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公开(公告)号：JP2019083219A
公开(公告)日：2019-05-30
申请号：JP2019043035
申请日：2019-03-08
Applicant: 貞徳舎株式会社
IPC: H05B3/06
Abstract: 【課題】 絶縁体の熱容量を低減させると共に加熱空間に対する絶縁体の露出面積を減らして温度分布の均一化を図り昇降温のレスポンスを向上させる電気ヒーター及び電気ヒーターの製造方法並びに加熱装置を提供すること。 【解決手段】 スリットを形成することにより電流路を形成した板状の発熱体10と、この発熱体10を支持する絶縁体20とを備える。この発熱体10のうちスリットに沿う幅方向Xに位置する一対の幅方向端部13,13で絶縁体20に支持される。各幅方向端部13,13に位置する絶縁体20は、幅方向Xに沿った水平方向に対して少なくとも2分割される。2分割された各分割体21,22の間に幅方向端部13を係止し、幅方向端部13の上方の部分で各分割体21,22を締結する締結具30を設ける。 【選択図】 図1
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公开(公告)号：JP2018006041A
公开(公告)日：2018-01-11
申请号：JP2016127871
申请日：2016-06-28
IPC: H05B3/44
Abstract: 【課題】 簡素な構成でありながら加熱効率のよい管状ヒーター及びこれを備えた加熱装置を提供すること。 【解決手段】 発熱体と、この発熱体を内部に収容する管状体とからなる。発熱体は、蛇行状の電流路20を有する面状発熱体2である。管状体は、断面略長方形状を呈する石英管3である。その長辺を含む面は面状発熱体2の表面に対向する。 【選択図】 図1
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公开(公告)号：JPWO2014073545A1
公开(公告)日：2016-09-08
申请号：JP2014545719
申请日：2013-11-05
Applicant: 貞徳舎株式会社
Inventor： 公男 北村 , 公男 北村 , 田中 健司 , 健司 田中 , マスドウル モハマド ハサン , マスドウル モハマド ハサン , 淳一 西原 , 淳一 西原
IPC: H05B3/06 , H01L21/02 , H01L21/3065 , H05B3/10 , H05B3/74
CPC classification number: H01L21/67103 , H05B3/143 , H05B3/265 , H05B3/84 , H05B2203/003 , H05B2203/013
Abstract: 発熱体の短絡を防止し且つ加熱効率の良い電気ヒーター並びにこれを備えた加熱装置及び半導体製造装置を提供すること。スリット14を形成することにより電流路を形成した板状の発熱体10と、この発熱体10を支持する板状の絶縁体20とを備える。発熱体10を絶縁体20上に支持する。この絶縁体20上にスリット14内に位置して発熱体10の電流路の短絡を防ぐピン23a,23bを突出させる。複数の絶縁棒30を設けてこの絶縁棒30と絶縁体20とで発熱体10を挟持する。【選択図】図3
Abstract translation: 提供了防止发热元件的短路是，加热效率的电动加热器和提供有相同的加热装置和半导体制造装置。 包括通过形成狭缝14，以及用于支撑加热元件10的板状绝缘体20形成的电流路径的板状发热元件10。 加热元件10被支撑在绝缘体20上。 销23a至防止在绝缘体20上的加热元件10的短路电流路径被定位在缝隙14中，突出23b中。 提供多个绝缘杆30的绝缘杆30与绝缘体20之间夹入所述加热元件10的。 点域
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2015028925A
公开(公告)日：2015-02-12
申请号：JP2014131925
申请日：2014-06-26
Applicant: 貞徳舎株式会社 , Teitokusha Kk
Inventor： HAYASHIDA AKIRA , MIYATA TOSHIMITSU , KITAMURA KIMIO , NISHIHARA JUNICHI
IPC: H05B3/06 , H01L21/22 , H01L21/31 , H01L21/324
Abstract: 【課題】簡素な構成でありながら発熱体の脱落を防止し且つ加熱効率のよい電気ヒーター及びこれを備えた加熱装置を提供する。【解決手段】蛇行状の電流路12を有する板状の発熱体と、発熱体をその上側端14で支持する支持体20とを有する。電流路12の間の空隙11を貫通する貫通部材50を有する。発熱体は、空隙11内で貫通部材50に当接可能となるように貫通部材50の下方に配置される当接部16を備える。上側端14を支持体20に掛止させることで発熱体を支持する。【選択図】図5
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种电加热器，其以简单的结构防止加热元件的下落，同时确保良好的加热效率，并提供包括该加热效率的加热装置。电加热器包括：平面加热元件，其具有 弯曲电流路径12和用于在其上侧端14处支撑加热元件的支撑件20。 电加热器还包括穿过电流路径12之间的间隙11的贯穿构件50.加热元件包括布置在穿通构件50下方的抵接部16，使得其可以抵靠间隙11中的通孔构件50.加热 通过将上侧端部14钩住支撑件20来支撑元件。
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公开(公告)号：JP2015028417A
公开(公告)日：2015-02-12
申请号：JP2014133134
申请日：2014-06-27
Applicant: 貞徳舎株式会社 , Teitokusha Kk
Inventor： KITAMURA KIMIO , SHIMADA TATSUYA , HAYASHIDA AKIRA , MASUDUL MD HASAN
Abstract: 【課題】省エネルギーでありながら、熱交換の効率に優れた熱風生成装置を提供すること。【解決手段】流体Aを流す通路3を内部に有する筒状体2と、通路3に設けられる面状発熱体42とを有する。流体Aの流れを制限する第一流れ制限部を有する流体流れ制限部材52を備える。面状発熱体42は、流体Aの流れを制限する第二流れ制限部を有する。面状発熱体42及び流体流れ制限部材52が、通路Aの流れ方向Fに交差するように配置される。【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种在实现节能的同时具有优异的热交换效率的热风发生装置。解决方案：一种热风发生装置，包括：具有用于在内部流动流体A的通道3的圆筒体2; 以及设置在通道3处的平面加热元件42.热风发生装置包括具有限制流体A的流动的第一流量限制部的流体流动限制部件52.平面加热元件42包括第二流动限制部件， 限制流体A的流动。平面加热元件42和流体流动限制构件52被设置成与通道3的流动方向F相交。
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公开(公告)号：JP2015011834A
公开(公告)日：2015-01-19
申请号：JP2013135582
申请日：2013-06-27
Applicant: 貞徳舎株式会社 , Teitokusha Kk
Inventor： NISHIHARA JUNICHI , KITAMURA KIMIO , HAYASHIDA AKIRA
IPC: H05B3/10
Abstract: 【課題】発熱体を効率よく安価に製造でき、加熱効率を低下させることなく発熱体を安定して支持することが可能な電気ヒーターを提供すること。【解決手段】蛇行状の電流路12を有する板状の発熱体10と、発熱体10が支持体20を介して取り付けられる外装材30とを有する。発熱体10は、その端部10aが電流路12の対をなす折返部14,15の間に位置し、端部10aを外装材30側へ折り曲げると共に外装材30を貫通させる。【選択図】図10
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种能够有效地，廉价地制造加热元件并且稳定地支撑加热元件而不降低加热效率的电加热器。解决方案：电加热器包括：具有锯齿形电流路径12的板状加热元件10 ; 以及经由支撑体20安装有加热元件10的护套材料30.加热元件10位于折叠部14,15之间，端部10a形成一对电流路径12，端部10a为 弯曲到护套材料30的侧面并穿过护套材料30。
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公开(公告)号：JP5543196B2
公开(公告)日：2014-07-09
申请号：JP2009298110
申请日：2009-12-28
Applicant: 株式会社日立国際電気 , 貞徳舎株式会社
IPC: H01L21/22 , H01L21/205 , H01L21/31 , H01L21/324
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