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公开(公告)号：CN101814586A
公开(公告)日：2010-08-25
申请号：CN200910246910.7
申请日：2009-12-01
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: H01L51/56 , H01L21/687
CPC classification number: H01L21/68721 , H01L21/68728
Abstract: 本发明提供了一种夹持式基板翻转装置，所述夹持式基板翻转装置包括夹持驱动机构、翻转驱动机构及基板夹持机构，所述夹持驱动机构和所述翻转驱动机构分别与所述基板夹持机构连接，所述基板夹持机构具有夹紧和松开基板的结构，所述夹持驱动机构用于驱动所述基板夹持机构对放置于所述基板夹持机构中的基板进行夹紧和松开操作，所述翻转驱动机构用于驱动所述基板夹持机构翻转运动，从而使放置于所述基板夹持机构中的基板翻转运动。因此，所述夹持式基板翻转装置可实现对基板的全方位的夹持、传送和翻转，并在基板的翻转过程中能够保持基板的稳定，且结构简单、对基板的保护性能好。
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公开(公告)号：CN101814452A
公开(公告)日：2010-08-25
申请号：CN200910246916.4
申请日：2009-12-01
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: H01L21/68
Abstract: 本发明公开了一种真空腔定位机构，适用于对提供真空环境的真空腔体进行密封的腔盖进行定位及支撑，所述真空腔定位机构包括支架、支臂、铰链轴及定位杆，所述支架的起始端与所述真空腔体固定连接，所述支臂的起始端与所述腔盖固定连接，所述支架的末端与所述支臂的末端相互重叠且均开设有相互对应的容置孔，所述铰链轴枢接地穿过所述容置孔使所述支架与所述支臂枢接，所述支臂的末端及所述支架的末端以所述容置孔的中心为圆心等径地开设有定位孔，所述定位杆可插拔的插入所述支臂的末端及所述支架的末端的定位孔内实现支臂与支架的固定。本发明具有定位及支撑功能，结构简单、性能安全可靠。
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公开(公告)号：CN101812664A
公开(公告)日：2010-08-25
申请号：CN200910246911.1
申请日：2009-12-01
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: C23C14/24
Abstract: 本发明公开了一种支撑机构，其包括安装板、承载板、连接件及限位件，连接件及限位件相互平行地连接于安装板与承载板之间，连接件包括连接柱及弹性元件，连接柱的上端与承载板活动连接，连接柱的下端与安装板活动连接，弹性元件呈压缩状的套设于连接柱外，且弹性元件的上端与承载板抵触，弹性元件的下端与安装板抵触，限位件的下端与安装板连接，限位件的上端沿承载板方向延伸，限位件的上端还设置有柔软的缓冲垫；本发明支撑机构具有缓冲减震功能，能避免承载板与被承载物的硬性机械接触，防止被承载物受到损坏，且结构简单、维护方便。另，本发明还公开了具有本发明支撑机构的自动升降装置。
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公开(公告)号：CN101812663A
公开(公告)日：2010-08-25
申请号：CN200910246908.X
申请日：2009-12-01
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: C23C14/24
Abstract: 本发明公开了一种分离式密封腔体，包括移动腔体部及具有一开口面的固定腔体部，移动腔体部与固定腔体部的开口面对应安装，其中，固定腔体部的相邻于开口面的两相互平行的侧面上设置有第一滑轨及第二滑轨，第一滑轨及第二滑轨相互平行且均垂直于开口面；移动腔体部包括第一支撑件、第二支撑件及与固定箱体部的开口面相对应的门板，第一支撑件及第二支撑件分别连接于门板的两相平行的侧边上，第一支撑件及第二支撑件均垂直于门板，第一支撑件及第二支撑件上均具有滑槽；第一支撑件的滑槽与第一滑轨滑动连接，二支撑件的滑槽与第二滑轨滑动连接，门板对固定腔体部的开口面进行密封或打开。本发明分离式密封腔体结构简单、开启便捷、密封性好。
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公开(公告)号：CN101764045A
公开(公告)日：2010-06-30
申请号：CN200910215324.6
申请日：2009-12-23
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: H01L21/00
Abstract: 本发明公开了一种腔门固定装置，适用于将腔门固定于腔体壁上且能解除固定，其包括手柄、阻挡件及弹簧，手柄向外凸伸出凸台，凸台向外凸伸出连接杆，连接杆的末端开设有螺纹并形成螺纹部，凸台开设有环绕连接杆的第一环槽，弹簧穿设于连接杆上且一端安装于第一环槽内，弹簧的另一端凸伸出第一环槽，腔门贯穿开设有安装孔，腔体壁正对安装孔开设有具有内螺纹的螺纹孔，连接杆穿入安装孔且螺纹部伸出安装孔，阻挡件卡设于连接杆上且位于螺纹部与凸台之间，阻挡件与腔门的内表面分离地抵触，凸台与腔门的外表面分离地抵触；本发明腔门固定装置能分担腔门上密封圈的压迫量，且在腔门开启时不会脱落。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101737391A
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：CN200910266712.7
申请日：2009-12-30
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: F16B19/02
Abstract: 本发明公开了一种组合式销钉，所述组合式销钉包括销杆、销体、销尾及弹性体，所述销体开设有空腔，所述空腔贯穿所述销体，所述销杆的下端滑动地卡设于所述空腔内，所述销杆的上端穿过所述空腔外并凸伸出所述销体的上端，所述销尾的上端可拆卸地固定于所述空腔内，所述销尾的下端穿过所述空腔外并凸伸出所述销体的下端，所述弹性体容设于所述空腔内并抵触于所述销杆的下端和所述销尾的上端之间。所述组合式销钉同时具有导向、定位和缓冲等功能，因此在受到载体抵压的时候不会弯折变形、且不会损坏与其连接的载体或使载体变形。
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公开(公告)号：CN101694831A
公开(公告)日：2010-04-14
申请号：CN200910042152.7
申请日：2009-08-25
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
Abstract: 本发明公开了一种位置调节机构，包括驱动机构、驱动机构固定板、导向板、花键轴、花键套、推动轴及推动板，所述驱动机构与所述驱动机构固定板固定连接，所述花键套安装于所述导向板上，所述花键轴的一端与所述驱动机构固定板固定连接，另一端滑动的穿过所述花键套并与腔体固定连接，所述驱动机构的驱动轴与所述导向板连接，所述推动轴的一端与所述导向板固定连接，另一端伸入所述腔体并与所述推动板固定连接，所述推动板位于所述腔体内，所述驱动机构固定板、导向板及推动板相互平行。由于本发明采用驱动机构驱动导向板作直线往复运动，从而带动所述推动板作直线往复运动，结构简单紧凑、成本较低、占用空间较小并且使用过程中噪音较小。
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公开(公告)号：CN101692431A
公开(公告)日：2010-04-07
申请号：CN200910192942.3
申请日：2009-09-30
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/683
CPC classification number: B65G47/252 , H01L21/67
Abstract: 本发明公开了一种翻转装置，包括翻转驱动部件、承载件、夹持件及控制装置，夹持件安装于承载件上，翻转驱动部件与承载件连接并与控制装置电连接，控制装置控制翻转驱动部件，翻转驱动部件驱动承载件翻转，待翻转物被夹持件夹持于承载件上，还包括呈中空结构的腔体，腔体的中空结构形成翻转腔，承载件容置于翻转腔内，承载件呈中空结构，承载件的中空结构形成承载腔，夹持件安装于承载腔内，承载件开设有与承载腔连通的入口，腔体开设有与翻转腔连通的进口，入口与进口相对且位于同一高度处。本发明的目的在于提供一种结构简单紧凑、安装调试便捷、对基片污染相对较低、可以进行360度精确翻转的翻转装置。
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公开(公告)号：CN101672351A
公开(公告)日：2010-03-17
申请号：CN200910192936.8
申请日：2009-09-30
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: F16H7/08
Abstract: 本发明公开了一种调紧机构，包括固定板、滑块、挡块以及调节螺钉，所述固定板开有直向导槽，所述直向导槽的开口设于所述固定板的一侧，所述滑块与所述直向导槽卡合并滑动连接，所述滑块安装有伸出所述直向导槽的支轴，所述支轴上安装有调紧轮，所述档块固定连接于所述直向导槽的开口处，所述挡块上开设有与所述调节螺钉相匹配的挡块调节螺孔，所述调节螺钉旋穿过所述挡块调节螺孔与所述滑块接触。所述调节螺钉旋进所述挡块内，进而推动所述滑块，使所述滑块沿该直向导轨做直线运动，从而增大调紧轮的轴向距离；将调节螺钉从所述挡块中旋出，所述调紧轮在链条或者皮带的作用力下，跟着所述调节螺钉旋出的方向移动，从而缩小调紧轮的轴向距离，操作方便、实用性强。
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公开(公告)号：CN101665913A
公开(公告)日：2010-03-10
申请号：CN200910192967.3
申请日：2009-09-30
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
Abstract: 本发明提供了一种真空镀膜用处理装置，包括柜体、处理板及蒸发源，柜体呈中空结构，中空结构形成密封腔，蒸发源与处理板设置于密封腔内，且处理板位于蒸发源上方，其中，还包括挡板机构，挡板机构包括挡板、磁流体、冷却轴及挡板驱动机构，磁流体安装于柜体上，挡板驱动机构位于柜体外并与冷却轴的一端连接，冷却轴的另一端枢接地穿过磁流体并伸入密封腔内，挡板与冷却轴固定连接，挡板容置于密封腔内且位于蒸发源与处理板之间，挡板隔离或开通蒸发源与处理板的空间连接，挡板驱动机构驱动冷却轴，冷却轴带动挡板转动，一方面使得本发明的处理装置能最大限度地提高了基片镀膜层的品质，另一方面能最大限度上延长了本发明的处理装置的正常寿命。
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