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公开(公告)号：CN103052866B
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201180038125.8
申请日：2011-09-06
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/692
CPC classification number: G01F1/69 , G01F1/6845 , G01F1/692
Abstract: 本发明的目的在于提供，减小因空气流的流动方向的微小的变化造成的传感器元件的检测灵敏度的变化，小型且高精度的热式流量传感器。本发明的实施方式的热式流量传感器，具有：在半导体衬底（1）上形成的空洞部（2）、以覆盖上述空洞部（2）的方式形成的电气绝缘膜、在上述电气绝缘膜上形成的发热电阻体（4）、在上述发热电阻体的附近形成的热敏电阻体、在上述半导体衬底的边缘部处与边缘基本并行地配置的由导电体构成的电极部（11）、以及把上述电极部和上述发热电阻体电气连接的布线部（5），基于被测流体和上述热敏电阻体的传热量检测被测流体的流量，其中：调整上述热电阻，以使得由上述发热电阻体的上述电极部侧的一边和上述空洞部的上述电极部侧的一边构成的第1区域的热电阻、与由上述发热电阻体的与一边对置的另一边和上述空洞部的与一边对置的另一边构成的第2区域的热电阻基本相等。
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公开(公告)号：CN104487806A
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201380039276.4
申请日：2013-06-26
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01D5/12 , G01L9/00 , G01L19/12 , G01R19/165
CPC classification number: G01R19/16538 , G01L9/00 , G01L19/12 , G01L27/007 , G01R19/165 , G01R31/2829
Abstract: 在现有的传感器件中，存在当电源线、接地线断开时传感器件的输出电压不固定为电源电压或接地电位而固定在中间电位的问题。本发明的传感器件(1)包括：由电压(Vsen)根据检测物理量而变化的检测元件(8)、MOS开关(4～6、7、9、10、12～17)、电容器(2、11、18)、运算放大器(19)、基准电压源(20)和输出NMOS晶体管(21)构成的输出电路；配置在输出电路的负反馈部的MOS开关(4)与电容器(2)的串联电路；和将MOS开关(4)的阱电极与电源端子(Vcc)连接的二极管(3)。
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公开(公告)号：CN104412076A
公开(公告)日：2015-03-11
申请号：CN201280074363.9
申请日：2012-06-27
Applicant: 日立汽车系统株式会社
Abstract: 本发明提供一种测量精度高的流体测量装置。该流体测量装置具有输入从第一检测元件输出的第一信号(S1)和从第二检测元件输出的第二信号(S2)的电路部，电路部具有输出与第一信号和第二信号相应的第三信号(S3)的信号处理单元、判断第一信号的状态的状态判断单元和根据状态判断单元的判断结果控制第一信号的变化给第三信号带来的变化的量的控制单元。
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公开(公告)号：CN104053972A
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：CN201280067577.3
申请日：2012-01-18
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/684
CPC classification number: G01F1/692 , G01F1/6842 , G01F1/696 , G01F5/00 , G01F15/00
Abstract: 本发明提供减少了传感器元件的污损的热式流量计。该热式流量计具有：传感器元件，其在形成于基板的隔膜上设置有薄膜部，并具备形成于上述薄膜部的发热电阻体；用于设置上述传感器元件的支承部件；和副通路，在其中配置上述支承部件的一部分，将在吸气管路流动的吸入气体的一部分取入，该热式流量计具有引导部件，在令沿在上述副通路内流动的空气流从上述薄膜部上通过的直线为L时，该引导部件设置于上述L上的上述支承部件或上述传感器元件，使沿上述支承部件或上述传感器元件的表面与空气流一起飞来的微小颗粒流向远离上述L的方向。
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公开(公告)号：CN103052866A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201180038125.8
申请日：2011-09-06
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/692
CPC classification number: G01F1/69 , G01F1/6845 , G01F1/692
Abstract: 本发明的目的在于提供，减小因空气流的流动方向的微小的变化造成的传感器元件的检测灵敏度的变化，小型且高精度的热式流量传感器。本发明的实施方式的热式流量传感器，具有：在半导体衬底（1）上形成的空洞部（2）、以覆盖上述空洞部（2）的方式形成的电气绝缘膜、在上述电气绝缘膜上形成的发热电阻体（4）、在上述发热电阻体的附近形成的热敏电阻体、在上述半导体衬底的边缘部处与边缘基本并行地配置的由导电体构成的电极部（11）、以及把上述电极部和上述发热电阻体电气连接的布线部（5），基于被测流体和上述热敏电阻体的传热量检测被测流体的流量，其中：调整上述热电阻，以使得由上述发热电阻体的上述电极部侧的一边和上述空洞部的上述电极部侧的一边构成的第1区域的热电阻、与由上述发热电阻体的与一边对置的另一边和上述空洞部的与一边对置的另一边构成的第2区域的热电阻基本相等。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102959411A
公开(公告)日：2013-03-06
申请号：CN201180030636.5
申请日：2011-06-21
Applicant: 日立汽车系统株式会社
CPC classification number: G01R31/02 , G01D3/08 , G01R31/026 , G01R31/2829
Abstract: 在现有技术的桥电路的断路检测电路中，对桥输出的补偿电压和温度特性恶化的情形缺乏考虑。本发明所要解决的技术问题是提供一种将传感器的特性变化抑制到微小的桥电路的断路检测电路。本发明的桥电路的断路检测电路（8a）由从桥电路的输出端子向预定的电位流过电流的通电单元（9、10）；检测出所述桥电路的输出端子的电位和所述预定电位的电位差的电位差检测单元（12、13）和根据所述电位差检测单元的输出来检测断路的断路检测单元（14）构成（参考图1）。
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公开(公告)号：CN102607738A
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN201110442664.X
申请日：2011-12-27
Applicant: 日立汽车系统株式会社
CPC classification number: G01K13/02 , G01F1/6842 , G01F5/00 , G01F15/185 , G01K1/16 , G01K2205/02
Abstract: 本发明提供一种即使在低流量区域也能够快速且正确地检测出吸气温度的吸气温度传感器。该吸气温度传感器通过插入到设置在吸气管(3)上的开口部中而将温度检测元件(6)配置在吸气管内，该吸气温度传感器构成为，温度检测元件与直接暴露于在吸气管中流动的吸气流中的散热板(4)机械地接合，且根据从所述温度检测元件得到的输出而输出吸气温度。由此，能够减少温度检测元件向吸气流的热阻，从而能够提供一种即使在低流量区域也能够快速且正确地检测出吸气温度的吸气温度传感器。
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公开(公告)号：CN112400097A
公开(公告)日：2021-02-23
申请号：CN201980045915.5
申请日：2019-05-20
Applicant: 日立汽车系统株式会社
Abstract: 在流量传感器(10)中，电阻桥(100)检测气体流量的变化。差动A/D转换器(122)将从电阻桥(100)输出的模拟信号转换为数字信号。断线检测电路(130)用于检测将差动A/D转换器(122)与电阻桥(100)连接的接合线(164、165)的断线。断线检测电路(130)具有检测电容(141)以及比较器(145)。检测电容(141)的一方的连接部与差动A/D转换器(122)的输入节点连接。比较器(145)根据基于P侧输入电容(116)或侧输入电容(117)的静电电容与检测电容(141)的静电电容之比的电位来检测接合线(164、165)的断线，其中，P侧输入电容(116)或侧输入电容(117)分别与差动A/D转换器(122)的工作输入部连接。
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公开(公告)号：CN107923809B
公开(公告)日：2020-08-11
申请号：CN201680049120.8
申请日：2016-07-27
Applicant: 日立汽车系统株式会社
Abstract: 本发明的传感器装置(1)从控制装置(10)经由电源线(Vcc)和地线(Gnd)对传感器装置(1)的电源端子(7)和接地端子(9)供电，从传感器输出端子(8)经由传感器输出线(Vout)对控制装置(10)发送传感器输出电压。控制装置(10)中配置有对传感器装置(1)供给恒定电压的恒定电压源(11)和连接在传感器输出线(Vout)与恒定电压源(11)之间的上拉电阻(12)。传感器装置(1)包括电压(Vsen)与测量物理量相应地变化的物理量检测部(2)、用从电源端子(7)供给的电源电压发生低电压的调压器(3)、以从调压器(3)供给的低电压工作并控制传感器输出端子(8)的电压的开集型的运算放大器(4)、构成对传感器输出端子(8)的电压分压的分压电路的电阻元件(5、6)。
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公开(公告)号：CN106716077B
公开(公告)日：2019-06-21
申请号：CN201580052281.8
申请日：2015-07-24
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/68
Abstract: 本发明提供一种能够进行自我诊断的热式流量传感器。该热式流量传感器在具备设置了用于与外部电气导通的电极焊盘并检测流量的半导体元件的热式流量传感器中，所述电极焊盘至少设置两个以上，关于与所述电极焊盘相邻接的电极焊盘，排列成为在流量检测时使用的输出范围外的电位的电极焊盘。
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