固化物的制造方法、半导体器件的制造方法、处理液及树脂组合物

    公开(公告)号:CN118946611A

    公开(公告)日:2024-11-12

    申请号:CN202380031626.6

    申请日:2023-03-23

    Abstract: 一种固化物的制造方法、包含上述固化物的半导体器件的制造方法、上述固化物的制造方法中使用的处理液以及上述固化物的制造方法,该固化物的制造方法包括:膜形成工序,将包含含有由式(1)表示的重复单元的聚酰亚胺前体及溶剂的树脂组合物应用于基材上而形成膜;处理工序,使处理液与上述膜接触;及加热工序,在上述处理工序之后,对上述膜进行加热,上述处理液含有选自由碱性化合物及产碱剂组成的组中的至少1种化合物。#imgabs0#

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