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公开(公告)号:KR1020180053119A
公开(公告)日:2018-05-21
申请号:KR1020160150507
申请日:2016-11-11
Applicant: (주) 인텍플러스
CPC classification number: G06T7/521 , G01B11/25 , G06T7/571 , H04N13/271
Abstract: 본발명의일 실시예에따른 3차원형상측정장치는측정대상이안착되는측정평면, 측정대상을조사하는제1광원및 제2광원, 제1광원및 제2광원으로부터조사된광을투영시키는렌즈및 측정대상의표면으로부터반사되는영상을촬상하는이미지획득수단, 이미지획득수단으로부터이미지를획득하고, 이미지프로세싱하여측정대상을검출하는제어부를포함하는 3차원형상측정장치에있어서, 제1광원및 제2광원은순차적으로점등된다.
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公开(公告)号:KR1020150091920A
公开(公告)日:2015-08-12
申请号:KR1020140012739
申请日:2014-02-04
Applicant: (주) 인텍플러스
IPC: G01N21/958 , G01B11/24
CPC classification number: G01N21/958 , G01B11/24
Abstract: 본 발명은 기판의 상부와 하부에서 광학적으로 기판의 에지부분의 결함을 검사하는 기판의 에지 검사장치 및 이를 이용한 검사방법이 개시된다.
본 발명은 글래스 기판의 상부에 설치되어 상기 글래스 기판이 상면의 에지(edge)에 빛을 조사하는 제1 조명수단과, 상기 글래스 기판의 상부에 설치되어 상기 글래스 기판의 상면의 에지의 이미지를 획득하는 제1 촬영수단과, 상기 글래스 기판의 하부에 설치되어 상기 글래스 기판의 하면의 에지에 빛을 조사하는 제2 조명수단과, 상기 글래스 기판의 하부에 설치되어 상기 글래스 기판의 하면의 에지의 이미지를 획득하는 제2 촬영수단을 포함하는 글래스 기판의 에지 검사장치 및 이를 이용한 검사방법에 관한 것이다.Abstract translation: 根据本发明,公开了一种用于检查基板的边缘的装置,其用于光学地检查基板的上部和下部中的基板的边缘部分的缺陷,以及用于检查基板的边缘的方法 底物使用相同。 本发明涉及一种用于检查基板的边缘的装置以及使用该装置检查基板的边缘的方法。 用于检查基板的边缘的装置包括:第一照明装置,安装在玻璃基板的上部,以将光照射到玻璃基板的上表面的边缘; 第一拍摄装置,安装在所述玻璃基板的上部,以获取所述玻璃基板的上表面的边缘的图像; 第二照明装置,安装在所述玻璃基板的下部,以将光照射到所述玻璃基板的下表面的边缘; 以及第二拍摄装置,安装在所述玻璃基板的下部,以获取所述玻璃基板的下表面的边缘的图像。
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公开(公告)号:KR1020140012339A
公开(公告)日:2014-02-03
申请号:KR1020120078930
申请日:2012-07-19
Applicant: (주) 인텍플러스
Abstract: In the trend for enlargement, the present invention relates to a display panel inspection apparatus which provides a more rapid inspection speed and is able to inspect the whole screen of a display evenly and minutely in order to increase the production efficiency of a display panel. The present invention detects a fault of a display panel by grasping the strength of each wavelength from a spectrum image which is obtained from a camera by including: a lens which is arranged on the upper part of the display panel in order to cover a part or a whole of the display panel which outputs a surface type image and receives the surface type image which is outputted from the display panel; a slit which is arranged on the upper part of the lens and makes the surface type image outputted from the lens permeate the slit to make a line type image; a spectroscope which generates a spectrum of the line type image which is outputted from the slit; and an inspection unit which is arranged on a same axis as the camera which obtains a surface type spectrum image which is generated through the spectroscope.
Abstract translation: 在扩大的趋势中,本发明涉及一种显示面板检查装置,其提供更快的检查速度,并且能够均匀且细致地检查显示屏的整个屏幕,以便提高显示面板的生产效率。 本发明通过以下方式来检测显示面板的故障:通过包括:布置在显示面板的上部以覆盖一部分的透镜,或者 输出表面型图像并接收从显示面板输出的表面型图像的整体显示面板; 布置在透镜的上部的狭缝,使从透镜输出的表面型图像透过狭缝,形成线型图像; 产生从狭缝输出的线型图像的光谱的分光镜; 以及检查单元,其布置在与获得通过分光器产生的表面类型光谱图像的相机的相同轴上。
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公开(公告)号:KR1020100023652A
公开(公告)日:2010-03-04
申请号:KR1020080082535
申请日:2008-08-22
Applicant: (주) 인텍플러스
Abstract: PURPOSE: An optical shape measurement system and a measurement method using the same are provided to prevent delay of image acquisition time and improve image acquisition efficiency. CONSTITUTION: An optical shape measurement system comprises one or more CCD cameras(1), a lighting device(11), an illumination controller(12), a synchronization signal generating unit(23), one or more image capturing units(24), an image signal processor(25), a controller(22), and a data Input unit(21). The controller outputs driving signals to the image capturing units and the synchronization signal generating unit. The synchronization signal generating unit outputs driving signals to the CCD cameras and the illumination controller at the same time as the controller outputs the driving signals.
Abstract translation: 目的:提供光学形状测量系统及其测量方法,以防止图像采集时间的延迟并提高图像采集效率。 构成:光学形状测量系统包括一个或多个CCD照相机(1),照明装置(11),照明控制器(12),同步信号产生单元(23),一个或多个图像捕获单元(24) 图像信号处理器(25),控制器(22)和数据输入单元(21)。 控制器将驱动信号输出到图像捕获单元和同步信号生成单元。 同步信号发生单元在控制器输出驱动信号的同时,向CCD摄像机和照明控制器输出驱动信号。
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公开(公告)号:KR100705652B1
公开(公告)日:2007-04-09
申请号:KR1020050077997
申请日:2005-08-24
Applicant: (주) 인텍플러스
IPC: H01L21/66
Abstract: 본 발명은 비전 검사가 완료된 반도체 소자의 양,불량품을 신속하게 분류하도록 하는 반도체 소자의 분류 방법에 관한 것이다.
이를 위하여 본 발명은 동일 반도체 소자를 다수개 수납한 트레이의 외관을 비전 검사하고 비전 검사되어 분류부로 이송되는 트레이에 수납된 반도체 소자를 언로딩 트레이(TR1) 또는 불량품 트레이(TR3)로 분류하는 반도체 소자의 분류 방법에 있어서, 해당 랏(Lot)의 마지막 트레이가 비전 검사되어 분류부로 공급되면 해당 버퍼 트레이(TR2)의 불량품을 불량품 트레이(TR3)로 이송하고(S21) 불량품 이송이 완료되면 불량품 트레이(TR3)를 배출하는 단계와; 상기 해당 버퍼 트레이(TR2)의 양품 수와 상기 언로딩 트레이(TR1)에 남아 있는 양품 수를 상호 비교하는 단와; 상기 비교 결과 버퍼 트레이(TR2)의 양품수가 언로딩 트레이(TR1)의 양품수 보다 많을 경우 버퍼 트레이(TR2)의 양품을 언로딩부로 이송하는데 소요되는 시간(T1)과 언로딩 트레이의 양품을 버퍼 트레이(TR2)로 이송하고(T2) 버퍼 트레이(TR2)를 언로딩부로 배출하는데 소요되는 시간(T3)을 상호 비교하는 단계와; 상기 비교 결과 양품 수가 언로딩 트레이(TR1)에 더 많을 경우와 버퍼 트레이(TR2)의 양품을 언로딩 트레이(TR1)로 이송하는데 소요되는 시간이 언로딩 트레이(TR1)의 양품을 버퍼 트레이(TR2)로 이송하고 버퍼 트레이(TR2)를 언로딩부로 이송하는데 소요되는 시간보다 크지 않을 경우 버퍼 트레이(TR2)의 양품을 언로딩 트레이(TR1)로 이송하는 단계와; 상기 비교 결과 버퍼 트레이(TR2)의 양품을 언로딩 트레이(TR1) 로 이송하는데 소요되는 시간이 언로딩 트레이(TR1)의 양품을 버퍼 트레이(TR2)로 이송하고 버퍼 트레이(TR2)를 언로딩부로 이송하는데 소요되는 시간보다 클 경우 언로딩 트레이(TR1)의 양품을 버퍼 트레이(TR2)로 이송하는 단계를 포함한다.
버퍼, 양품 수, 언로딩 트레이Abstract translation: 本发明涉及一种对半导体器件进行分类的方法,用于快速分类有缺陷和有缺陷的半导体元件。
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公开(公告)号:KR1020060127529A
公开(公告)日:2006-12-13
申请号:KR1020050048576
申请日:2005-06-07
Applicant: (주) 인텍플러스
IPC: H01L21/66
CPC classification number: G06T7/001 , G06T2207/30148 , H01L22/20 , H01L2924/014
Abstract: A method for testing a semiconductor device is provided to improve precision of a defect test in a ball or a printed circuit board of the semiconductor device by obtaining a lighting image and a coaxial image. A light image is obtained as light image information(S10). A coaxial image is obtained as coaxial image information(S20). An annular image is obtained by subtracting the coaxial image information from the lighting image information(S30). A region between inner and outer diameters are uniformly divided(S40). A binary value of the divided region is analyzed(S50). It is judged whether there are pixels having a binary value of 1 in the divided regions(S60). When there is at least one pixel having a binary value of 1, it is judged that a corresponding region is a normal(S70). It is judged whether a rate of the normal region is equal to or greater than a set value(S80). When the rate of the normal region is equal to or greater than a set value, it is judged that a corresponding ball is normal(S90).
Abstract translation: 提供了一种用于测试半导体器件的方法,以通过获得照明图像和同轴图像来提高半导体器件的球或印刷电路板中的缺陷测试的精度。 获得作为光图像信息的光图像(S10)。 获得同轴图像作为同轴图像信息(S20)。 通过从照明图像信息中减去同轴图像信息获得环形图像(S30)。 内径和外径之间的区域被均匀分割(S40)。 分析分割区域的二进制值(S50)。 在划分的区域中判断是否存在二进制值为1的像素(S60)。 当存在二进制值为1的至少一个像素时,判断对应的区域是正常的(S70)。 判断正常区域的速率是否等于或大于设定值(S80)。 当正常区域的速度等于或大于设定值时,判断为相应的球是正常的(S90)。
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公开(公告)号:KR1020050031328A
公开(公告)日:2005-04-06
申请号:KR1020030067590
申请日:2003-09-29
Applicant: (주) 인텍플러스
IPC: H01L21/66
Abstract: A method and an apparatus for three-dimensional inspection using a stereo vision and a moire are provided to detect a defect of a lead of a package having a bending state and a phase value of 180 degrees and more by overcoming limitation of 2 phi ambiguity. A light projection part(2) includes a condensing lens for condensing light generated from a light source(21) and a projection grating(23) and a projection lens(24) for projecting the condensed light to a measuring target. A first light-receiving part(3) includes an image forming lens(31) and a CCD camera(32) to obtain a grating stripe image. A second light-receiving part(4) includes an image forming lens(41) and a stereo vision camera(42) to obtain an image of the measuring target.
Abstract translation: 提供了使用立体视觉和莫尔条纹进行三维检查的方法和装置,通过克服2个phi模糊度的限制来检测具有弯曲状态和相位值为180度以上的包装的引线的缺陷。 光投射部分(2)包括用于聚集从光源(21)产生的光和投影光栅(23)的聚光透镜和用于将聚光的光投射到测量对象的投影透镜(24)。 第一光接收部分(3)包括图像形成透镜(31)和CCD相机(32),以获得光栅条纹图像。 第二光接收部分(4)包括图像形成透镜(41)和立体视觉相机(42),以获得测量对象的图像。
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