公开(公告)号：JP4564081B2

公开(公告)日：2010-10-20

申请号：JP2008154369

申请日：2008-06-12

Applicant: 株式会社日立国際電気 ,  貞徳舎株式会社

Inventor： 正昭 上野 ,  公男 北村 ,  敏光 宮田 ,  真一 島田 ,  雅士 杉下 ,  晃 林田 ,  健司 田中 ,  淳一 西原

IPC: H01L21/31 ,  C23C16/46 ,  H01L21/22 ,  H01L21/324

公开(公告)号：JP2009033117A

公开(公告)日：2009-02-12

申请号：JP2008154377

申请日：2008-06-12

Applicant: Hitachi Kokusai Electric Inc ,  Teitokusha Kk ,  株式会社日立国際電気 ,  貞徳舎株式会社

Inventor： HAYASHIDA AKIRA ,  UENO MASAAKI ,  SHIMADA SHINICHI ,  KITAMURA KIMIO ,  TANAKA KENJI ,  NISHIHARA JUNICHI

IPC: H01L21/22 ,  C23C16/46 ,  H01L21/31 ,  H01L21/324

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a heating device having a new holding structure of an electrical heating element, and to provide a substrate-treating device using the heating device, a method of manufacturing a semiconductor device, and a penetrating member.
SOLUTION: The heating device comprises: the planar electrical heating element 20 having a cutout or a through hole; a sidewall member 50 that surrounds a heating space 18 and is made of a conductive material; a holding section 30 that is arranged at the side of the heating space 18 in the sidewall member 50 and holds the electrical heating element 20 only by one end; a penetration 40d that projects at the side of the heating space 18 in the sidewall member 50 for arrangement and penetrates the cutout of the electrical heating element 20 or the through hole 40a between one end 20a of the electrical heating element 20 and the other end; and a penetrating member 40 having projections 40b, 40c that project toward a cross direction crossing a direction penetrating from the penetration 40d on the front and rear of the electrical heating element 20 as compared with the penetration 40d and regulates the movement of the electrical heating element 20 to the penetration direction.
COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Abstract translation: 解决的问题：提供一种具有新的电加热元件的保持结构的加热装置，并提供使用该加热装置的基板处理装置，制造半导体装置的方法和穿透构件。 解决方案：加热装置包括：具有切口或通孔的平面电加热元件20; 围绕加热空间18并由导电材料制成的侧壁构件50; 保持部30，其设置在侧壁部件50的加热空间18侧，仅通过一端保持电加热元件20; 穿孔40d，其在侧壁构件50的加热空间18的侧面突出，用于布置并穿透电加热元件20的切口或电加热元件20的一端20a与另一端之间的通孔40a; 以及穿透构件40，其具有突起40b，40c，其与穿透40d相比，在与电加热元件20的前后相贯穿从穿透部40d的方向的横向方向突出，并且调节电加热元件的移动 20到穿透方向。 版权所有（C）2009，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP2009004715A

公开(公告)日：2009-01-08

申请号：JP2007167004

申请日：2007-06-25

Applicant: Hitachi Kokusai Electric Inc ,  Teitokusha Kk ,  株式会社日立国際電気 ,  貞徳舎株式会社

Inventor： HAYASHIDA AKIRA ,  NAKAJIMA MASAYO ,  UENO MASAAKI ,  SHIMADA SHINICHI ,  KITAMURA KIMIO ,  TANAKA KENJI ,  NISHIHARA JUNICHI

IPC: H01L21/31 ,  H01L21/22 ,  H01L21/324

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a new structure of a heating device capable of improving the responsiveness. SOLUTION: This substrate processing device is provided with a reaction vessel for processing a substrate and a heating device for heating the substrate in the reaction vessel. The heating device has an inner layer 50 of a sidewall, a middle layer 60 of the sidewall and an outer layer 70 of the sidewall, at least the inner layer 50 of the sidewall and the middle layer 60 of the sidewall have electrical conductivity, and the inner layer 50 of the sidewall holds a heating element 20. The middle layer 60 of the sidewall is fixed from the outside with a first fastening member 54 via an insulating member 51 fixed to the inner layer 50 of the sidewall. A second fastening member 71, fixed from the outside of the outer layer 70 of the sidewall for preventing the first fastening member 54 from dropping off, is provided at a position where it overlaps the first fastening member 54. COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Abstract translation: 要解决的问题：提供能够提高响应性的加热装置的新结构。 解决方案：该基板处理装置设置有用于处理基板的反应容器和用于加热反应容器中的基板的加热装置。 加热装置具有侧壁的内层50，侧壁的中间层60和侧壁的外层70，至少侧壁的内层50和侧壁的中间层60具有导电性，并且 侧壁的内层50保持加热元件20.侧壁的中间层60通过固定到侧壁的内层50的绝缘构件51，通过第一紧固构件54从外部固定。 设置在与第一紧固构件54重叠的位置处，用于防止第一紧固构件54脱落的侧壁外层70的外侧固定的第二紧固构件71.（C ）2009，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP6887659B2

公开(公告)日：2021-06-16

申请号：JP2016178679

申请日：2016-09-13

Applicant: 貞徳舎株式会社

Inventor： 北村 公男 ,  西原 淳一 ,  林田 晃 ,  ハサン モハマド マスドウル

IPC: H05B3/10 ,  F24H3/04

公开(公告)号：JP2017058056A

公开(公告)日：2017-03-23

申请号：JP2015182348

申请日：2015-09-15

Applicant: 貞徳舎株式会社

Inventor： 北村 公男 ,  西原 淳一 ,  林田 晃 ,  ハサン モハマド マスドウル

IPC: H05B3/24 ,  H05B3/20 ,  F24H3/04

Abstract: 【課題】 コンパクトな構造ながら熱交換の効率及び熱風生成効率の優れた熱風生成装置を提供すること。 【解決手段】 流体を流す通路3を内部に有する筒状体2と、通路3の長手方向Lに交差して配置される複数の面状発熱体4とを有する。複数の面状発熱体4は第一、第二群の発熱体を長手方向Lに交互に配置してなる。第一群E1では、少なくとも対向する2箇所の壁面2b,2cに少なくとも2個の面状発熱体の少なくとも一方の幅方向端部Eaをそれぞれ固定し、少なくとも2個の面状発熱体の他方の幅方向端部Eb間に下流へ流体を流通させる第一流路R1を形成するように他方の幅方向端部Ebを対向させて配置する。第二群E2では、第一流路R1に交差する方向に発熱体の幅方向を配向をさせ、第一、第二群の発熱体の間に形成される蛇行状の空間Sで流体を加熱する。 【選択図】 図7

公开(公告)号：JP2016164895A

公开(公告)日：2016-09-08

申请号：JP2016118541

申请日：2016-06-15

Applicant: 貞徳舎株式会社

Inventor： 北村 公男 ,  田中 健司 ,  ハサン マスドゥル

IPC: H05B3/06

Abstract: 【課題】 絶縁体の熱容量を低減させると共に加熱空間に対する絶縁体の露出面積を減らして温度分布の均一化を図り昇降温のレスポンスを向上させる電気ヒーター及び電気ヒーターの製造方法並びに加熱装置を提供すること。 【解決手段】 スリットを形成することにより電流路を形成した板状の発熱体10と、この発熱体10を支持する絶縁体20とを備える。この発熱体10のうちスリットに沿う幅方向Xに位置する一対の幅方向端部13,13で絶縁体20に支持される。各幅方向端部13,13に位置する絶縁体20は、幅方向Xに沿った水平方向に対して少なくとも2分割される。2分割された各分割体21,22の間に幅方向端部13を係止し、幅方向端部13の上方の部分で各分割体21,22を締結する締結具30を設ける。 【選択図】 図1

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种能够降低绝缘体的热容量并且通过将绝缘体的暴露面积减小到加热空间来均衡温度分布的电加热器，以改善温度升高和降低的响应，并且提供一种制造 电加热器和加热装置。电加热器包括：板状加热元件10，其中通过形成狭缝形成电流通路; 以及用于支撑加热元件10的绝缘体20.加热元件10在沿着加热元件10的狭缝位于宽度方向X上的一对宽度方向端部13和13处由绝缘体20支撑。每个绝缘体20位于 宽度方向端部13,13的宽度方向端部13,13沿宽度方向X向水平方向分成至少两部分。宽度方向端部13分别锁定在分割元件21,22之间，紧固工具30用于固定 在宽度方向端部13的上方的部分分别设置分割元件21,22

公开(公告)号：JP5956665B2

公开(公告)日：2016-07-27

申请号：JP2015196660

申请日：2015-10-02

Applicant: 貞徳舎株式会社

Inventor： 北村 公男 ,  田中 健司 ,  ハサン マスドゥル

IPC: H05B3/06

公开(公告)号：JP5903114B2

公开(公告)日：2016-04-13

申请号：JP2014017150

申请日：2014-01-31

Applicant: 貞徳舎株式会社

Inventor： 北村 公男 ,  田中 健司 ,  ハサン マスドゥル

IPC: H05B3/64 ,  H05B3/66 ,  H05B3/06

公开(公告)号：JP2015233022A

公开(公告)日：2015-12-24

申请号：JP2015196660

申请日：2015-10-02

Applicant: 貞徳舎株式会社

Inventor： 北村 公男 ,  田中 健司 ,  ハサン マスドゥル

IPC: H05B3/06

Abstract: 【課題】 絶縁体の熱容量を低減させると共に加熱空間に対する絶縁体の露出面積を減らして温度分布の均一化を図り昇降温のレスポンスを向上させる電気ヒーター及び電気ヒーターの製造方法並びに加熱装置を提供すること。 【解決手段】 スリットを形成することにより電流路を形成した板状の発熱体10と、この発熱体10を支持する絶縁体20とを備える。この発熱体10のうちスリットに沿う幅方向Xに位置する一対の幅方向端部13,13で絶縁体20に支持される。各幅方向端部13,13に位置する絶縁体20は、幅方向Xに沿った水平方向に対して少なくとも2分割される。2分割された各分割体21,22の間に幅方向端部13を係止し、幅方向端部13の上方の部分で各分割体21,22を締結する締結具30を設ける。 【選択図】 図1

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种能够降低绝缘体的热容量并且通过将绝缘体的暴露面积减小到加热空间来均衡温度分布的电加热器，以提高温度升高和降低的响应，并提供制造方法 电加热器和加热装置。电加热器包括：板状加热元件10，其中通过形成狭缝形成电流通路; 以及用于支撑加热元件10的绝缘体20.加热元件10由沿着加热元件10的狭缝位于宽度方向X上的一对宽度方向端部13和13处由绝缘体20支撑。每个绝缘体20 位于宽度方向端部13和13中的每一个的宽度方向端部13沿宽度方向X分成至少两个水平方向。宽度方向端部13分别锁定在通过分隔绝缘体20而获得的分割元件21和22之间 分别设置有用于将分割的元件21和22紧固在宽度方向端部13上方的部分的紧固工具30。

公开(公告)号：JP2015028924A

公开(公告)日：2015-02-12

申请号：JP2014131924

申请日：2014-06-26

Applicant: 貞徳舎株式会社 ,  Teitokusha Kk

Inventor： HAYASHIDA AKIRA ,  MIYATA TOSHIMITSU ,  KITAMURA KIMIO ,  NISHIHARA JUNICHI

IPC: H05B3/66 ,  F27D11/02 ,  H05B3/06

Abstract: 【課題】簡素な構成でありながら組み付けが容易で加熱効率のよい電気ヒーター及びこれを備えた加熱装置を提供すること。【解決手段】蛇行状の電流路12を有する板状の発熱体10と、発熱体10をその上側端部14で吊り下げ支持する支持体20と、支持体20が取り付けられる外装材30とを有する。発熱体10は、その上側端部14を屈曲させて下方に開口する凹部14aを有する。支持体20は、その基部21から上方に突出する凸部22を有し、凹部14aと凸部22を嵌合させることで発熱体10を吊り下げ支持する。【選択図】図8a

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种能够以简单的结构容易地组装并且具有高加热效率的电加热器，并提供一种包括该电加热器的加热装置。解决方案：一种电加热器，包括：平面加​​热元件10，具有 曲折电流路径12，用于在其上端14处悬挂和支撑加热元件10的支撑件20以及安装支撑件20的外部材料30。 加热元件10具有通过弯曲其上端14而向下开口的凹部14a。 支撑件20具有从其基部21向上突出的突起22，并且通过安装凹部14a和突起22来将加热元件10悬置和支撑。