固化物、层叠体、半导体器件及它们的制造方法、树脂组合物和化合物

    公开(公告)号:CN115729037A

    公开(公告)日:2023-03-03

    申请号:CN202211051414.8

    申请日:2022-08-30

    Abstract: 本发明的课题在于提供一种能够获得可靠性优异的固化物的树脂组合物、使上述树脂组合物固化而成的固化物、含有上述固化物的层叠体、上述固化物的制造方法、上述层叠体的制造方法、包括上述层叠体的制造方法的半导体器件的制造方法、及包含上述固化物或上述层叠体的半导体器件。本发明提供一种含有选自由环化树脂及其前体组成的组中的至少1种树脂及由下述式(1‑1)表示的化合物的树脂组合物、使上述树脂组合物固化而成的固化物、含有上述固化物的层叠体、上述固化物的制造方法、上述层叠体的制造方法、包括上述层叠体的制造方法的半导体器件的制造方法、及包含上述固化物或上述层叠体的半导体器件。

    感光化射线性或感放射线性树脂组合物、抗蚀剂膜、图案形成方法、电子器件的制造方法、树脂

    公开(公告)号:CN111788525B

    公开(公告)日:2023-08-08

    申请号:CN201980015829.X

    申请日:2019-02-19

    Abstract: 本发明的课题在于,提供一种所形成的图案的LER及崩塌抑制能力优异的感光化射线性或感放射线性树脂组合物。并且,本发明的另一课题在于,提供一种使用上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物的抗蚀剂膜、图案形成方法及电子器件的制造方法。并且,本发明的另一课题在于,提供一种能够用于上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物的树脂。本发明的感光化射线性或感放射线性树脂组合物包含通过光化射线或放射线的照射而产生酸的化合物及通过酸的作用而极性增大的树脂,其中,上述树脂包含通式(B‑1)所表示的重复单元,并且上述通式(B‑1)所表示的重复单元的含量相对于上述树脂中的所有重复单元为5~70质量%。通式(B‑1)中,R1表示氢原子或有机基团。环W1表示至少包含1个碳原子及1个氮原子,并且任选地具有取代基的环。

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