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公开(公告)号:CN110869442A
公开(公告)日:2020-03-06
申请号:CN201880046248.8
申请日:2018-07-16
Applicant: 株式会社LG化学
Abstract: 本申请涉及中性层组合物。本申请可以提供能够形成可以有效地控制各种嵌段共聚物的取向特性的中性层的中性层组合物。
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公开(公告)号:CN110023385A
公开(公告)日:2019-07-16
申请号:CN201780074049.3
申请日:2017-11-29
Applicant: 株式会社LG化学
IPC: C08J5/22 , H01L21/027 , H01L21/311 , G03F1/00 , C08F220/18 , C08F220/22 , C08F297/02 , C08F220/44 , C08F220/38
Abstract: 本申请涉及用于生产聚合物膜的方法。本申请是能够在基底上有效地形成包含高度对准的嵌段共聚物而没有取向缺陷、配位数缺陷、距离缺陷等的聚合物膜的生产方法,其可以提供用于生产能够有效地应用于生产各种图案化基底的聚合物膜的方法和使用该聚合物膜生产图案化基底的方法。
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公开(公告)号:CN110023383A
公开(公告)日:2019-07-16
申请号:CN201780072437.8
申请日:2017-11-29
Applicant: 株式会社LG化学
Abstract: 本申请涉及嵌段共聚物及其用途。本申请可以提供层合体以及使用其生产图案化基底的方法,所述层合体能够在基底上形成高度取向的嵌段共聚物,并因此可以有效地应用于生产各种图案化基底。
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公开(公告)号:CN109983044A
公开(公告)日:2019-07-05
申请号:CN201780071982.5
申请日:2017-11-29
Applicant: 株式会社LG化学
IPC: C08F220/18 , C08F220/38 , C08F220/22 , C08F228/02 , H01L21/027 , H01L21/311 , G03F1/00
Abstract: 本申请涉及聚合物组合物及其用途。本申请可以提供具有优异的自组装特性并且即使在未进行中性处理的表面上也能够形成垂直取向结构的聚合物组合物及其用途,其中可以在短时间内有效地形成垂直取向的自组装结构。
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公开(公告)号:CN109906237A
公开(公告)日:2019-06-18
申请号:CN201780068358.X
申请日:2017-11-29
Applicant: 株式会社LG化学
IPC: C08F220/18 , C08F212/04 , C08F212/14 , C08F220/44 , C08F220/38 , C08J5/22 , H01L21/027 , H01L21/311 , G03F1/00
Abstract: 本申请可以提供嵌段共聚物及其用途。本申请的嵌段共聚物具有优异的自组装特性或相分离特性,其也可以被自由地赋予所需要的各种功能。
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公开(公告)号:CN109890857A
公开(公告)日:2019-06-14
申请号:CN201780067383.6
申请日:2017-11-29
Applicant: 株式会社LG化学
IPC: C08F220/18 , C08F297/02 , C08F220/22 , C08F220/38 , C08J5/22 , H01L21/027 , H01L21/311 , G03F1/00
Abstract: 本申请可以提供嵌段共聚物及其用途。本申请的嵌段共聚物具有优异的自组装特性或相分离特性,其也可以被自由地赋予所需要的各种功能。
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公开(公告)号:CN105934455B
公开(公告)日:2019-01-18
申请号:CN201480074045.1
申请日:2014-12-08
Applicant: 株式会社LG化学
IPC: C08F297/00 , C08F299/00 , C08F212/14 , C08F220/10 , C08F220/30 , C08F216/12 , C08L55/00 , C08J5/00 , C08J7/04
Abstract: 本发明可提供嵌段共聚物及其用途。本发明的嵌段共聚物具有优异的自组装特性和相分离特性,并且可具有必要时向其提供的多种所需功能。
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公开(公告)号:CN105934454B
公开(公告)日:2019-01-18
申请号:CN201480074044.7
申请日:2014-12-09
Applicant: 株式会社LG化学
IPC: C08F297/00 , C08F299/00 , C08F212/08 , C08F220/10 , C08L83/00 , C08J5/18
Abstract: 本发明涉及嵌段共聚物及其用途。本发明可以提供具有优异的自组装特性并因此可以有效应用于多种用途的嵌段共聚物及其用途。
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公开(公告)号:CN107849202A
公开(公告)日:2018-03-27
申请号:CN201680039982.2
申请日:2016-06-07
Applicant: 株式会社LG化学
IPC: C08F297/00 , C08F299/00 , C08F212/08 , C08F220/10 , C08L53/00 , B32B27/30 , G03F7/00
Abstract: 本申请涉及中性层组合物。本申请可以提供能够形成中性层的中性层组合物,所述中性层可以有效地应用于包含垂直排列的自组装嵌段共聚物的聚合物膜的形成。
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公开(公告)号:CN107258009A
公开(公告)日:2017-10-17
申请号:CN201680010555.1
申请日:2016-02-02
Applicant: 株式会社LG化学
IPC: H01L21/306
Abstract: 本发明涉及一种用于对彼此具有不同耐蚀刻性的自组装嵌段共聚物薄膜使用湿法蚀刻工艺选择性除去一侧上的嵌段的工艺。通过克服现有技术的不能通过湿法蚀刻实现垂直孔结构的限制,即使在具有垂直取向的柱体自组装结构且具有一个或更多个周期的厚膜的情况下,本发明也可以形成具有高长径比的垂直纳米孔结构。
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