SURFACE ACOUSTIC WAVE SENSOR DEVICE FORMED ON A QUARTZ SUBSTRATE

    公开(公告)号:WO2022049418A1

    公开(公告)日:2022-03-10

    申请号:PCT/IB2021/000128

    申请日:2021-03-03

    Applicant: FREC'N'SYS

    Abstract: The present invention relates to an acoustic wave sensor device, comprising a quartz material layer comprising a planar surface, a first interdig itated transducer formed over the planar surface of the quartz material layer, a first reflection structure formed over the planar surface of the quartz material layer, a second reflection structure formed over the planar surface of the quartz material layer, a first resonance cavity formed between the first interdigitated transducer and the first reflection structure and a second resonance cavity formed between the first interdigitated transducer and the second reflection structure. The planar surface of the quartz material layer is defined by a crystal cut of a quartz material of the quartz material layer with angles φ in the range of -14° to -24°, Θ in the range of -25° to -45° and ψ in the range of +8° to +28°.

    TRANSDUCER STRUCTURE FOR AN ACOUSTIC WAVE DEVICE

    公开(公告)号:WO2021053399A2

    公开(公告)日:2021-03-25

    申请号:PCT/IB2020/000781

    申请日:2020-09-18

    Applicant: FREC'N'SYS

    Abstract: The invention relates to a transducer structure (200) for a surface acoustic device comprising a composite substrate comprising a piezoelectric layer (212), a pair of interdigitated comb electrodes (206, 208), comprising a plurality of electrode means (206-1, 206-2,..., 208-1, 208-2,...) with a pitch p satisfying the Bragg condition, wherein the inter-digitated comb electrodes are embedded in the piezoelectric layer (212) such that, in use, the excitation of a wave propagating mode in the volume of the electrode means is taking place and is the predominant propagating mode of the structure. The invention relates also to an acoustic wave device comprising at least one transducer structure as described above and to a method for fabricating said transducer structure. The invention relates also to the use of the frequency of the bulk wave propagating in the electrode means of said transducer structure in an acoustic wave device to generate contribution at high frequency, in particular above 3 GHz.

    RESONANT CAVITY SURFACE ACOUSTIC WAVE (SAW) FILTERS

    公开(公告)号:WO2020021029A2

    公开(公告)日:2020-01-30

    申请号:PCT/EP2019/070082

    申请日:2019-07-25

    Applicant: FREC'N'SYS

    Abstract: The invention relates to a coupled cavity filter structure, using a surface acoustic wave, in particular a guided surface acoustic wave, comprising an acoustic wave propagating substrate (102), at least one input transducer structure (112) and one output transducer structure (114), provided over the substrate (102), each comprising inter-digitated comb electrodes (124, 126), one reflecting structure (116), said reflecting structure (116) comprising at least one or more metallic strips (114), positioned at a distance and in between the input and output transducer structures (112, 114), in the direction of propagation of an acoustic wave, characterised in that the acoustic wave propagation substrate (102) is a composite substrate comprising a base substrate (106) and a piezoelectric layer (104).The invention relates also to a coupled cavity filter structure wherein the one reflecting structure (816) comprises a groove(822). The invention relates also to a SAW ladder filter device comprising at least two coupled cavity filter structures as described previously,wherein the at least two coupled cavity filter structures are positioned on a single line.

    DISPOSITIF DE CAPTEUR A ONDES ELASTIQUES DE SURFACE A REPONSE ELECTRIQUE STABLE

    公开(公告)号:EP3965293A3

    公开(公告)日:2022-06-29

    申请号:EP21199059.3

    申请日:2015-12-08

    Abstract: Dispositif de capteur à ondes élastiques de surface interrogeable à distance comprenant un transducteur à peignes inter-digités et deux miroirs de Bragg disposés d'un côté et de l'autre du transducteur, l'ensemble formant un résonateur simple-port, le transducteur présentant une fréquence de synchronisme f1 et une bande interdite entre les fréquences f2 et f3 et les miroirs de Bragg présentant une bande interdite entre les fréquences f4 et f5, la fréquence f1 étant comprise dans la bande interdite f4-f5 des miroirs de Bragg, la bande interdite f2-f3 du transducteur étant située hors de la bande interdite f4-f5 des miroirs de Bragg.

    DISPOSITIF DE CAPTEUR A ONDES ELASTIQUES DE SURFACE A REPONSE ELECTRIQUE STABLE

    公开(公告)号:EP3965293A2

    公开(公告)日:2022-03-09

    申请号:EP21199059.3

    申请日:2015-12-08

    Abstract: Dispositif de capteur à ondes élastiques de surface interrogeable à distance comprenant un transducteur à peignes inter-digités et deux miroirs de Bragg disposés d'un côté et de l'autre du transducteur, l'ensemble formant un résonateur simple-port, le transducteur présentant une fréquence de synchronisme f1 et une bande interdite entre les fréquences f2 et f3 et les miroirs de Bragg présentant une bande interdite entre les fréquences f4 et f5, la fréquence f1 étant comprise dans la bande interdite f4-f5 des miroirs de Bragg, la bande interdite f2-f3 du transducteur étant située hors de la bande interdite f4-f5 des miroirs de Bragg.

    DISPOSITIF DE CAPTEUR À ONDES ÉLASTIQUES DE SURFACE INTERROGABLE À DISTANCE
    47.
    发明公开
    DISPOSITIF DE CAPTEUR À ONDES ÉLASTIQUES DE SURFACE INTERROGABLE À DISTANCE 审中-公开
    弹性声表面波器件使用的传感器适合远距离

    公开(公告)号:EP3032742A3

    公开(公告)日:2016-08-31

    申请号:EP15198414.3

    申请日:2015-12-08

    Abstract: Dispositif de capteur à ondes élastiques de surface interrogeable à distance comprenant un résonateur composé d'un transducteur à peignes inter-digités et deux miroirs de Bragg disposés d'un côté et de l'autre du transducteur, le transducteur présentant une fréquence de synchronisme f1 et une bande interdite entre les fréquences f2 et f3 et les miroirs de Bragg présentant une bande interdite entre les fréquences f4 et f5, la fréquence f1 étant comprise dans la bande interdite f4-f5 des miroirs de Bragg, la bande interdite f2-f3 du transducteur étant située hors de la bande interdite f4-f5 des miroirs de Bragg, de façon que le capteur offre une réponse spectrale monomode.

    DISPOSITIF DE CAPTEUR A ONDES ELASTIQUES DE SURFACE A REPONSE ELECTRIQUE STABLE

    公开(公告)号:EP3793088A3

    公开(公告)日:2021-05-19

    申请号:EP20196942.5

    申请日:2015-12-08

    Abstract: Dispositif de capteur à ondes élastiques de surface interrogeable à distance comprenant un résonateur composé d'un transducteur à peignes inter-digités et deux miroirs de Bragg disposés d'un côté et de l'autre du transducteur, le transducteur présentant une fréquence de synchronisme fl et une bande interdite entre les fréquences f2 et O et les miroirs de Bragg présentant une bande interdite entre les fréquences f4 et f5, la fréquence fl étant comprise dans la bande interdite f4-f5 des miroirs de Bragg, la bande interdite f2-ô du transducteur étant située hors de la bande interdite f4-f5 des miroirs de Bragg.

    DISPOSITIF DE CAPTEUR À ONDES ÉLASTIQUES DE SURFACE INTERROGEABLE À DISTANCE
    50.
    发明公开
    DISPOSITIF DE CAPTEUR À ONDES ÉLASTIQUES DE SURFACE INTERROGEABLE À DISTANCE 审中-公开
    用于可接触表面的弹性波传感器装置

    公开(公告)号:EP3032742A2

    公开(公告)日:2016-06-15

    申请号:EP15198414.3

    申请日:2015-12-08

    Abstract: Dispositif de capteur à ondes élastiques de surface interrogeable à distance comprenant un résonateur composé d'un transducteur à peignes inter-digités et deux miroirs de Bragg disposés d'un côté et de l'autre du transducteur, le transducteur présentant une fréquence de synchronisme f1 et une bande interdite entre les fréquences f2 et f3 et les miroirs de Bragg présentant une bande interdite entre les fréquences f4 et f5, la fréquence f1 étant comprise dans la bande interdite f4-f5 des miroirs de Bragg, la bande interdite f2-f3 du transducteur étant située hors de la bande interdite f4-f5 des miroirs de Bragg, de façon que le capteur offre une réponse spectrale monomode.

    Abstract translation: 甲弹性波传感器远程地询问的表面,其包括一个交叉梳状换能器组成的和两个布拉格反射镜布置在一侧,而另一个换能器的,具有频率f1同步的换能器谐振器 和频率f2和f3和布拉格反射镜具有频率f4的F5之间的带隙之间的带隙,频率f1被包括在禁带F4-F5布拉格反射镜,的禁带F2-F3 换能器位于所述F4-F5带隙布拉格反射镜外面,所以,该传感器具有一个光谱响应单模。

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