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公开(公告)号：KR1020060127532A
公开(公告)日：2006-12-13
申请号：KR1020050048579
申请日：2005-06-07
Applicant: (주) 인텍플러스
IPC: H01L21/66 , H01L23/544
CPC classification number: G06K9/03
Abstract: A method and an apparatus for testing a marking of a semiconductor package are provided to test whether a mark occurs by comparing character string information. Character string information for a semiconductor package of a test target lot is obtained and stored in a memory section(S100). A character pattern printed on a surface of a semiconductor package is photographed to obtain image information(S200). The obtained image information is displayed so that a worker confirms it by naked eyes(S300). Character string information is detected from the displayed image information and the detected character string information is compared with stored character information. When the detected character string information is identical with the stored character information, the displayed image information of a corresponding semiconductor package is set as reference image information of a corresponding lot. When there are no image information of a semiconductor package sequentially inputted, which is identical with the set reference image information, the corresponding semiconductor package is classified as a bad storage device(S550).
Abstract translation: 提供了一种用于测试半导体封装的标记的方法和装置，用于通过比较字符串信息来测试标记是否发生。 获得用于测试目标批次的半导体封装的字符串信息并将其存储在存储器部分中（S100）。 拍摄印刷在半导体封装的表面上的字符图案以获得图像信息（S200）。 所获得的图像信息被显示，使得工人用肉眼确认它（S300）。 从所显示的图像信息中检测出字符串信息，并将所检测的字符串信息与存储的字符信息进行比较。 当检测到的字符串信息与存储的字符信息相同时，将相应半导体封装的显示图像信息设置为相应批次的参考图像信息。 当没有顺序地输入与设定的参考图像信息相同的半导体封装的图像信息时，对应的半导体封装被分类为不良存储装置（S550）。
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公开(公告)号：KR1020060056698A
公开(公告)日：2006-05-25
申请号：KR1020040095877
申请日：2004-11-22
Applicant: (주) 인텍플러스
IPC: H01L21/66
CPC classification number: G01N21/8851 , G01B11/02 , G01N2021/8887
Abstract: 본 발명은 다양한 방향으로부터 반도체 소자의 영상을 획득하여 반도체 소자의 외관 및 크기를 보다 정확하게 알 수 있는 반도체 소자 검사장치 및 검사방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 반도체 소자 검사방법은 복수개의 광원으로부터 반도체 소자의 상면에 경사진 각도로 빛을 조사하여 복수개의 구별 가능한 그림자를 생성하고, 이들 그림자 영상들을 합성하여 반도체 소자의 외곽선을 검출하여 반도체 소자의 크기를 검사하는 것을 특징으로 한다.
반도체, 트레이, 크기, 그림자, 모서리, 외곽선-
公开(公告)号：KR1020060056695A
公开(公告)日：2006-05-25
申请号：KR1020040095873
申请日：2004-11-22
Applicant: (주) 인텍플러스
IPC: G01N21/88
Abstract: 본 발명은 피검체의 표면에 일정패턴에 따른 그림자가 생성되도록 하고 미세 크랙 등에 의하여 일정패턴의 영상이 변형되는 것을 관찰함으로써, 피검체 표면의 미세 트랙 유무를 판별하는 표면결함 검사장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 미세 표면 검사장치는 피검체의 표면에 일정패턴의 빛을 조사하는 조명부, 피검체 표면에 조사된 빛에 의하여 생성된 영상으로부터 반사된 빛에 의한 영상정보를 획득하는 영상검출부, 및 일정패턴과 영상정보를 비교하여 피검체 표면의 결함 유무를 분석하고 판별하는 영상처리부를 포함하여 구성된다. 전술한 조명부는 빛을 조사하는 광원의 후단에 배치되어 피검체의 표면에 일정패턴의 그림자 영상이 생성되도록 하는 투영격자를 구비하여 구성되거나, 빛을 발생하는 레이저에서 조사되는 빛의 방향을 스캔하여 피검체의 표면에 일정패턴의 영상이 생성되도록 하는 레이저 스캐닝부를 구비하여 구성된다.
반도체, 미세, 크랙, 스크래치, 빛, 패턴, 투영격자-
公开(公告)号：KR1019990007666A
公开(公告)日：1999-01-25
申请号：KR1019980043687
申请日：1998-10-19
Applicant: (주) 인텍플러스
IPC: G01B11/00
Abstract: 본 발명은 측정대상물체에 대한 2차원 치수측정과 3차원 형상/표면조도측정기능이 일체적으로 구비된 광학식 치수/형상/표면조도 측정장치에 관한 것으로, 측정유니트(30)의 구성요소인 광학계는 측정대상물체(P)의 2차원 치수측정을 위한 제 1광학계(50)와 3차원 형상/표면조도측정을 위한 Z축방향의 미세변위를 위한 PZT액츄에이터(52a)를 포함하는 제 2광학계(52b)가 회동가능한 터렛(48)상에 일체로 구성되고, 측정/제어유니트(10)에는 상기 측정대상물체에 대한 2차원 치수측정/3차원 치수측정의 방식의 선택과 그 선택된 측정방식에 대응하는 측정결과연산을 행하는 물체측정연산부(120)와, 상기 측정방식의 과정을 설정하기 위한 화면데이터와 측정결과가 저장되는 데이터메모리(122), 상기 측정대상물체(P)의 2차원 치수측정을 위한 프로그램이 저장된 2차원 치수측정프로그램저장부(124) 및, 상기 측정대상물체(P)에 대한 3차원 형상/표면조도의 측정을 위한 측정프로그램등록부(126)가 통합적으로 구성되어, 상기 측정대상물체(P)에 대해 2차원 치수측정 또는 3차원 형상/표면조도측정이 선택적으로 또는 호환적으로 실행될 수 있도록 된 것이다.
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公开(公告)号：KR1020170002220A
公开(公告)日：2017-01-06
申请号：KR1020150092466
申请日：2015-06-29
Applicant: (주) 인텍플러스
IPC: G01N21/958 , G01N21/88
Abstract: 본발명은간단한구조의광학계를이용하여편광필름의결함여부를정확하게검출할수 있는편광필름의얼룩검사장치가개시된다. 본발명은편광필름의얼룩을검사하기위한것으로, 상기편광필름의하방에서상기편광필름을향해경사조명을조사하는조명부와, 상기편광필름의상부에서상기편광필름의이미지를촬영하는촬영부와, 상기편광필름과나란하면서편광축은수직하도록상기편광필름과상기촬영부사이에배치된편광수단을포함한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101446757B1
公开(公告)日：2014-10-02
申请号：KR1020120078933
申请日：2012-07-19
Applicant: (주) 인텍플러스
Abstract: 본 발명은 온도변화에 따른 가시광선의 반사도 차이를 이용하여 높은 화소를 갖는 디스플레이 패널의 결함을 정밀하게 검출할 수 있는 디스플레이 패널 검사장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 디스플레이 패널의 표면에 가시광선을 조사하는 조명부와, 상기 조명부에서 조사된 가시광선이 상기 디스플레이 패널에서 반사된 영상을 촬영하는 이미지 획득부와, 상기 디스플레이 패널의 온도 변화가 발생하면 가시광선 영역의 빛의 반사도가 달라지는 현상을 이용하여 상기 이미지 획득부에 의하여 촬상된 영상으로부터 디스플레이 패널의 온도분포를 측정하여 불량부위를 판별하는 제어부를 포함한다.
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公开(公告)号：KR101261016B1
公开(公告)日：2013-05-06
申请号：KR1020110022767
申请日：2011-03-15
Applicant: (주) 인텍플러스
Abstract: 본발명에따른평판패널기판의자동광학검사방법은, 상기기판의일부영역을촬영하고, 각각이촬영한영상내에주기적으로반복하여존재하는셀 레이아웃패턴인단위영상들에기초하여기준영상을생성하는단계, 각단위영상들을상기기준영상과비교하여결함의존부를판정하고기판에결함이존재할경우결함의위치정보를획득하는단계및 획득한결함의위치정보를출력하는단계를포함한다.
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公开(公告)号：KR1020130029681A
公开(公告)日：2013-03-25
申请号：KR1020110093101
申请日：2011-09-15
Applicant: (주) 인텍플러스
CPC classification number: G02B7/38 , G01N21/8851 , G01N2021/8887 , G02F1/1309
Abstract: PURPOSE: An auto-focusing device is provided to change a test range on a real time basis, thereby improving productivity. CONSTITUTION: An auto-focusing device(100) comprises a lens assembly(110), a transmissive rotary part(120), a photographing part(130), a reader(140), and a distance control part(150). The lens assembly comprises a lens which transmits a reflected light which is reflected from a device being tested. The transmissive rotary part is arranged on a transmission route of the reflected light passing through a lens assembly and rotates in one direction eccentrically to the lens assembly. The rotary part prepares an inclination zone which gradually increases in thickness following a rotational direction and converts an optical density on a real time basis. The photographing part is arranged on the transmission route of the reflected light passing through the rotary part and obtains an image. The reader receives an image photographed from the photographing part and determines the existence of focus. The distance control part controls a distance between a camera for testing and the device being tested, depending on the determination of the reader.
Abstract translation: 目的：提供自动对焦设备，实时更改测试范围，从而提高生产效率。 构成：自动对焦装置（100）包括透镜组件（110），透射旋转部件（120），拍摄部件（130），读取器（140）和距离控制部件（150）。 透镜组件包括透射从被测试装置反射的反射光的透镜。 透射旋转部件布置在穿过透镜组件的反射光的透射路径上，并且在一个方向上偏心地旋转到透镜组件。 旋转部准备沿着旋转方向逐渐增加的倾斜区域，并且实时地转换光密度。 摄影部配置在通过旋转部的反射光的传播路径上，并获得图像。 读取器接收从拍摄部分拍摄的图像，并确定焦点的存在。 距离控制部分根据读取器的确定来控制用于测试的相机和被测试设备之间的距离。
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公开(公告)号：KR1020120105149A
公开(公告)日：2012-09-25
申请号：KR1020110022767
申请日：2011-03-15
Applicant: (주) 인텍플러스
Abstract: PURPOSE: A method and an apparatus for automatic optical inspection of a flat panel substrate are provided to maintain the quality of a flat panel substrate evenly. CONSTITUTION: An apparatus for automatic optical inspection of a flat panel substrate comprises a memory(110), an image acquisition part(120), a reference image generating unit(130), a defect determining part(140), and an output unit(150). The image acquisition part acquires the video recording some section of the substrate. The reference image generating unit generates and saves the generated reference image. The defect determining part acquires the position information of the defect on a substrate. The defect determining part saves the defect position information in the memory. [Reference numerals] (110) Memory; (120) Image acquisition part; (130) Reference image generating unit; (140) Defect determining part; (150) Output unit
Abstract translation: 目的：提供一种用于平板基板的自动光学检查的方法和装置，以保持平板基板的质量均匀。 一种用于平板基板的自动光学检查的装置，包括存储器（110），图像获取部分（120），参考图像生成单元（130），缺陷确定部分（140）和输出单元 150）。 图像获取部分获取基片的某个部分的视频记录。 参考图像生成单元生成并保存所生成的参考图像。 缺陷确定部件获取衬底上的缺陷的位置信息。 缺陷确定部件将缺陷位置信息保存在存储器中。 （附图标记）（110）存储器; （120）图像采集部分; （130）参考图像生成单元; （140）缺陷判定部; （150）输出单元
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公开(公告)号：KR101012637B1
公开(公告)日：2011-02-09
申请号：KR1020080082535
申请日：2008-08-22
Applicant: (주) 인텍플러스
Abstract: 본 발명은 CCD 카메라 구동 신호와 영상 획득에 필요한 주변 장치의 동기 신호를 일치시켜 시간 지연 없이 영상을 획득할 수 있는 광학식 영상 측정 시스템 및 그를 이용한 측정 방법에 관한 것이다.
이를 위한 본 발명의 광학식 형상 측정 시스템은 촬영 영역에 놓인 피사체를 촬영 하여 출력하는 하나 이상의 CCD 카메라와, 상기 촬영 영역에 조명광을 조사하는 조명장치 및 조명 컨트롤러와, 상기 조명장치의 구동을 제어하는 동기신호발생부와, 상기 각각의 CCD 카메라에서 출력되는 영상을 포획하여 출력하는 적어도 하나 이상의 영상포획부와, 상기 영상포획부에서 포획된 영상을 신호 처리하여 표시부로 출력하는 영상신호 처리부와, 상기 영상포획부 및 상기 동기신호발생부에 개시 명령을 출력하는 제어부와, 상기 제어부에 외부 장비로부터의 제어 신호를 전달하는 데이터 입력부를 포함하되, 상기 제어부가 상기 영상포획부 및 상기 동기신호발생부에 구동 신호를 출력함과 동시에 상기 동기신호발생부가 상기 제어부로부터의 제어 신호에 따라 CCD 카메라와 조명 컨트롤러에 구동 신호를 동시에 출력함을 특징으로 한다.
동기신호발생부, 동시, 조명, 카메라, 영상포획부
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