保护膜形成用复合片
    42.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108778731A

    公开(公告)日:2018-11-09

    申请号:CN201780010062.2

    申请日:2017-04-25

    CPC classification number: B32B27/16 C09J7/20 H01L23/00

    Abstract: 本发明提供一种可在半导体晶圆或半导体芯片的背面形成保护膜、具有良好的切割适性、且具备能量射线固化性的保护膜形成用膜的保护膜形成用复合片。本发明的保护膜形成用复合片1A在支撑片10上具备能量射线固化性的保护膜形成用膜13,对所述保护膜形成用膜13照射能量射线从而制成保护膜时,所述保护膜与所述支撑片10之间的粘着力为100~2000mN/25mm。

    粘合剂组合物及粘合片
    43.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107325740A

    公开(公告)日:2017-11-07

    申请号:CN201710212388.5

    申请日:2013-10-09

    Abstract: 本发明涉及一种粘合片,其具有由粘合剂组合物形成的粘合剂层,所述粘合剂组合物含有50质量%以上的丙烯酸类共聚物(A),所述丙烯酸类共聚物(A)包含来源于具有碳原子数1~20的烷基的(甲基)丙烯酸烷基酯(a1)的结构单元(a1),并且含有3摩尔%以上的来源于丙烯酸衍生物(a2)的结构单元(a2),所述丙烯酸衍生物(a2)具有羧基且其均聚物的玻璃化转变温度为80℃以下。所述粘合片即使将该粘合剂层薄膜化至10.0μm以下,也具有高粘合力,且耐热黄变性优异。

    扩片方法、半导体装置的制造方法、以及粘合片

    公开(公告)号:CN111886673B

    公开(公告)日:2025-02-11

    申请号:CN201980017581.0

    申请日:2019-03-05

    Abstract: 本发明提供一种扩片方法,该方法包括:贴合工序,将多个被粘附物贴合于粘合片(10)的第一粘合剂层(12)或第二粘合剂层(13);扩片工序,使粘合片(10)伸展,以扩大所述多个被粘附物的间隔;以及能量射线照射工序,对第一粘合剂层(12)及第二粘合剂层(13)照射能量射线,以使第一粘合剂层(12)及第二粘合剂层(13)固化,所述粘合片(10)具有含有第一能量射线固化性树脂的第一粘合剂层(12)、含有第二能量射线固化性树脂的第二粘合剂层(13)、以及基材(11)。

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