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公开(公告)号：CN104681103A
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201510108120.8
申请日：2015-03-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G12B5/00
Abstract: 亚微米级精密升降装置，属于微位移技术领域。具有高灵敏度和灵活性，结构简单、调整方便、能够达到亚微米级精度，且成本低廉。基座上固定有导杆锁紧支架及与X向滚动导轨滑块滑动连接的X向滚动导轨一，基座的安装孔内装有滚珠导套，导杆锁紧支架内固定有导杆锁紧套环，X向滑块与X向滚动导轨滑块一和滑块连接板固接，X向滑块与滚针导向器连接；与X向滚动导轨滑块二滑动连接的X向滚动导轨二与Z向滑块固接，X向滚动导轨滑块二与滑块连接板固接，Z向滑块与升降导杆固接，升降导杆与滚珠导套和导杆锁紧套环相配合；微分头通过安装在微分头支座内的微分头锁紧套环锁紧，微分头通过联轴器与滚针导向器相连。本发明用于亚微米级升降场合。
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公开(公告)号：CN104625765A
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201410739115.2
申请日：2014-12-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23Q1/38
CPC classification number: B23Q1/38
Abstract: 本发明提供了一种高精度微小型空气静压转台。本发明解决了目前常用的高精度微小型空气静压转台组成零件较多，不易实现特别高的精度要求和动平衡，并且整体系统的体积较大，特别是高度尺寸较大的问题；解决了由通常所采用的降低转台整体高度的方式所造成的低稳定性以及低承受倾覆力矩的能力的问题；解决了转台加工生产过程中需加工多个轴套与轴的工作面所造成生产成本问题。它包括：转台机座、锥形气浮轴套、主轴系统和转台电机。本发明在转台生产过程中所需加工的轴套与轴工作面仅为相应的两个锥面，相比于以往的高精度空气静压转台有所减少，降低了生产成本。具有装配简单、精度保持性好等优点，可用于多种加工形式的精密和超精密加工设备上。
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公开(公告)号：CN104515872A
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201410815608.X
申请日：2014-12-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01Q60/38
Abstract: 本发明公开了一种利用纳米台阶的频谱测量原子力显微镜针尖半径的方法，通过分析针尖半径对扫描纳米台阶所得测量结果的影响，得出了台阶的频谱与针尖半径的线性对应关系，从而作为针尖半径的评价方法。本发明具有如下优点：1、台阶结构尺寸精确，而且与针尖接触作用的几何模型简单。2、采用频谱分析可以在频域内将一些图像中的干扰信号与有用信号分离，从而单独分析有用的部分，这就降低了误差的产生，使得计算更加准确。
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公开(公告)号：CN104140076A
公开(公告)日：2014-11-12
申请号：CN201410385534.0
申请日：2014-08-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明公开了一种AFM探针相同刻划方向机械加工复杂纳米结构的装置及方法。所述装置包括AFM、手动二维调整台、精密主轴及二维高精度定位平台，其中：手动调整二维台的底部与精密主轴的上端连接，精密主轴的下端与二维高精度定位平台连接，二维高精度定位平台固连在AFM的样品台上。本发明利用原子力显微镜AFM的加工的优势，并且改善了由于AFM探针几何形状不完全对称对加工结果有所影响的问题，实现了AFM探针同方向加工刻划的方法。本发明加工方法简单，无需复杂的加工系统，操作简单，并且可以得到精度达到纳米量级的微纳米结构。本发明实现了AFM探针同方向纳米刻划加工，该方法获得了加工结构深度、加工质量一致性好的优势。
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公开(公告)号：CN102500760B
公开(公告)日：2013-07-03
申请号：CN201110333830.2
申请日：2011-10-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于光学图像重构的尖刃金刚石刀具旋转对心方法，涉及超精密切削加工方法，解决了目前缺少对金刚石刀具的刀尖无损伤的旋转对心方法的问题，它包括具体步骤如下：步骤一、将CCD光学成像装置设置在尖刃金刚石刀具的正上方，CCD光学成像装置放大倍数调为15～25倍；步骤二、CCD光学成像装置对尖刃金刚石刀具的刀尖区域进行成像，对获得的光学图像建立坐标系XOZ，A点处的坐标(x1，z1)，轴心为P(x，z)点；步骤三、获得B点处的坐标(x2，z2)；步骤四、根据步骤二和步骤三获得的两幅光学图像获得坐标差值：Δ1＝x2-x，Δ2＝z2-z；步骤五、调整刀具靠近P点。用于金刚石刀具的刀尖无损伤对心。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101285747A
公开(公告)日：2008-10-15
申请号：CN200810064383.3
申请日：2008-04-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 原位纳米拉伸实验测量检测装置，它涉及一种拉伸实验测量检测装置。本发明解决了现有的机械性能的测量及微观形貌的检测是独立的、分离的两个过程的问题。本发明的步进电机(1)的输出轴与联轴器(2)固接，机架底板(4)上固装有导轨(7)，导轨(7)上安装有左车架组(42)和右车架组(43)，左右旋丝杠(8)的两端分别与联轴器(2)和轴承座(21)连接，力传感器(18)的左右端面分别与右夹具连接块(14)和力传感器保持架(19)固接，读数装置(44)安装在机架底板(4)上，拉伸测量装置(41)固装在检测装置的工作台(46)上。本发明促进了需要对样品在受力状态下微观形貌变化进行动态观察的研究领域的进一步发展，对纳米复合功能材料的机械性能的测量及微观形貌的检测具有重要的理论意义和良好的应用前景。
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公开(公告)号：CN1279414C
公开(公告)日：2006-10-11
申请号：CN200410013615.4
申请日：2004-03-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/18 , G05B19/408 , G05B15/02
Abstract: 微机械零件三维加工方法，它属于一种超精密加工方法。现有诸多微机械零件的加工方法存在只能加工准三维结构等弊端。本发明两种方法都需结合现有的微机械零件三维加工装置来实现：依次设置扫描探针显微镜等的工作参数，将样品放在三维工作台上，通过控制工作台X、Y向运动开始加工第一个图形；当加工完第一个图形后抬起探针，工作台作二维移动后开始加工下一个图形，直到加工完所有的图形。另一种方法是，三维工作台按预先设置的值在X、Y、Z向移动，一次加工完全部图形后，通过扫描陶管作收缩运动抬起探针，结束加工。本发明方法可以进行真正的三维加工，去除量在纳米量级，对表面的破坏极小，它可以应用于MEMS器件、掩膜和微小模具的制造。
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公开(公告)号：CN118789521A
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN202411145918.5
申请日：2024-08-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种具有大姿态角的六自由度并联机器人及其控制方法，涉及大姿态角并联机器人技术领域。动平台与固定框架之间通过四条PUS支链和三条UPS支链连接，支链的驱动关节通过连杆与动平台进行连接，PUS支链的竖向直线运动模组与固定框架固定设置，其驱动关节与连杆之间设置E型虎克铰，连杆与动平台之间设置E型球副，UPS的斜向直线运动模组与固定框架之间设置H型虎克铰，其驱动关节与连杆固定连接，连杆与动平台之间设置U型球副。通过优化铰链间的几何关系，利用常态组支链与轮换组支链不同控制策略的配合，保证动平台位姿精度，还可干预调节各驱动关节的驱动力，使动平台能够连续的进行大角度姿态调整。
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公开(公告)号：CN114152236B
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202111372162.4
申请日：2021-11-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B21/20
Abstract: 一种基于球坐标球度仪的高精度球度测量方法，属于球度精密测量技术领域。包括以下步骤：S1.建立高精度球度仪；S2.调节辅助对心装置上的标准圆柱体的回转轴线与高精度球度仪的高精度卧式主轴回转轴线同轴；S3.利用辅助对心装置使非接触式位移传感器测量轴线与高精度卧式主轴回转轴线垂直相交；S4.使标准球球心在高精度气体静压转台的延长线上；S5.使非接触式位移传感器测量轴线经过标准球球心；S6.使标准球球心在高精度卧式主轴回转轴线的延长线上；S7.换成被测球，根据路径规划即可测量球体的经、纬线、或任意路径的数据。本发明实现了在高精度球坐标球度仪上的空间三维方向的对心，从而进步提高球度测量精度，测量更全面。
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公开(公告)号：CN117032072B
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202311089821.2
申请日：2023-08-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/404
Abstract: 一种五轴超精密机床几何误差分配方法，涉及一种机床误差分配方法。设计五轴超精密机床；建立几何误差模型；设置几何误差的取值范围并全局敏感性分析；参考分析结果设置精度边界条件和成本边界条件；将边界条件作为约束使用群优化算法对几何误差进行分配；建立误差综合模型，设计机床五个轴系的运动轨迹，将几何误差分配结果作为驱动，计算工件端和刀具端三个方向的距离；使用误差综合模型计算在没有误差时工件端和刀具端三个方向的距离；计算空间几何误差值调整边界条件直至满足设计指标。综合考虑了误差分配过程中的精度边界条件和成本边界条件，保证机床加工精度的同时，有助于确保机床制造成本不超标。
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