Abstract:
The invention relates to a MEMS component comprising a chip supporting the component structure, a metal structure being provided on the back of the chip opposite the component structures, for dispersing acoustic volume waves in order to avoid disturbing reflections and acoustic volume waves. The metal structures comprise a metal acoustically adapted to the material of the chip.
Abstract:
Es wird ein mit akustischen Oberflächenwellen arbeitendes Transversalfilter mit einem piezoelektrischen Substrat und einer auf dem Substrat angeordneten akustischen Spur, in der ein erster Wandler (1) und ein zweiter Wandler (2) angeordnet sind, angegeben. Der jeweilige Wandler (1, 2) weist Elektrodenfinger auf. Eine Funktion (9), die die Wichtung der Überlappungslänge von Elektrodenfingern unterschiedlicher Polarität im zweiten Wandler (2) charakterisiert, weist eine halbe Hauptkeule (23) und mindestens eine Nebenkeule (24, 25) auf. Die Amplitude der Keulen (23, 24, 25) nimmt in einer Richtung, die zum ersten Wandler weist, monoton ab.
Abstract:
Es wird ein mit geführten akustischen Wellen arbeitendes Bauelement mit einem Schichtsystem (1, 2, 3, 6) angegeben, das eine piezoelektrische Schicht (1), eine dielektrische Schicht (2) und zwischen der piezoelektrischen Schicht und der dielektrischen Schicht angeordnete Elektroden (3) aufweist. Das Bauelement umfasst eine Deckschicht (4), die mit dem Schichtsystem (10) mittels einer Adhäsionsschicht (5) verbunden ist.
Abstract:
Es wird ein elektroakustisches Bauelement mit einem Substrat aus einem Einkristall-LiNbO3 angegeben, für dessen zweiten Eulerwinkel µ gilt: -74° ≤ µ ≤ -52° oder 23° ≤ µ ≤ 36°. Für den ersten Eulerwinkel λ gilt λ ≈ 0° und für den dritten Eulerwinkel θ gilt θ ≈ 0°.
Abstract:
The invention relates to an electroacoustic component comprising two substrates between which a layer system is arranged, said layer system comprising a metallic layer and a layer of low acoustic impedance Z a,2 . Said metallic layer comprises a layer with a high acoustic impedance Z a,1 for which the following holds good: Z a,1 / Z a,2 = 4,5. In this way, a sufficient acoustic reflection for guided acoustic volume waves is ensured. The invention also relates to an electroacoustic component comprising a piezoelectric substrate consisting of lithium tantalate and having an angle of intersection of f rot YX, for which the following holds good: 7°
Abstract:
Die Erfindung betrifft ein elektroakustisches Bauelement mit einem Filter, das Bauelementstrukturen aufweist, die unabhän-gig voneinander aus einem Wandler und einem Reflektor ausge-wählt sind. Die Bauelementstrukturen sind auf einem gemeinsa-men Substrat angeordnet. Jede Bauelementstruktur weist eine einheitliche Schichtdicke und eine einheitliche Zusammensetzung des Schichtaufbaus auf. Zwei Bauelementstrukturen weisen voneinander unterschiedliche Schichtdicke und/oder Zusammensetzung auf.
Abstract:
Es wird ein elektrisches Bauelement vorgeschlagen, welches auf einem elektrisch isolierenden oder halbleitenden Substrat angeordnete, elektrisch leitende Strukturen und gegenüber einer Spannung oder einem elektrischen Überschlag empfindliche, galvanisch voneinander getrennte Bauelementstrukturen aufweist. Zur Vermeidung eines Überschlags zwischen den galvanisch getrennten Bauelementstrukturen sind diese mit einer Shuntleitung kurzgeschlossen, die einen gegenüber den übrigen elektrischen Leiterbahnen verringerten Querschnitt aufweist. Zu einem beliebigen Zeitpunkt, insbesondere nach kompletter Fertigstellung des Bauelements können die Shuntleitung durch anlegen eines elektrischen Stroms durchgebrannt werden, wobei eine galvanische Trennung der Bauelementstrukturen herbeigeführt wird, soweit dies für die Funktion des Bauelements erforderlich ist.
Abstract:
Die Erfindung schlägt einen elektroakustischen Wandler für ein mit Oberflächenwellen arbeitendes Bauelement vor, der zwei Elektroden mit jeweils an eine Stromschiene angeschlossenen, alternierend angeordneten Fingern und Stummelfingern aufweist, wobei die einander gegenüberliegenden Finger und Stummelfinger voneinander durch Gaps getrennt sind. Dabei weist die Position der Gaps in transversaler Richtung eine vorzugsweise periodische Variation auf. Das Muster der Variation der Gap-Position, das insbesondere die Anregungsstärke der akustischen Welle im Randbereich des Wandlers beeinflußt, ist so ausgewählt, daß das Anregungsprofil der akustischen Welle an das vorgegebene Energiedichteprofil angepaßt ist. Durch eine solche Anpassung gelingt es, Signalverluste bei der Resonanzfrequenz deutlich zu reduzieren.
Abstract:
The invention relates to an assembly comprising a multitude of products provided with an electronic component (1), which has a fundamental quantity that can be modified by tuning the component (1) using an electrical signal. The inventive assembly also comprises a memory (2) which is assigned to the component (1) and in which a value of an amplitude of the electrical signal is stored. The fundamental quantities of the products of the assembly are identical to one another when, in each product, the respective component (1) is tuned using a respective electrical signal with the respective value of the amplitude stored in the respective memory (2). Each device of the assembly comprises one such product and one control circuit (5), which is connected to the respective component (1) and to the respective memory (2) and which forms an electrical signal supplied to the respective component (1). Said electrical signal has the respective value of the amplitude stored in the respective memory.
Abstract:
The method described is intended for use in the transmission of data between interrogator and transponder stations (Q, R), the transponder station (R) preferably having a surface acoustic wave element (OFW) with a substrate suitable for conducting surface acoustic waves. The narrow-band interrogation pulses emitted by the interrogator station (Q) are modified in the transponder station (R) in such a way that the frequency spectrum of the modified interrogation pulses lies at least partly outside the frequency range of the unmodified interrogation pulses. The interrogation pulses are, for instance, fed to the surface acoustic wave element (OFW) in transponder station R1, for instance, via the input interdigital transducer (IDWi) and reflected as response pulses to the interrogator station (Q1) where signal components which lie in the frequency range of the response pulses are rejected. The response signals can thus be processed without interference occurring due to interrogation impulses emitted by other interrogator stations (Qx).