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公开(公告)号：CN101812670B
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN200910246913.0
申请日：2009-12-01
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
Abstract: 本发明公开了一种真空腔体隔离机构，适用于对提供真空镀膜的真空腔体内的处理板及蒸发源进行隔离，包括挡盖及控制机构，所述控制机构包括推动轴、推动板及直线驱动装置，所述推动轴的一端密封地穿入所述真空腔体内腔壁并与所述挡盖固定连接，所述挡盖容置于所述真空腔体内且位于真空腔体内的蒸发源与处理板之间，所述推动轴的另一端与所述推动板固定连接，所述推动板位于所述真空腔体外，所述直线驱动装置安装于所述真空腔体的腔壁上并位于所述真空腔体外且其输出轴与所述推动板固定连接且相互垂直，本发明真空腔体隔离机构能最大限度地提高有机发光二极管基片镀膜层的均匀性及纯净性，使基片镀膜层的品质得到了极大的提高，延长了基片的使用寿命。
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公开(公告)号：CN101812670A
公开(公告)日：2010-08-25
申请号：CN200910246913.0
申请日：2009-12-01
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
Abstract: 本发明公开了一种真空腔体隔离机构，适用于对提供真空镀膜的真空腔体内的处理板及蒸发源进行隔离，包括挡盖及控制机构，所述控制机构包括推动轴、推动板及直线驱动装置，所述推动轴的一端密封地穿入所述真空腔体内腔壁并与所述挡盖固定连接，所述挡盖容置于所述真空腔体内且位于真空腔体内的蒸发源与处理板之间，所述推动轴的另一端与所述推动板固定连接，所述推动板位于所述真空腔体外，所述直线驱动装置安装于所述真空腔体的腔壁上并位于所述真空腔体外且其输出轴与所述推动板固定连接且相互垂直，本发明真空腔体隔离机构能最大限度地提高有机发光二极管基片镀膜层的均匀性及纯净性，使基片镀膜层的品质得到了极大的提高，延长了基片的使用寿命。
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公开(公告)号：CN101812663B
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：CN200910246908.X
申请日：2009-12-01
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: C23C14/24
Abstract: 本发明公开了一种分离式密封腔体，包括移动腔体部及具有一开口面的固定腔体部，移动腔体部与固定腔体部的开口面对应安装，其中，固定腔体部的相邻于开口面的两相互平行的侧面上设置有第一滑轨及第二滑轨，第一滑轨及第二滑轨相互平行且均垂直于开口面；移动腔体部包括第一支撑件、第二支撑件及与固定箱体部的开口面相对应的门板，第一支撑件及第二支撑件分别连接于门板的两相平行的侧边上，第一支撑件及第二支撑件均垂直于门板，第一支撑件及第二支撑件上均具有滑槽；第一支撑件的滑槽与第一滑轨滑动连接，二支撑件的滑槽与第二滑轨滑动连接，门板对固定腔体部的开口面进行密封或打开。本发明分离式密封腔体结构简单、开启便捷、密封性好。
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公开(公告)号：CN101673810B
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：CN200910042397.X
申请日：2009-09-03
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: H01L51/56
Abstract: 本发明公开了一种腔盖启闭机构，包括控制单元、驱动机构、传动机构、两执行机构及具有腔盖的设备腔，其传动机构包括传动轴、减速器、蜗杆、蜗轮、连接轴及呈中空结构的支撑体，支撑体与腔体的一侧壁固定连接，连接轴贯穿支撑体且平行于腔盖，连接轴的两端分别与两执行机构连接，蜗轮固定于连接轴上且位于支撑体内，蜗杆设置于支撑体内且与蜗轮垂直啮合，减速器的输出轴与蜗杆一端连接，输入轴与传动轴的一端连接，传动轴的另一端与驱动机构连接，控制单元控制驱动机构运动，驱动机构通过传动机构同步的带动两执行机构，实现腔盖的启闭，本发明结构简单、操作方便、省力、安全、精度高、不易使腔盖变形，保证OLED生产中真空设备的高真空度。
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公开(公告)号：CN101673810A
公开(公告)日：2010-03-17
申请号：CN200910042397.X
申请日：2009-09-03
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: H01L51/56
Abstract: 本发明公开了一种腔盖启闭机构，包括控制单元、驱动机构、传动机构、两执行机构及具有腔盖的设备腔，其传动机构包括传动轴、减速器、蜗杆、蜗轮、连接轴及呈中空结构的支撑体，支撑体与腔体的一侧壁固定连接，连接轴贯穿支撑体且平行于腔盖，连接轴的两端分别与两执行机构连接，蜗轮固定于连接轴上且位于支撑体内，蜗杆设置于支撑体内且与蜗轮垂直啮合，减速器的输出轴与蜗杆一端连接，输入轴与传动轴的一端连接，传动轴的另一端与驱动机构连接，控制单元控制驱动机构运动，驱动机构通过传动机构同步的带动两执行机构，实现腔盖的启闭，本发明结构简单、操作方便、省力、安全、精度高、不易使腔盖变形，保证OLED生产中真空设备的高真空度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101956172A
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN201010171148.3
申请日：2010-05-06
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: C23C14/52
Abstract: 本发明公开了一种观察窗挡板机构，包括挡板、旋转轴、旋转把手、固定座、衬环、磁流体、第一轴承以及第二轴承，真空腔体开设有输入孔，所述固定座贯穿开设有传动孔，固定座安装于所述真空腔体的外壁上且传动孔正对所述输入孔，旋转轴的前端枢接地依次穿过所述传动孔及输入孔进入真空腔体内与挡板固定连接，所述固定座沿传动孔的径向开设有密封安装槽，所述衬环、第一轴承、磁流体、第二轴承依次套于旋转轴上且密封地收容于所述密封安装槽内，旋转把手固定于所述旋转轴的后端，转动旋转把手使所述旋转轴转动，旋转轴的转动带动所述挡板对观察窗的遮挡或敞开。该观察窗挡板机构具有挡板，旋转挡板可挡住真空腔体的观察窗。
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公开(公告)号：CN101812663A
公开(公告)日：2010-08-25
申请号：CN200910246908.X
申请日：2009-12-01
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: C23C14/24
Abstract: 本发明公开了一种分离式密封腔体，包括移动腔体部及具有一开口面的固定腔体部，移动腔体部与固定腔体部的开口面对应安装，其中，固定腔体部的相邻于开口面的两相互平行的侧面上设置有第一滑轨及第二滑轨，第一滑轨及第二滑轨相互平行且均垂直于开口面；移动腔体部包括第一支撑件、第二支撑件及与固定箱体部的开口面相对应的门板，第一支撑件及第二支撑件分别连接于门板的两相平行的侧边上，第一支撑件及第二支撑件均垂直于门板，第一支撑件及第二支撑件上均具有滑槽；第一支撑件的滑槽与第一滑轨滑动连接，二支撑件的滑槽与第二滑轨滑动连接，门板对固定腔体部的开口面进行密封或打开。本发明分离式密封腔体结构简单、开启便捷、密封性好。
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公开(公告)号：CN201634754U
公开(公告)日：2010-11-17
申请号：CN200920274201.5
申请日：2009-12-01
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种抽屉式密封腔体，包括移动腔体部及具有一开口面的固定腔体部，移动腔体部与固定腔体部的开口面对应安装，其中，固定腔体部的相邻于开口面的两相互平行的侧面上设置有第一滑轨及第二滑轨，第一滑轨及第二滑轨相互平行且均垂直于开口面；移动腔体部包括第一支撑件、第二支撑件及与固定箱体部的开口面相对应的门板，第一支撑件及第二支撑件分别连接于门板的两相平行的侧边上，第一支撑件及第二支撑件均垂直于门板，第一支撑件及第二支撑件上均具有滑槽；第一支撑件的滑槽与第一滑轨滑动连接，二支撑件的滑槽与第二滑轨滑动连接，门板对固定腔体部的开口面进行密封或打开。本实用新型抽屉式密封腔体结构简单、开启便捷、密封性好。
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公开(公告)号：CN201673938U
公开(公告)日：2010-12-15
申请号：CN200920274206.8
申请日：2009-12-01
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: H01L51/56
Abstract: 本实用新型公开了一种真空腔体隔离装置，适用于对提供真空镀膜的真空腔体内的处理板及蒸发源进行隔离，包括挡盖及控制机构，所述控制机构包括推动轴、推动板及直线驱动装置，所述推动轴的一端密封地穿入所述真空腔体内腔壁并与所述挡盖固定连接，所述挡盖容置于所述真空腔体内且位于真空腔体内的蒸发源与处理板之间，所述推动轴的另一端与所述推动板固定连接，所述推动板位于所述真空腔体外，所述直线驱动装置安装于所述真空腔体的腔壁上并位于所述真空腔体外且其输出轴与所述推动板固定连接且相互垂直，本实用新型真空腔体隔离装置能最大限度地提高有机发光二极管基片镀膜层的均匀性及纯净性，使基片镀膜层的品质得到了极大的提高，延长了基片的使用寿命。
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公开(公告)号：CN201508831U
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：CN200920194012.7
申请日：2009-09-03
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种开启机构，包括控制单元、驱动机构、传动机构、两执行机构及具有腔盖的设备腔，其传动机构包括传动轴、减速器、蜗杆、蜗轮、连接轴及呈中空结构的支撑体，支撑体与腔体的一侧壁固定连接，连接轴贯穿支撑体且平行于腔盖，连接轴的两端分别与两执行机构连接，蜗轮固定于连接轴上且位于支撑体内，蜗杆设置于支撑体内且与蜗轮垂直啮合，减速器的输出轴与蜗杆一端与连接，输入轴与传动轴的一端连接，传动轴的另一端与驱动机构连接，在控制单元控制下，驱动机构通过传动机构同步的带动两执行机构，实现腔盖的开启，本实用新型结构简单、操作方便、安全省力、精度高、不易使腔盖变形，保证OLED生产中真空设备的高真空度。
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