN111654928A

公开(公告)日：2020-09-11

申请号：CN202010477586.6

申请日：2020-05-29

Applicant: 苏试宜特(上海)检测技术有限公司

Inventor： 徐石磊

IPC: H05B3/06 ,  H05B3/00 ,  H01J41/12 ,  H01J41/18

Abstract: 本发明公开了一种即热型离子泵保养装置，其包括二热敏电阻铝壳加热器，二所述热敏电阻铝壳加热器通过二铝壳固定器固定在离子泵的相对两侧面上，二所述铝壳固定器之间通过螺栓和螺母连接固定，二所述热敏电阻铝壳加热器分别通过导线与电源连接，所述铝壳固定器上设有供所述导线穿过的过线孔。本发明采用两块铝壳固定器、两根螺栓和两枚螺母将热敏电阻铝壳加热器固定在离子泵上，并通过两根高温耐热绝缘橡胶导线连接电源，利用高温烘烤将离子泵内附着的空气排出，从而实现离子泵功能的快速恢复，而且此装置制作简单，使用方便，可重复使用，大大节约了离子泵的维护成本，便于大范围推广应用。

公开(公告)号：CN107850506B

公开(公告)日：2020-09-11

申请号：CN201680040313.7

申请日：2016-05-12

Applicant: 万机仪器公司

Inventor： D·C·汉森

IPC: H01J41/04

Abstract: 提供了电离压力计和操作电离压力计的方法，以操作热阴极电离压力计(HCIG)。晶体管电路可以被配置用于以低输入阻抗传递电子发射电流并且用于控制阴极偏置电压。发射电流和阴极偏置电压可以被彼此独立地控制，而无需伺服稳定时间。可以关于泄漏电流来校准HCIG。

公开(公告)号：CN111433459A

公开(公告)日：2020-07-17

申请号：CN201880079969.9

申请日：2018-12-10

Applicant: 爱德华兹真空泵有限责任公司

Inventor： M.H.R.蒂尔利 ,  J.C.朗格贝格 ,  M.E.达尔格蒂

IPC: F04B41/06 ,  F04B23/04 ,  F04B39/12 ,  F04B37/02 ,  F04B37/14 ,  H01J41/20

Abstract: 设备（1300）包括第一泵模块（1304）、第二泵模块（1302）和密封盘（1310）。第一泵模块（1304）包括具有第一开口的第一凸缘、具有第二开口的第二凸缘（1322）和至少一个第一泵（1309）。第二泵模块（1302）包括具有第三开口的第三凸缘（1320）、具有第四开口的第四凸缘和至少一个第二泵（1306）。密封盘（1310）定位在第二凸缘（1322）和第三凸缘（1320）之间，并且与第二凸缘（1322）和第三凸缘（1320）密封接触，并且具有盘开口，所述盘开口具有的截面面积小于第二凸缘（1322）中的第二开口的截面面积，并且小于第三凸缘（1320）中的第三开口的截面面积，其中，盘开口与第一开口、第二开口、第三开口和第四开口对准。

公开(公告)号：CN111344489A

公开(公告)日：2020-06-26

申请号：CN201880052444.6

申请日：2018-07-11

Applicant: 斯坦福研究院

Inventor： 斯特林·爱德华多·麦克布赖德 ,  乔伊·J·迈克尔丘克 ,  克里斯托弗·E·霍兰 ,  阿希什·乔杜里 ,  温斯顿·K·钱

IPC: F04B37/14 ,  H01J41/16 ,  H01J41/20

Abstract: 本公开包括外电极和内电极。外电极限定内容积并且被配置为通过至少一个孔接收注入的电子。内电极定位在内容积中。外电极和内电极被配置为响应于外电极与内电极之间的电势将所接收的电子限制在围绕内电极的轨道中。该设备不包括被配置为生成电子约束磁场的部件。

公开(公告)号：CN110491764A

公开(公告)日：2019-11-22

申请号：CN201910822526.0

申请日：2019-09-02

Applicant: 北京卫星环境工程研究所

Inventor： 窦仁超 ,  崔寓淏 ,  闫荣鑫 ,  孙立臣 ,  孟冬辉 ,  喻新发 ,  洪晓鹏 ,  窦威 ,  周雪茜

IPC: H01J41/12

Abstract: 本发明公开了一种溅射离子泵的磁轭组件，包括磁钢、轭铁和不锈钢定位板，磁钢分成两组，分别在两块轭铁的中间安装3层磁钢，中间两层，上下各两层，该结构简单紧凑，漏磁少，磁场均匀，并可以明显提高离子泵的中心磁场强度。

公开(公告)号：CN107407611B

公开(公告)日：2019-08-02

申请号：CN201680013476.6

申请日：2016-02-10

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 宫下刚 ,  中岛丰昭 ,  福原万沙洋

IPC: G01L21/32 ,  H01J41/04

CPC classification number: G01L21/32 ,  H01J41/04

Abstract: 本发明提供一种可减少从离子收集器表面释放的粒子的影响并无测量误差地测量出测量对象物的压力的三极管型电离真空计。三极管型电离真空计(IG)，具有灯丝(2)；配置在灯丝周围的具有筒状的轮廓的栅极(3)；以及在栅极周围同心配置的筒状的离子收集器(4)。离子收集器的母线方向的长度(L2)设定在栅极的母线方向的长度(L1)的6％～80％的范围内，省去离子收集器的母线方向的两端部的粒子释放区域。

公开(公告)号：CN107546099B

公开(公告)日：2019-05-03

申请号：CN201610827400.9

申请日：2016-09-14

Applicant: 北京卫星环境工程研究所

Inventor： 杜春林 ,  钱北行 ,  马永来 ,  于晨 ,  陈雨新 ,  张丽娜 ,  解峥

IPC: H01J41/02 ,  H01J5/54

Abstract: 本发明公开了一种高可靠性的真空计规管管壳与插头座，由规管管壳、规管管芯、锁紧器和插头座组成，在尺寸加长的管壳接管中设置有一个过滤网和不少于二个的半月板，相邻半月板开口方向交替反向布置形成光密结构；在管芯法兰盘和插头座之间设有锁紧器，锁紧环上由销轴连接的锁紧键在弹簧的推压作用下卡入插头座的插座体上的锁紧槽中；插头座后端的压紧螺母通过螺纹与尾罩后端连接并通过压紧环使橡胶密封圈收紧，从而压紧固定由中间引出的电接线引线束。本发明可以在连接导线存在大幅度摇摆晃动、振动的情况下保证信号的可靠传输；有效避免被测容器中可凝性蒸汽对管芯的污染；并消除产生陶瓷粉末环境污染的危害和插头座高温熔化变形的隐患。

公开(公告)号：CN104952685B

公开(公告)日：2017-11-21

申请号：CN201510024775.7

申请日：2015-01-19

Applicant: 中国航天员科研训练中心 ,  上海三井真空设备有限公司

Inventor： 黄刚 ,  李玉欣

IPC: H01J41/20

Abstract: 本发明涉及一种离子泵，尤其涉及一种轻量化大抽速离子泵，包括泵体，泵体上设有微型高压电极；泵体内设有阳极筒组件、阴极钛板和磁体部件，磁体部件由磁钢和导磁铁组成；泵体为钛合金泵体；磁钢为钕铁硼磁钢；导磁铁整体呈矩形框，由两个U形钢板拼接而成，每个U形钢板都是由一底板和位于所述底板两侧的翼板一体成型，从每个翼板的转角处那端到该翼板另一端的厚度逐渐减小；泵体的后侧设置有一个方条，方条的中心与阳极筒组件焊接，方条的两侧焊接凸耳；微型高压电极采用YV2TJ电连接器和GFK‑10KV‑26导线，经过优化设计，本发明的离子泵可以达到现有离子泵的抽速，而重量仅为3KG。